1_400氦质谱检漏仪说明书.docx

NHJ系列氦质谱 检漏仪 操作说明 INSTRUCTIONS FOR NHJ SERIES HELIIUM MASS SPECTROMETER LEAK DETECTOR 型号：NHJ-400 NHJ-600 NHJ-800 [请输入公司名称] [请输入公司地址] [请输入电话号码] [请输入传真号码] 2022年3月31日 版本号：N2.1 /2015.03 修 订：2019.07 ７ NHJ系列氦质谱 检漏仪 图 1 NHJ-600 图 2 NHJ-400 警 告 小 心 注 意 图标约定： 警告是指潜在的危险情况，如果操作失误，可能对人身造成伤害。 小心是指潜在的危险情况，如果操作失误，会导致仪器或人身较小的伤害。 注意是指无伤害的情况，告知用户在日常使用的过程需要注意的事项。 前言 感谢阅读以下信息： 在安装和试运行氦质谱检漏仪前，为确保一开始就处于最佳条件且安全地工作，请认真阅读本说明书和以下信息。 只有严格按照本说明书正确使用氦质谱检漏仪，才能使氦质谱检漏仪安全和有效的运行。 本产品必须有经过培训的人员才能进行操作和维护。认真阅读、严格遵守说明书中所述的安全防护措施是用户的责任。 机 型 性 能 参 数 参 数 值 NHJ-400 最小可检漏率 2×10-13 Pa·m3/s 漏率显示范围 1×10-2 ~1.0×10-13 Pa·m3/s 吸枪最小可检漏率 5×10-9 Pa·m3/s 吸枪漏率显示范围 1×10-2 ~1.0×10-9Pa·m3/s 检测气体 H2、He3\He4 响应时间 ≤0.2 S 启动时间 ≤100 S 检漏口检漏压力 2000Pa 质谱管内部压力 3×10-3Pa 检大漏功能 具备 无线手持器 选配 吸枪 选配 灯丝切换功能 手动/自动 前级泵 D16C 分子泵 普发80 /莱宝90 小推车 标配 检漏仪尺寸： 620×370×1027 性 能 参 数 机 型 性 能 参 数 参 数 值 NHJ-600 最小可检漏率 2×10-13 Pa·m3/s 漏率显示范围 1×10-2 ~1.0×10-13 Pa·m3/s 吸枪最小可检漏率 5×10-9 Pa·m3/s 吸枪漏率显示范围 1×10-2 ~1.0×10-9 Pa·m3/s 检测气体 H2、He3\He4 响应时间 ≤0.2 S 启动时间 ≤100 S 检漏口检漏压力 2000Pa 质谱管内部压力 3×10-3Pa 检大漏功能 具备 无线手持器 选配 吸枪 选配 灯丝切换功能 手动/自动 前级泵 GHD-031B 分子泵 普发80 检漏仪尺寸： 620×370×480 性 能 参 数 机 型 性 能 参 数 参 数 值 NHJ-800 最小可检漏率 2×10-13 Pa·m3/s 漏率显示范围 1×10-2 ~1.0×10-13 Pa·m3/s 吸枪最小可检漏率 5×10-9 Pa·m3/s 吸枪漏率显示范围 1×10-2 ~1.0×10-9Pa·m3/s 检测气体 H2、He3\He4 响应时间 ≤0.2 S 启动时间 ≤100 S 检漏口检漏压力 2000Pa 质谱管内部压力 3×10-3Pa 检大漏功能 具备 无线手持器 选配 吸枪 选配 灯丝切换功能 手动/自动 前级泵 nXDS10i 干泵 分子泵 普发80 /莱宝90 小推车 标配 检漏仪尺寸： 620×370×1027 性 能 参 数 目 录 一．安全信息 1.说 明---------------------------------------------------- 1 2.真空设备及其清洁 ----------------------------------------- 1 3.O型密封圈的护理 ------------------------------------------ 2 4.金属密封件的护理------------------------------------------ 2 5.产品使用的一般要求 --------------------------------------- 3 6.泵-------------------------------------------------------- 4 7.显示面板 ------------------------------------------------- 4 二．NHJ型氦质谱检漏仪 1.简介------------------------------------------------------ 5 2.检漏仪的拆箱---------------------------------------------- 6 3.安 装---------------------------------------------------- 6 4.安 装 的 要 求-------------------------------------------- 7 4.1.检漏仪的位置-------------------------------------------- 7 4.2.