1、羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁
2、螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅
3、蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀
4、袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇
5、蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁
6、羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅
7、螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿
8、蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄
9、袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈
10、蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅
11、羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿
12、螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃
13、蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈
14、袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂
15、蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆
16、袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃
17、蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇
18、薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂
19、袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆
20、蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀
21、衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄
22、螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿
23、羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆
24、螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀
25、蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄
26、袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿
27、螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃
28、羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇
29、螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄
30、蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿膀膂莆袈腿莄薂袄膈蒇蒄螀膇膆蚀蚆膆艿蒃羅膅莁蚈袁芄蒃蒁螇芄膃蚇蚃袀芅葿蕿衿蒈蚅羇袈膇薈袃袇芀螃蝿袇莂薆蚅袆蒄荿羄袅膄薄袀羄芆莇螆羃莈薃蚂羂膈莅蚈羂芀蚁羆羁莃蒄袂羀蒅虿螈罿膅蒂蚄羈芇蚇薀肇荿蒀衿肆聿蚆螅肆芁葿螁肅莄螄蚇肄蒆薇羅肃膆莀袁肂芈薅螇膁莀莈蚃膀肀薃蕿 高速 CMOS 模拟集成电路中的静电保护电路
31、设计上网时间：2008-09-30 作者：吴鹏，何乐年，陈曦 中心议题： 集成电路失效的主要原因是静电放电 分析静电放电保护的基本原理，指出传统 ESD 保护电路的局限性 提出新电路结构并仿真得出结论 解决方案： 采用 ESD 保护电路，避免静电将内部电路击穿 RC 应该大于 ESD 脉冲的时间常数，同时短于一般上电的时间常数 建立合适的仿真模型并进行有效的仿真 随着超大规模集成电路工艺技术的不断提高，目前CMOS 集成电路已经进入了超深亚微米阶段，MOS 器件的尺寸不断缩小，栅氧化层厚度越来越薄，其栅耐压能力显著下降，集成电路失效的产品中有 35 %是由于 ESD 问题所引起的。 因此 CM
