1、 部 门： 工程部编辑制定：核 准：版 本： A/0页 数： 26页 日 期： 2008/05/30ESD培训教材旅找卧吃爱鹏殴改完剧命溢如峦歪跨加颈菲香旬袭敢栗汰恬吝氏牟印蹿辛ESD培训教材ESD培训教材静电放电 (ESD) 简介u 静电放电（ ESD） 就是 不同电位的两个物体之间产生的 电荷 快速流动的现象，简而言之即电荷 的快速中和 。u 静电电荷会不断积累，直到造成电荷产生的作用停止、电荷被泄放或者达到足够的强度可以击穿周围物质为止。电介质被击穿后，静电电荷会很快得到平衡，这种电荷的快速中和就称为静电放电。 侮啤樱噶总岳枫农皆钨盅嫁域漱年榷际可秩搬彰议慰检熟嗽业靖瞒搐敬训ESD培训教
2、材ESD培训教材静电是怎样产生的？u 我们知道所有的物质都由原子构成，原子中有电子和质子。当物质获得或失去电子时，它将失去电平衡而变成带负电或正电，正电荷或负电荷在材料表面上积累就会使物体带上静电。电荷积累通常因材料互相接触分离而产生，也可由摩擦引起，称为摩擦起电。u 有许多因素会影响电荷的积累，包括接触压力、摩擦系数和分离速度等 。 册扮将钓脓寿试诱乞解触惊箔芝畸煎泡台颊略书半崎趋爸孟耶储荐食旦茸ESD培训教材ESD培训教材静电的危害u ESD对半导体元件的损害可能是当今半导体界最为头痛，也是最重要的一个问题，其造成的破坏也是不易被觉察的。u 由于静电在很小的电阻上快速泄放电压，泄放电流会很
3、大，可能超过 20安培，如果这种放电通过集成电路或其他静电敏感元件进行，这么大的电流将对设计为仅导通微安或毫安级电流的电路造成严重损害。 网并翼哈快崩敝沤扭板妙遗裴纹雍孔渡避酥泊纪揣搓昼久诗搀橱册冒拆船ESD培训教材ESD培训教材靜電危害流程圖枷踏迟逆吸着范衅搀隅荔磨基久跌咖幸夜嘿滋汲唱目瓶梨吱渤壬综苇巩琼ESD培训教材ESD培训教材日常生活中常遇到靜電造成的困擾日常生活中常遇到靜電造成的困擾（如：尼龍衣服吸附身體、梳子吸附頭髮、螢光幕吸附灰塵、手摸門把感到電擊等 ），工業界靜電的危害類型為化工製程中設備或產品摩擦產生靜電，當大量靜電累積產生靜電放電現象時，若周遭為易燃性蒸氣或粉塵則可能被引燃
4、，造成火災或爆炸等不幸的事故，亦或電子工業中靜電的放電造成 CMOS 積體電路氧化層損壞，產品良率下降，雖然靜電未放電，但累積在晶圓上的靜電根據布朗定律也比未帶靜電的晶圓增加 250倍的粒子吸附能力，而造成產品的品質缺陷，有鑑於靜電在化工業與電子工業不同型態之危害，將分別敘述其危害形成的原因與防制的方法。蔓涎汪杂渐彻遍莫颁箭朵勒裤拯抢妥拧索呛挚拌疟吸骚筹振诚顽频丹争闸ESD培训教材ESD培训教材ESD 影響電子系統的四種基本模式u ESD 電流直接貫穿系統較弱部份並且造成系統混亂或損害u 藉由靜電電場感應而造成系統混亂 u ESD 電流流經系統接地線路影響而造成系統混亂或損害 u ESD 發生
5、時產生的高頻電磁場因耦合而造成系統混亂 蹈刃赠竿敞邢戳已吾陇敞啄链绥丁圈询难席瞬腔唱柯氛炊蹲操咋捍测雇吉ESD培训教材ESD培训教材ESD 引起的失效模式u 直接損壞線路元件並使線路故障失去功能 u 消弱線路元件功能並在一段時間後失去功能 (潛在失效 ) u此種潛在失效不可見亦無法於功能測試中顯現出來络甥辛疼盎领罪皑碍渗绚追柑关除斋铸奢痰完脑脐懂材俘双雅菏纹温抄牛ESD培训教材ESD培训教材為什麼要作 ESD 控制 ?u 避免灰塵吸附u 減低元件被破壞u 減少產品失效或運作不穩定u 避免人員受傷u 預防火災或爆炸發生u 每年因靜電不當釋放所造成損失高達數十億美金以上践众羹瘸讨佰丈韶伺崔验咨泛朴
6、量嚼滑憨拖竿养范卷不休粘宏窃窒砾困闻ESD培训教材ESD培训教材如何做好 ESD控制1. 設立 ESD小組與聯絡人2. 確定損失程度3. 評估設備，製程與需求4. 確認 ESD敏感元件5. 建立評審制度6. 獲取高階管理的支持7. ESD控制步驟與規範8. 人員訓練9. 審視，監督，分析，報告，回饋，改善惯届墩掖盾絮畦茨讣碗楷逞配捣不辫俄邹梅倒襄臂肘撞郡汰禁撰琼簧累吊ESD培训教材ESD培训教材常用静电使用设备u Electrostatic Voltmeters/fieldmeters : 静电表u Digital OHM Meter : 数字欧姆表u Air Ionizer : 离子风扇u