检漏仪的工作电源---------------------------------------- 7 4.3.机械泵油位---------------------------------------------- 7 5.NHJ型氦质谱检漏仪尺寸图----------------------------------- 8 6.NHJ型氦质谱检漏仪的气路图--------------------------------- 9 三．NHJ氦质谱检漏仪的操作 1.检漏仪操作面板---------------------------------------------10 2.检漏仪的通电-----------------------------------------------11 3.检漏仪的启动-----------------------------------------------12 4.检漏仪的待机-----------------------------------------------13 5.系统参数设定-----------------------------------------------14 5.1报警设值设定----------------------------------------------17 5.2检漏模式设定----------------------------------------------19 5.3标漏设置设定----------------------------------------------20 5.4 通讯设置-------------------------------------------------22 5.5接口设置--------------------------------------------------22 5.6其它设置----------------------------------------------------------------------------------25 5.7高级设置----------------------------------------------------------------------------------26 5.8历史记录----------------------------------------------------------------------------------27 6.主界面显示--------------------------------------------------28 7.状态界面说明------------------------------------------------29 8.外部控制输出信号接口------------------------------------------------------------------31 8.1 接口定义及位置-------------------------------------------31 8.2遥控器接口、232接口---------------------------------------32 8.3输出接口用法-------------------------------------------------------------------------- --32 四．常使用的检漏方法 1 负压检测----------------------------------------------------33 1.1喷氦法-----------------------------------------------------33 1.2钟罩法-----------------------------------------------------33 2 正压检测----------------------------------------------------34 2.1 吸入法-----------------------------------------------------34 2.2钟罩法------------------------------------------------------34 3 背压法--------------------------------------------------------35 五．仪器的维护和保养 1 通电测试------------------------------------------------------36 2 机械泵保养----------------------------------------------------36 2.1泵油 --------------------------------------------------------36 2.2换油---------------------------------------------------------37 3标准维护选备件清单---------------------------------------------38 4. 