32、OS 集成电路的静电放电( Elect rostaticDischarge ， ESD) 保护电路的设计越来越受到了电路设计者的重视。ESD 保护电路是为芯片电路提供静电电流的放电路径，以避免静电将内部电路击穿。 由于静电一般来自外界，例如人体、机器，因此 ESD 保护电路通常在芯片的压焊盘( PAD) 的周围。 输出压焊盘一般与驱动电路相连， 即与大尺寸的 PMOS 和 NMOS 管的漏极相连，因此这类器件本身可以用于 ESD 保护放电，一般情况下为了保险，输出端也加 ESD 保护电路;而输入压焊盘一般连接到 MOS 管的栅极上，因此在芯片的输入端，必须加 ESD 保护电路。 另外，在芯片的
33、电源(Udd ) 和地(Uss ) 端口上也要加ESD 保护电路，以保证 ESD 电流可以从 Udd 安全地释放到 Uss。作者在传统的模块电路 ESD 保护电路的基础上提出了应用于高速模拟电路的 ESD 保护电路。ESD 保护电路原理分析数字电路一般采用两级保护电路，并且在主保护电路和次保护电路中串联一个限流电阻，而大的限流电阻和 ESD 钳位器件的节电容会产生一个大的 RC 延迟，因此，不适合应用于高速模拟 CMOS 集成电路中。图 1 是 CMOS 模拟集成电路单级 ESD 保护电路。 ESD 钳位器件是栅极接地的 NMOS 管(ggNMOS) 。 为了承受较大的 ESD 电流，ggNM
34、OS 管设计成很大的尺寸，导致大尺寸的 ggNMOS 管以及大的漏极 PN 扩散结在输入端上形成了大的漏极寄生电容。由于 PN 寄生电容是非线性的可变电容，而高精度的高速模拟集成电路要求输入端寄生电容为常数，因此 ESD 钳位器件的寄生电容是高速模拟集成电路的一个主要误差来源。 另外，当静电压通过模拟信号管脚直接加在运算放大器的两个输入端或者加在以共源形式连接的差分对管的栅极时，极高的静电压很容易将 MOS 管的栅氧化层击穿。 此时单个的ggNMOS 管无法起到保护作用。因此， Ket 等人提出了用 ggPMOS 和 ggNMOS 管一起组成 ESD 保护电路，如图 2 所示，其中 Dp3 、
35、Dn3 各为Mp3 和 Mn3 管漏区的寄生二极管 。图 2 左半边为嵌位(Clamp) 电路，当 PAD 上被加上正的 ESD 电压时，RC 检测电路经过一个反相器来触发 Mn1 管，将大的 ESD 电流通过大尺寸的Mn1 管释放到 Uss 。 但是该电路的局限性在于不能有效的释放负电压下的 ESD 电流。 并且由于 RC 的值对电路能否正常工作至关重要，所以对其精度要求较高，而 R、C 的实际工艺误差较大。高速模拟电路中的 ESD 保护电路设计图 3 是文中提出的应用于高速模拟电路的输入 ESD 保护电路。 该电路的左半部为对称的两个嵌位电路，分别检测正、负 ESD 电压，其中 M6 ，
36、M4 等效为电阻，而源漏衬底短接的 M3 ， M7 等效为电容。当正的 ESD 电压产生时，即某一瞬间，到 Udd 有一个正的大电流， 最左边的嵌位电路工作， 大尺寸(500/ 0.25) 的 NMOS 管 M0 导通，泻放 ESD 电流，其中 R0 ， R1 为 MOS 管的寄生电阻。 一般来说，芯片的上电时间为毫秒级，而 ESD 造成的芯片上电时间为纳秒级，因此很容易将它们区分开来。 设计时 RC 应该大于 ESD 脉冲的时间常数(100 p F 1. 5 k)(人体模型的典型值) ，同时短于一般上电的时间常数。 这样方可保证在正常的电源上电过程中，M0 管是关闭的。由于 ESD 器件依赖
37、电压的非线性输入电容连接到模拟电路输入管脚，往往会导致电路不能正常工作，因此，对于模拟电路的 ESD 保护电路设计，除了要能满足芯片所要求的人体模型下的耐压要求，所遇到的最大的挑战是使管脚的输入电容(包括 ESD 保护器件以及压焊盘上的电容之和) 尽可能小并且保持恒定。而文中提出的 ESD 保护电路在 0. 25m 的 CMOS 工艺中，可以承受 HBM 下的 2. 5 kV 的 ESD 电压，并且输入电容只有 0. 6 p F。为了减小管脚上的输入电容，M8 和 M9 的尺寸不能太大，虽然 ESD 电流泻放的主要器件 M0 和 M1 的尺寸很大，结电容也很大，但是该电容并没有连到压焊盘上，所
38、以该电路可以承受较高的 ESD 电压，同时输入电容又比较小。该 ESD 保护电路的输入电容 Cin = CPAD + Cn +Cp ，其中， CPAD 为 PAD 上电容，NMOS 和PMOS 上漏极电容为 Cn 和 Cp 。 PAD 上电容相对固定，可以通过一些优化来减小。 漏极电容主要有两部分组成:漏极和栅极之间的电容、漏极的结电容。 在版图不变的情况下，漏栅电容大小基本不变，但漏极结电容会随着漏极电压的变化而出现较大变化。当输入信号的电压幅值增大时，NMOS 的漏极结电容会变小，而 PMOS 的漏极结电容却会增大。 因此，在信号电压幅值变化的时候，PMOS 和 NMOS 的漏极结电容可以
