1、HT-218 型纳米微粒制备实验仪使用说明书一.基本原理纳米科学技术是 20 世纪 80 年代末期刚刚诞生并正在迅速发展的新科技。它是研究由尺寸在 0.1100 纳米之间的物质组成体系的运动规律和相互作用以及可能的实际应用中的技术问题的科学技术，也是一个融前沿科学和高技术于一体的完整体系。在整个纳米科技的发展中，纳米颗粒的制备和微粒性质的研究是最早开展的。微粒制备的方法很多，按制备方法可分为物理方法和化学方法。按制备路径分，或分为粉碎法和聚集法。本实验仪采用电阻加热，气体冷凝法制备纳米微粒。图中显示蒸汽冷凝法制备纳米微粒的过程。首先利用抽气泵（真空泵）对系统进行真空抽吸，并利用隋性气体进行置换
2、。惰性气体为高纯 Ar,He 等，有些情形也可以考虑用 N2气。经过几次置换后，将真空反应室内保护气的气压控制至所需的参数范围，通常约为0.1kPa 至 10kPa 范围，与所需粒子路径有关。当原材料被加热至蒸发温度时蒸发为气相。气相的原材料原子与惰性气体的原子（或分子）碰撞，迅速降低能量而骤然冷却。骤冷使得原材料的确蒸气中形成很高的局域过饱和，非常有利于成核。成核与生长过程都是在极短的时间内发生的，首先形成原子簇，然后继续生长成纳米微晶，最终在收集器上收集到纳米粒子。二.仪器组成如图所示纳米微粒制备实验仪外型图仪器照片实验仪器玻璃真空罩 G 置于食品顶部真空橡皮圈的上方。平时真空罩内保持一定
3、程度的低气压，以维护系统的清洁。当需要制备微粒时，打开阀门 V2 让空气进入真空室，使得真空室内外气压相近即可掀开真空罩。真空罩下方真空室底盘 P 的上部倒置了一只玻璃烧杯 F，用作纳料微粒的收集器。两个铜电极 I 之间可以接上随机附带的螺旋状钨丝 H。铜电极接至蒸发速率控制单元，若在真空状态下或低气压惰性气体状态下启动该单元，钨丝上即通过电流并可获得 1000C 以上的高温。真空底盘 P 开有四个孔，孔的下方分别接有气体压力传感器 E，以及连接阀门 V1，V2 和电磁阀门 Ve 的管道。气体压力传感器 E 连结至真空度量单元，并在数字显示表 M1 上直接显示实验过程中真空室内的气体压力。阀门
4、 V1 通过管道与仪器后侧惰性气体接口连接，实验时可利用 V1 调整气体压力，亦可借助 Ve 调整压力。阀门 V2 的另一端直通大气，主要为打开钟罩而设立。电磁阀 Ve 的另一端接至抽气单元并由该单元实行抽气的自动控制，以保证抽气的顺利进行并排除真空泵油倒灌进入真空室。蒸发控制单元的加热功率控制钮置于仪器面板上。调节加热器时数字显示表 M2 直接显示加热功率。三.主要技术指标真空度25nm 高速离心机，分光光度计或暗场法光学系统气体吸附法（容量法或重量法）比表面积 尺寸：1-10nm比表面积：0.1-1000m2/g吸附装置或重量法装置光散射法 平均直径 约 3nm 喇曼光谱仪X 射线衍射峰宽
5、法 晶粒平均尺寸 约2nm 透射电子显微镜扫描隧道显微镜法（STM）形貌与尺寸 宽范围 扫描隧道显微镜穆斯保尔谱法 粒径分布 穆斯保尔谱仪光子相关谱法 光子相关谱仪（一）TEM 法TM 法提供直接观测粒子尺寸的方法。为了进行观察，需要利用有碳膜的铜网取样。有两种取样方法。在制备纳米微粒的真空室内预置有碳膜的电镜用铜网，铜网与蒸发源之间设一挡板。蒸发时让挡板瞬间移开后即行复位，铜网上将收集到适量的纳米粒子。将少量制备好的纳米粉放入装有纯净乙醇（或其它纯净易挥发液体）的小试管中，进行超声处理以形成悬浮液。取一小滴液体滴在有碳铜网上，待其挥发后使用。将此有纳米微粒的铜网置入透射电子显微镜内进行观察，
6、并尽可能多拍一些有代表性的照片。然后由这些照片来测量粒径，并给出粒子数与粒径的分布图。法的最大优点是能够直接观察粒子的形貌及尺寸。但是法观测的仅是少量的粒子，而且用第种取样方式得到的是铜网包在处的粒子，用第种取样方式时，粒子尺寸沿高度方向可能有梯度，所取液滴内的微粒也不一定能完全代表全部微粒的粒径。另外法测量到的是微粒的颗粒度而不是晶粒度。（一）射线衍射峰宽法射线衍射峰宽法适用于微粒晶粒度的测量，对纳米微粉，测得的是平均晶粒度。但是按照 Scherrer 关系，有两方面的因素可以引起峰线变宽。一方面晶粒细小引致衍射线峰线宽化，而另一方面晶格应变，位错，杂质以及其它缺陷都可以导致峰线宽化。所以尽