常见故障分析和处理------------------------------------------------------------------------39 5. 常见错误代码分析和处理------------------------------------------------------------------40 6. 通讯协议------------------------------------------------------41 六.售后及客服 安全信息 1. 说 明： 操作员和维护人员，必须知悉与此产品相关的所有危险。且必须知道如何识别及避免危险及潜在危险性条件。不熟练、不正确或疏忽操作设备可能导致严重后果。 所有操作员或维护人员必须仔细阅读，操作/维护说明及所有附加资料。且必须仔细阅读并严格遵守所有警告和小心事项。 如有任何有关安全、操作及或维护方面的问题，请咨询离您最近的 办事处。 2.真空设备及其清洁 维护或保养检漏仪时保持清洁至关重要。检漏仪的维护或保养，比其一般的真空设备相比，要严格注重以下事项： 小 心 严禁使用真空硅脂或硅油，在产品内部。 请佩戴无粉橡胶手套，以免真空表面沾上粉尘或护肤油。建议不要使用真空脂。真空脂能够吸收测试气He2,并在测试过程中，将He2慢慢的释放从而引起氦气的污染。 如果一定要使用真空脂，请少量使用正品。 １ 3. O型密封圈的护理 在取出。检查或更换O型密封圈时，请注意以下事项： 注 意 建议在日常的维护或保养过程中，在需要取出 O型密封圈时，就要跟换所有O型密封圈。 1.在取出O型密封圈时，要用手指小心的取出不要使用金工具，以免划伤O型密封圈的密封面。 2.在安装前要使用无尘布或无绒布，将O型密封圈表面擦拭干净，以防止有异物影响密封。 3.严禁在O型密封圈表面涂上真空脂或其它物质。 4.金属密封件的护理 在日常的使用和维护过程中，必须接触到金属密封件的密封面。在操作的过程中要用手指小心的取下金属密封件。不要使用金属工具，以免损失密封面。在取下或跟换金属密封件时，要保证密封面的清洁，无粉尘、无异物，以免损坏产品的密封。 所有的金属密封件应存放于干净的房间， 保护好密封面。金属密封件通常不需要清洗，必要时使用无尘布或无绒布沾酒精擦拭干净。 ４９ 5.检漏仪使用的一般要求 使用的环境： 1.产品仅用于室内及工业和实验室使用。 2.操作温度：10℃~40℃，相对湿度：≦80% 3.工作电压：单相220V±10%,50Hz 4.最大工作电流; 10A 5.海拔高度：2000米以下 警 告 ~ 严禁在含有易燃易爆气体的环境使用。 ~ 请不要拆卸或改装产品，可能导致人员触电或伤害，产品无法正常使用。如需拆卸或改装， 请联系生产厂家或售后人员。 ~ 如发现产品有烟雾、闻到异味或听到噪音，请立即停止使用，并联系售后服务人员。 ~ 检漏仪不能与危险气体一起使用。在使用检漏仪前，应确保待测试产品，已清除危险气体。 当检测含有危险性气体时，要将检漏仪的排气口连到有净化功能的排气装置上。 6.泵 机械泵和分子泵在使用或维护时，要严格按照 机械泵和分子泵的说明书操作。 7.显示面板 显示面板是由显示屏和操作按键组成 注 意 显示屏为液晶显示屏。在操作过程如需使用，用手指轻触即可。不能使用金属物件点触操作，以免损坏显示屏。 操作按键为金属常开式开关。操作时，有手指轻按即可。不能使用金属物件点触操作，以免损坏。 NHJ型氦质谱检漏仪 1.简介 NHJ型氦质谱检漏仪是一款 具有高灵敏度、快速度和宽量程的检漏仪，它含有涡轮高真空分子泵、内置机械泵、外置机械泵、质谱分析室、阀座组件、电路控制板、操作面板以及其他可选功能组件组成。 氦质谱检漏仪是对密封物件的泄露点，进行定位和定量的检测仪器。氦质谱检漏仪选择惰性气体氦气，作为检测气体，无毒、惰性、大气中含量低、原子量小，能轻易的穿过 漏孔、不可燃，安全气体、可以存放于各种大小的瓶罐中。广泛应用与很多领域。 ★ 航空航天 ★ 科学研究 ★ 军事工业 ★ 汽车制冷 ★ 压力容器 ★ 分析仪器 ★ 核工业 ★ 发电厂 ★ 新能源行业 ★ 半导体行业 ★ 精密机械加工 ★ 医疗仪器仪表 ★ 高真空设备工程 2.检漏仪的拆箱 检查包装箱外观是否有损坏： 1.要保留外箱或仪器损坏的痕迹或照片。 2.及时联系送货单位或售后服务人员 3.检查包装箱内装箱清单和物品。 3.安 装 1.在一名助手的协助下，将检漏仪从包装箱中 取出。 2.先取出大包装箱中的小推车，再取出 小包装箱中的检漏仪主机。 3.在配件中找出短一些的波纹管，将小推车 上的侧板拆下，机械泵进气口和主机上的 出气口，各用1个KF25的卡箍将波纹管2端 连接固定紧。再用M6*10的螺钉将主机固定到推车上，确保连接可靠，无受力拉扯现象。 再装好侧板。 4.