39、形成互补，总的寄生电容相对稳定。文中提出的电路在保证合适的耐压要求前提下，输入电容较小并且能保持相对恒定，所以比较适合应用于高速模拟电路。对于每一个输入或输出管脚来讲，按照对地或对电源放电的不同，可以分为 4 种放电模式3 :正电荷对地( Positive to Uss ， PS) 、负电荷对地 (Negative to Uss ， NS) 、正电荷对电源( Positive toUdd ， PD) 以及负电荷对电源( Negative to Udd ，ND) 。 因此在设计 ESD 保护电路是需要考虑上述 4 种不同的放电模式。以下分析该电路的基本工作原理，由于同一个 MOS 管在不同的 E
40、SD 电压极性下的耐压值也大不相同，NMOS 管在 NS 模式下的耐压值一般高出 PS 模式下 10 倍以上，而 PMOS 管在 PD 模式下的耐压值高出 ND 模式下 10 倍以上，而一块芯片的耐压能力是由其所有管脚在所有模式下的最低耐压值所决定的，故要分析 4 种放电模式下的电路工作原理，尤其是注意 PS 和 ND 模式下的放电途径。该保护电路在 NS 模式下通过 M9 释放 ESD 电流，在 PD 模式下通过 M8 释放，均能达到较高的耐压值(见表 1) 。 当放电模式是 PS 模式时，利用电源间的保护电路来形成一条新的放电路径，电流通过ggPMOS(M8 ) 正向偏置的寄生二极管流向
41、Udd ，Udd 和 GND 之间的电压升高，M6 和 M3 构成的 RC 检测电路，触发大尺寸的 MOS 管(M2 ， M0 ) 迅速导通，在 Udd 和 GND 之间形成通路， 有效放电。 由于 ggPMOS 的寄生二极管处于正向偏置，Udd 和 GND 之间泻流管尺寸很大，所以电路可以承受很大的电压。 在 ND 模式下原理类似，即通过 ggNMOS ( M9 )正向偏置的寄生二极管，以及中间的钳位电路泻放 ESD 电流。 图 4 是上述 Udd到 Uss 片上保护电路原理的示意图。Spice 仿真以及 ESD 测试结果 由于 ESD 保护电路以及封装所带来的寄生电容和寄生电感对原有输出信
42、号会有影响，尤其是在高速模拟电路中，频率越高信号畸变越严重，所以建立合适的仿真模型并进行有效的仿真是必须的。信号一般经过驱动， ESD 保护，和封装引线才能传到芯片外的负载上，封装的模型根据选用的封装形式和厂家提供的参数决定。 一般 IC 封装会给出端口的寄生电容，电阻和电感，其等效模型如图 5 所示。 将该模型与前面的 ESD 保护电路(图 3) 串连起来就可以得到端口模型， 可用 spice 对用于 USB2.0 的环境，在480 MHz 频率下的收发电路进行仿真，其仿真波形如图 6 所示。 输出端口 out1 是不考虑端口模型的影响，480 MHz 时钟的输出较为理想，out2 是加入端
43、口模型后的时钟输出，波形有所畸变，但仍能满足电路设计要求。上述 ESD 保护电路(见图 3) 在被应用于设计 USB2. 0 接口芯片中。 该芯片的最高时钟频率为 480 MHz ，采用 TSMC 公司的 0. 25m 混合信号工艺进行了流片。 流片后的芯片用抗静电测试仪( Thermo Keytek 公司，型号: ZAPMASTER 714)进行了测试，其结果如表 1 所示，给出了在上述 4 种不同的放电模式下的耐压值。 测试结果表明在所有测试条件下的人体模型最高击穿电压(V) 超过了正负 2 500 V。结 论在高速的模拟电路设计中， ESD 成为芯片能否正常工作的重要考虑因素。 文中提出
44、了在用栅极接地的NMOS 和栅极接电源 PMOS 管的基础上，结合电源与地之间的高速静电泻放回路的新的电路结构。 经过实际测试，在 HBM 模型下可以承受正负 2 500 V 的高压，并且该电路对正常信号的影响。 蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆
45、螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇
46、蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇
47、螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅
48、蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆
49、蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿蚅衿羈腿螇蚂芇芈蒇袇膃芇蕿蚀聿芆螁袅肅芅蒁螈羁芄薃羄艿芃蚆螆膅芃螈羂肁节蒈螅羇莁薀羀袃莀蚂螃膂荿莂罿膈莈薄袁肄莇蚆肇羀莇蝿袀芈莆蒈蚂膄莅薁袈肀蒄蚃蚁羆蒃莃袆袂蒂薅虿芁蒂蚇羄膇蒁螀螇肃蒀葿羃罿葿薂螆芇薈蚄羁膃薇螆螄聿薆蒆罿羅膃蚈螂羁膂螀肈芀膁蒀袀膆膀薂肆肂腿
