1、文库下载 免费文档下载http:/ 38CrMoAl 钢的低温离子氮碳共渗表面纳米化 38CrMoAl 钢的低温离子氮碳共渗第卷第期年月纳米加工工艺表面纳米化钢的低温离子氮碳共渗王丽梅，佟伟平辽宁沈阳（东北大学材料电磁过程研究教育部重点实验室，摘文库下载 免费文档下载http:/ ；钢；离子氮碳共渗，）（，：文库下载 免费文档下载http:/ ；中图分类号：文献标识码：文章编号：（）引言利用辉光放电现象，将含氮气体介质电离后后的表面硬度值随温度的升高而增加，处理后达到最大值，这样高的处理温度容易使材料基体在整个氮碳共渗过程中发生高温退火从而导致基体性能下降，而且对于精密的工件不利于保持其原有的
2、形状和尺寸。文库下载 免费文档下载http:/ 。传统的离子氮碳共渗温度通常为左右，能够减少渗氮周期，但获得的渗层硬度值并不理想，若达到较高的硬度要求则需提高温度。实验表明，钢离子氮碳共渗） ，是通过大量高速运动的弹丸撞击到样品的表面，使得材料表面产生强烈塑性变形，从而获得了具有一定厚度的塑性变形强化层，在这一强化层内，金属的组织结构发生了明显的变化，形成了高密度的位错和细小的亚晶粒，尤收稿日期：第期年月:/ 纳米科技其使材料的表面附近形成了晶粒取向随机分布的纳米结构层，纳米晶结构提高了晶界的体积分文库下载 免费文档下载http:/ 。图为样品离子氮碳共渗后的扫描照片，由图中可以看到经处理的样
3、品与原始粗晶文库下载 免费文档下载http:/ ） ，沿着这些痕迹有针状和线状物析出，说明这一层在氮碳共渗过程中没有发生明显的再结晶现象。对试样进行表面研磨抛光后退火，真空度，退火温度，保温时间，对退火后的样品进行表面机械研磨处理。具体处理过程见参考文献 。采用通氨滴醇法进行离子氮碳共渗，其中：，处理温度为，保温时间，处理后进行空冷，为了进行对比，分别对样品和原始粗晶样品同时进行离子氮碳共渗。采用日本岛津公司（http:/ 免费文档下载http:/ 免费文档下载http:/ ，因此有利于原子、的吸附及合金碳化物的形成。其形成原因可能是表层存在大量晶界和位错等缺陷，在一定程度上增加了碳在 中的溶
4、解度，当渗入的碳原子达到饱和时，便析出斜方正交结构的。对钢离子氮碳共渗后的样品做透射电镜观察（图） ，可看出表面析出的化合物尺寸仍然处于纳米量级，基体晶粒也没有发生明显的长大，可见的离子氮碳共渗处理没有使表面机械研磨后的钢表层纳米结构晶粒发生再结晶现象。对箭头所指析出物进行能谱分析（图（） ）可知其表面富含、的化合物，其中碳元素的含量较高，这与射线衍射的结果是一致的，说明样品表面渗入了大量的碳原子。性能，我们对两种样品进行了显微硬度测试，取所http:/ 测三点的平均值。图为样品的硬度分布曲线，由图中可以看到在距表面以内的范围，样品的显微硬度值明显高于原始粗晶样品，这个高硬度范围几乎对应于处理
5、后的强塑性变形区域，对比原始粗晶共渗的样品，其硬度曲线较平缓。实际上，这样的表面硬度分布也达到了较高温度离子氮碳共渗处理的水平 ，对表面因承受较大压力而导致塌陷的工件具有很好的保护作用，又因其处理温度较低而不会导致工件发生变形。（）图原始粗晶样品（）样品离子氮碳共渗样品硬度分布曲线（）相组成及微观结构由图的衍射图谱可看到，两个样品渗层文库下载 免费文档下载http:/ 相及少量的 和相，而样品表面渗层结构比较复杂，出现了具有复杂斜方正交结构的峰，这种结构的能被等合金元素置换形成（、），（）图折出物能谱图钢离子氮碳共渗后的和结果讨论渗氮是由吸附和扩散两个过程组成，渗氮速图离子氮碳共渗衍射图谱文库
6、下载 免费文档下载http:/ ，http:/ ，王晓晖，刘祥林，汪度，等用于生长的蓝宝石衬底化学抛光研究 半导体学报，：文库下载 免费文档下载http:/ 人工晶体学报，（）：结语在大量实验的基础上确定了以、低分散周海蓝宝石衬底片精密加工工艺研究 现代制造工程，：雷红，雒建斌，张朝晖化学机械抛光技术的研究发展 上海大学学报，： ，：作者简介文库下载 免费文档下载http:/ ，女，河北承德人，助教，工学硕士，福建工程学院专业课教师。研究方向：半导体材料加工工艺。度的碱性二氧化硅溶胶为抛光液，在值为温度为、压力为的条件下，抛、光速率达到，表面粗糙度很低，表面状态相当完美；同时，由于加入了不含钠
7、离子且具有十三个以上螯合环的水溶性螯合剂，使蓝宝石晶片在抛光后便于清洗，避免了再次的离子沾污；提高（上接）通常渗氮初期由吸附形核控制，后期在强塑性变形层范围内的硬度值仍然很高，分布也较平缓，在约处硬度值还能达到以上。参考文献由扩散控制 。http:/ 北京：机械工业出版社，年月，杨烈宇离子轰击渗扩技术 北京：人民交通出版文库下载 免费文档下载http:/ ，：佟伟平博士论文 年月，韩立民等离子热处理 天津：天津大学出版社，张德元等离子氮碳共渗中碳的作用及机理初探 金属热处理，（）：作者简介佟伟平（） ，男，辽宁人，教授，主要从事无机纳米材料的制备及其性能研究。结语）处理能够实现钢的表面文库下载 免费文档下载http:/ 文档，专业文献，应用文书，行业论文等文档搜索与文档下载，是您文档写作和查找参考资料的必备网站。文库下载 http:/