安 装 的 要 求 4.1.检漏仪的位置 1.1接近检漏仪工作时使用的电源插座。 1.2.检漏仪后方要保留15厘米以上的通风空间。 1.3.操作员要保留足够的安全空间，来操作仪器。 4.2.检漏仪的工作电源 2.1.单相220V±10％ 50Hz 2.2.电源插座要有可靠的接地，连接到楼宇的保护性接地系统 4.3.机械泵油位 油封机械泵在装运时，已经预先注入了合适的 油量。观察油位的玻璃窗，位于机械泵的侧面。 泵未运行时，油位应在玻璃观察窗的2/3处。 泵运行时，油位应在玻璃观察窗的1/2处。 请参考随机附带的《机械泵说明书》 5.NHJ型氦质谱检漏仪尺寸图 图 3 6.NHJ型氦质谱检漏仪的气路图 图 4 图示说明 序号 物料名称 说明 序号 物料名称 说明 1 机械泵 保持分子泵和检漏口的真空度 8 V1 粗真空度时的检漏阀 2 分子泵 保持质谱分析室和检漏口的高真空度 9 V2 真空预抽检漏阀 3 MS 质谱分析室 10 V3 中真空度时的检漏阀 4 P1 电阻规管 11 V4 高真空度时的检漏阀 5 P2 PSG500真空规管 12 V5 内置标漏定标开启阀 6 标漏 提供标准的数值的漏孔 13 V6 检漏口进气阀 7 检漏口 连接工件的标准KF25接口 NHJ氦质谱检漏仪的操作 1.检漏仪操作面板 图 5 1.1 检 漏 口： 用于检漏仪和被检件的连接口 1.2 显 示 屏： 用于检漏仪运行时，显示信息 1.3 金属按键：控制检漏仪的开始、停止、调零 2.检漏仪的通电 2.1.确认检漏仪工作的环境是否符合 安装要求。 2.2.确认检漏仪有可靠的接地。 2.3.确认检漏仪真空管路连接OK， 2.4.连接好检漏仪的电源线。 2.5.按下小推车上绿色的开关，给检漏仪供电。 检漏仪通电后显示屏的显示 图6 3.检漏仪的启动 图 7 在给检漏仪供电后，检漏仪就进入了启动的过程。 检漏仪的启动时间≦100S. 检漏仪的启动过程， 是检漏仪中主要部件开始工作；也是主要部件的 自我检测的过程。 3.1启动 用时 ：开启检漏仪启动的时间 3.2排气口压力：分子泵排气口的实时真空度 3.3检漏口压力：检漏口的实时真空度 图 8 4.检漏仪的待机 检漏仪的待机，说明检漏仪已经完成启动。 可进入检漏状态。 4.1检漏模式： 指示当前检漏仪工作在真空模式 4.2漏率实时值：指停止状态前，检漏仪的漏率值 4.3报警阀值： 显示检漏仪设置的报警值 4.4标漏漏率： 检漏仪设置的标准漏孔漏率值 4.5标漏信号： 显示定标时所检测信号的电压值 4.6 检漏口压力：检漏口的 实时真空度 4.7 排气口压力：分子泵排气口的实时真空度 4.8音 量： 检漏报警时喇叭声音的模式 5. 系统参数设定 图9 在检漏仪处在“待机”状态下，用手指轻触 设 置 按键，将出现一个“密码输入键盘”,在键盘上输初始密码“8”，在轻触确认键，进入设置界面。 5.1报警设值设定 报警设值 在设置界面中，轻触 将出现报警设置界面 图10 5. 1. 1报警阀值：被检件的漏孔大于设定的值， 检漏仪输出报警信号或报警。 5.1.2报警延迟时间：达到报警值后，延迟设定的秒数后，再报警。 5.1.3音量大小: 静音 、小、中、大 5.1.4报警输出： 禁止、允许 禁止是指禁止报警信号输出 允许是指允许报警信号输出 5.1.5大漏报警：禁止、允许 5.1.6大漏时间：开始抽空时，达到设定的时间，检漏口真空度没有达到设定的真空度，检漏仪输出大漏报警信号 5.1.7大漏真空度：预设抽空达到真空值 5.2检漏模式设定 检漏设置 在设置界面，轻触 将进入检漏模式界面。 图11 图12 5.2.1 检漏模式：真空模式，为工件负压模式检漏 吸枪模式，为工件正压模式检漏 5.2.2放气模式：停止并放气，是指按下停止按键后， V6阀打开，将空气放到检漏口内部。 通常在检测容积小的工件使用； 停止不放气，是指按下停止按键后 V6阀不打开，检漏口会保持真空度.通常在检测容积大的工件使用 5.2.3灯丝选择： 自动，为灯丝自动切换； 灯丝1、灯丝2为手动切换。 5.2.4精检压力：指真空度达到设定值后，开V4阀 5.2.5检测周期：指运行设定的秒数后，自动停止。 5.2.6滤波设置: 动态滤波 、静态滤波 动态滤波： 精度高，但响应速度慢 静态滤波： 波动大，但响应速度快。 5.2.7 精度设置：自动、低、中、高 自动: 系统自动控制电磁阀的开和关 低：系统自控制V1和V2的开和关 V3和V4不开启。 中：系统自动控制V1、V2和V3的开关 V4不开启。 高：系统自动控制V1、V2、V3和V4的开关 控制和自动相仿。 5.2.8 漏率单位： Pa·m3/s 、m bar·l/s、atm·cc/s、PPM 5.2.9 真空单位：mbar、Pa、atm、Torr 5.2.10 校零模式: 手动，用手轻触调零按键， 仪器进入校零状态。 自动，轻触开始按键后，仪器将在 设定的时间后，自动进入校零状态 5.2.11校零量级：进入校零模式后，零点显示值 为校零前显示值的指数减去设定值 5.2.12自动校零时间：在自动模式下，自动校零的 周期时间 5.2.13 本底刷新时间：软件采集数据，刷新的时间 5.2.14调零按钮模式：设定按键操作的方式。 