7、管理论上这种衍射线宽化可以适用到 500nm 以下的晶粒范围，但实际上只当晶粒小于约 20nm，因晶粒细小引起的宽化效应才能压倒其它因素引起的宽化效应。也有文献指出，当晶粒小于 50nm 时，测量值已与实际值相近。衍射线半高强度处的衍射线增宽度与晶粒尺寸 d 之间的关系为（8.4-4）cos/BKd式中 为射线波长， 为布拉格角，为形状因子。已有文献给出约为 0.95-1.15。具体测量时用一晶粒大于 的同种材料作对比，将待测纳米微粒样品挑动射线半高峰宽m1值减去对比样品的峰宽值，即得到（8.4-4）式中的值。四.实验内容及步骤准备工作检查仪器系统的电源接线，惰性气体连结管道是否正常。惰性气体
8、最好用高纯Ar 气，亦可考虑使用化学性质不活泼的高纯 N2 气。利用脱脂白绸布，分析纯酒精，仔细擦净真空罩以及罩内的底盘，电极和烧杯。将螺旋状钨丝接至铜电极。从样品盒中取出铜片（用于纳米铜粉制备） ，在钨丝的每一圈上挂一片，罩上烧杯。罩上真空罩，关闭阀门 V1，V2 ，将加热功率旋钮沿逆时针方向旋至最小，合上电源总开关 S1。此时真空度显示器显示出与大气压相当的数值，而加热功率显示为零。由于 HT-218 预置了不当操作报警，如果回执功率钮示调节到最小，蜂鸣器将持续发出信号直至纠正为止。合上开关 S2，此时抽气单元开始工作，电磁阀 Ve 自动接通，真空室内压力下降。下降至一定值时关闭 S2，观
9、察真空度是否稳定在该值附近，如果真空度持续变差，表明存在漏气因素，检查 V1，V2 是否关闭。正常情况下不应漏气。打开阀门 V1，此时惰性气体进入真空室，气压随之变大。熟练上述抽气与供气的操作过程，直至可以按实验的要求调节气体压力为止。准备好备用的干净毛刷和收集纳米微粉的容器。制备铜纳米微粒关闭 V1，V2 阀门，对真空室抽气至 0.05kPa 附近。利用氩气（或氮气）冲洗真空室。打开阀门 V1 使氩气进入真空室，边抽气边进气（氩气或氮气）约 5 分钟。关闭阀门 V1，观察真空度至 0.13kPa 附近时关闭 S2，停止抽气。此时真空度应基本稳定在 0.13kPa 附近。沿顺时针方向缓慢旋转功
10、率旋钮，观察加热功率显示器，同时关注钨丝。随着加热功率的逐渐增大，钨丝逐渐发红进而变亮。当温度达到铜片（或其它材料）的熔点时铜片熔化，并由于表面张力的原因，浸润至钨丝上。继续加大加热功率时可以见到用作收集器的烧杯表面变黑，表明蒸发已经开始。随着蒸发过程的进展，钨丝表面的铜液越来越少，最终全部蒸发掉，此时应立即将加热功率调到最小。打开阀门 V2 使空气进入真空室，当压力与大气压相近时，小心移开真空罩，取下作为收集罩的烧杯。用刷子轻轻地将一层黑色粉末刷至烧杯底部再倒入备好的容器，贴上标签。收集到的细粉既是纳米铜粉。在 20.13kPa,50.13kPa,100.13kPa,及 300.13kPa
11、处重复上述实验制备，并记录每次蒸发时的加热功率，观察每次制备时蒸发情况有何差异。纳米微粒粒径检测利用 X 线衍射仪进行物相分析，确定晶格常数并与大晶粒的同种材料进行对比。比较纳米粉与大晶粒同种材料的衍射线半高峰宽，判断不同气压下制备的材料的晶粒平均尺寸。给出气压与晶粒尺寸之间的关系。有条件的可进行 TEM 观察，选取有代表性的电镜照片作出微粒尺寸与颗粒数分布图。五.注意事项为便于教学上的直观观察，真空钟罩为玻璃制品，移动钟罩时应轻拿轻放。使用阀门，时力量应适中，不要用暴力猛拧，但也不要过分谨慎不敢用力以至阀门不能完全关闭。通过实验的实际操作过程，提高基本的实验能力。蒸发材料时，钨丝将发出强烈耀
12、眼的光。其中的紫外部分已基本被下班吸收，在较短的蒸发时间内未见对眼睛的不良影响。但为安全起见，请尽量戴上保护眼镜。制成的纳米微粉极易弥散到空气中，收集时要尽量保持动作的轻慢。若需要制备其它材料的纳米微粒，可参照铜微粒的制备。但熔点太高的金属难以蒸发，而铁，镍与钨丝在高温下易发生合金化反应，只宜闪蒸，即快速完成蒸发。亦可利用低气压空气中的氧或低气压氧，使钨丝表面在高温下局部氧化并升华制得氧化钨微晶。六.预习思考题真空系统为什么应保持清洁？为什么对真空系统的密封性有严格要求？如果漏气，会对实验有什么影响？为什么使用的氩气或氮气纯度要求很高？为什么要利用纯净氩气或氮气对系统进行置换，清洗？从成核和生长的机理出发，分析不同保护气压对微粒尺寸有何影响？七.实验问答题为什么实验制得的铜微粒呈现出黑色？实验制得的铜微粒的尺寸与气体压力之间呈何关系？为什么？实验中在不同气压下蒸发时，加热功率与气压之间呈何关系？为什么？不同气压下蒸发时，观察到微粒“黑烟”的形成过程有何不同？为什么？