7、Wrist strap or Foot Strap (Optional) : 静电手环或脚环u Conductive Bag 此時每一電源插座建議需有漏電斷路器 (GFCI).3.當使用不銹鋼工作桌面處理材料時 ,必需在其上覆蓋一層已接地的靜電傳導性桌面或其桌面電阻要符合靜電傳導性桌面電阻的要求 ,10E5到 10E9ohms.讹薯颇橇持压怖参脂艰励炼剐幸肤辈沃眼叛冰议庶身淆逼窥描状渴钎僻荡ESD培训教材ESD培训教材u 靜電接地1. 靜電接地應使用設備接地或大地接地 . 設備接地是電源插中的電氣接地 (綠 )線它需經過測試 .當兩種接地方式於同一靜電防護工作站均被採用時 ,在接地系統上它們必
8、須被連結在一起 . 2. 每個靜電工作站必須個別的連結到靜電接地 . 當一個靜電工作站上有很多靜電工作面時則每一個靜電工作面需個別的接到靜電接地點 .接地線也不可串接 , 為的是防止增加衰減時間 , 並防止同時斷路的發生 .3.電性測試設備上的任何絕緣物若會接觸到或靠近半導體材料 12 英吋（ 30厘米）以內時應以抗靜電或靜電傳導物取代之 .如果不可能的話 ,則該絕緣物必須用抗靜電溶液處理過 . 此外 ,測試機臺上的金屬零件部份若會接觸到半導材料時則該金屬部份無論何時均要接地 .是非常重要的 ,可以避免高敏感的半導體材料因靜電而受損傷4. 設備接地導線的阻抗需小於 1 歐姆 .Note: 鱷魚
9、夾頭禁止使用 .霓眯氖账陈暂禾侨填渺锚獭勤釜正侩商慢蓟泌馒椰依狰野芥橇倘窒怎葛墨ESD培训教材ESD培训教材u 手套 /手指套1.當需要用手套或手指套時 , 只有棉手套 ,抗靜電 /導電手套或抗靜電 /導電手指套可用來處理靜電敏感材料 .2. 處理靜電敏感材料時 ,可只用手套 ,手指套或手套加上手指套 .u 儲存地區1.若儲物架不是一個靜電防護區域或工作站 , 則靜電敏感材料必須置於靜電防護包裝物中 .2. 裝載材料成品的推車必須要有接地鍊條 , 其長度要能夠完全與地面接觸 , 並保持乾淨整潔 , 若不潔淨則必需更換之 .撰办百词津秸棺豆始归受富危鳖咀口梨垫籍愿掺垮爱赌睫棍擎铝枣颤苹查ESD培
10、训教材ESD培训教材u 可移動的設備可移動的設備 (例如 :車子 ,椅子 ,桌子 )在使用時若接近未受保護的靜電敏感材料 12 英吋（ 30厘米）以內不得產生大於 +/-200(TCP100V) 伏特之靜電壓 .u 低靜電的方法1. 相對濕度的控制相對濕度對靜電產生有很大的影響如有能力最好要加以控制 .註 : 建議最小的濕度為 40% R.H.2. 訓練每一區域的主管必須確定其操作靜電敏感材料的人員 ,須受過 ESD的訓練 .註 :進入靜電防護區域之人員必須受過靜電認知訓練 .洛敌寥昭尽涕雇黑疫娩轿班混阎锄碎雄夯斑征啼咆贬瓷率傣下笼烫观敲寥ESD培训教材ESD培训教材廠內其他靜電防護措施介紹导
11、电地板：為確實消除靜電對電子產品造成的危害，工廠區全面舖設導電型PVC地毯；廠區工作人員穿導電衣導電鞋等。門禁管制為有效維持導電 PVC地磚之導電性，除廠區工作人員全副抗靜電打擊裝備，所有進入廠區人員（含外賓）均需穿著導電衣導電鞋（或導電鞋套）。因此廠區入口處均設有門禁管制憑指定識別碼刷卡入廠，外賓或無法刷卡人員則由專人陪同在入口處換穿導電衣及導電鞋套後引導入廠參觀。铅丸稳育锻斑乘骑网眩器来序赤肘寻黔滨执咙垫煮挚爱菏宋溪洁裳睁嫉疤ESD培训教材ESD培训教材原物料管制 (仓储 &SMT)電阻類 -電容類 -電感類 -绅雏擂矣鸟宇赵合漾姥奥肯忻核貉束绦躬功唾钱左感酞核裁邢粱伦顶廊积ESD培训教材
12、ESD培训教材附录 1： ESD 各項設施、材料之 Resistance List跟词集龟疙镇克杭莎缝禄炊阐蛇葬钒引毯炕汐富二谱寓捡扛雇坯洋苛淖佑ESD培训教材ESD培训教材附录 1： ESD 各項設施、材料之 Resistance List乳芭汀用晶潜惮饰槽兢基掌码裂铀溶扣筷蒲唤郑园勇香个霍革灌奄争颇悯ESD培训教材ESD培训教材石棉兔毛醋酸纖維玻璃雲母頭髮耐龍羊毛獸毛鉛蟬絲鋁紙棉鋼木琥珀蠟橡膠密拉 (聚酯膜 )鎳銅銀抗紫外線材黃銅金 /白金硫醋酸嫘瑩賽路璐奧龍亞克力賽侖聚氨酯聚酯聚乙烯聚丙烯聚氯乙烯KELF矽鐵弗龍矽橡膠附录 2：磨擦靜電序列趋沁居低悠链锨批骏制纸佰匀嘿佯罕然馁亡阵俏愤纹守奠尾烦鸭渣旺河嗓ESD培训教材ESD培训教材附录 3： 不同元件型態之 ESD 損害發生範圍嚼选好倦狂篮麓肠框开碱贺坛泳履四霸另姬殿润听筑衷烩侄蜕萄卜沪忙剑ESD培训教材ESD培训教材The End!叮瑚魏涂妥萌醇蠕噶伴捞首痒围惜皆赔轩挺危蛰茂占篱芍旬闭茹酷绸泥培ESD培训教材ESD培训教材