5. 2. 15机器因数是为了修改显示值和实际值误差，而在软件中设定的。出厂设置为真空模式：1.0； 吸枪模式：1.0。 如使用客户需要修改，直接用手指轻触数值栏，就可以出现“数值键盘”在键盘上输入需要的数值，再确定即可。 5.3标漏设置设定 标漏设置 在设置界面，轻触 ,将进入标漏设置界面。 图13 5.3.1吸气标漏设置：用吸枪检测标准漏孔给仪器设定 标值一般设定值为4.2E-7 Pa·m3/s 5.3.2真空标漏设置：用标准负8级漏孔给仪器设定标准。 5.3.3 漏孔类型：内置 是使用内置标漏 外置带开关 是外置标漏本身带开关 外置不带开关 是外置标漏本身不带开关 5.3.4标漏漏率： 设定的值，为标准漏孔上校准的值 5.3.5定标时，如选择内置，在打开标漏设置界面后，直接轻触，仪器即可自动设定标准。如选择外置不带开关，就要在检漏口装上外置标漏，再将设定值改为标漏上的校准值，再轻触，仪器即可自动设定标准。如选择吸枪标漏或外置带开关，先要将吸枪或外置标漏装配好后，在按仪器指示操作。 图14 56789 7 图15 5.4 通讯设置 通讯设置 在设置界面，轻触 将进入通讯设置界面 图16 5.8.1通讯设置： 外部串口、遥控接口 5.8.2波特率： 9600、19200、38400、57600、115200 5.8.3协 议： Mod bus 、协议 1、N/A 5.8.4串口类型: RS232、RS485 通讯协议只开放NOY协议3 5.5接口设置 接口设置 在设置界面，轻触 将进入接口设置界面 图17 5.5.1 真空度继电器输出： 禁止、允许 禁止: 禁止输出板上的真空度继电器输出 允许：允许输出板上的真空度继电器输出 5.5.2输出条件：低于设定值、高于设定值 低于设定值： 在真空继电器输出为允许时， 检漏口真空度低于设定值， 继电器输出真空信号。 高于设定值： 在真空继电器输出为允许时， 检漏口真空度高于设定值， 继电器输出真空信号。 设定值: 设定使用客户需要输出信号时的真空值。 5.5.3 模拟输出： 禁止、允许 禁止：禁止仪器输出模拟量信号 允许：允许仪器输出模拟量信号 5.5.4输出模式： 线性、指数 线性：在输出使能为允许的情况下， 输出线性的模拟量信号。 指数：在输出使能为允许的情况下， 输出指数的模拟量信号 5.5.5开关输入: 禁止、允许 禁止： 禁止开关输入信号，控制仪器。 允许： 允许开关输入信号，控制仪器。 5.5.6开关模式： 脉冲、电平 脉冲： 在外部控制使能为允许时， 外部使用脉冲信号，可以控制仪器。 电平： 在外部控制使能为允许时， 外部使用电平信号，可以控制仪器。 5.6其它设置 其它设置 在设置界面上，轻触 ，将进入实际设置界面 图18 轻触 数字显示，可以选择想要设置的数值 更改初始密码“8”。更改后要记牢，以免忘记。 5.8高级设置 高级密码 在设置界面上，轻触 ，将进入高级设置。 图27 图27 图27 图19 在进入这个界面前，会出现密码键盘菜单。正确输入 密码后，才会出现高级设置界面。 高级设置为我公司调试人员和售后人员，设定仪器参数 使用，使用客户不需要设置该界面的参数。 如有特殊需要，可以联系我公司的售后人员咨询。 5.9历史记录 记 录 在设置界面上，轻触 ，将进入记录界面 图20 历史记录：是记录检漏仪，每一次检漏时，检测到的漏率。 并和报警值比较，然后输出检漏结构OK/NG 输 出 输出：如果需要将记录值输出。直接将U盘插入检漏仪背面的USB接口，然后点击 ，即可将数据导入U盘中。再将U盘插到电脑中即可读出记录数据。 删除：就是将记录的数据删除。清除数据内存。 图22 曲线图 图21 直方图 6.主界面显示 7.状态界面说明 图23 图24 图25 图26 状态界面：显示仪器内设置和运行参数。方便使用客户 和售后人员查看。 8.外部控制输出信号接口 1 RS232接口 4 外部输入输出接口 2 485接口 5 AO接口 3 遥控器接口 6 USB接口 图26 8.1 接口定义及位置 图27 图33 8.3遥控器接口、232接口 接口 ：BD9公头 RS232接口 遥控器接口 8.4输出接口用法 测试时可以使用万用表蜂鸣器档测试 四．常使用的检漏方法 使用氦气作为探索气体，有多种检测方法。通常要根据被检测件的实际工作条件，来确定检测方法。建议在检测时，应保持与检测件实际使用时相同的压差和使用方法。例如：真空物件应该在真空环境下检测，压力罐应该在管内充压的情况下检测。 1 负压检测 负压检测是用真空泵或检漏仪自身，将被检测件内部抽成真空状态。当达到一定的压力后，检漏仪控制自身的阀门，开始检测。然后通过以下方法测试： 1.1 喷氦法 使用减压阀或流量计，将氦气调到一定的流速，在使用喷枪连接氦气，向被检测件上可疑的漏点，喷氦气。观察检漏仪的显示值，来判断是否有漏点。 本方法可以找到漏点位置和相对漏率。 1.2钟罩法 使用塑料包或钟罩，将被检测件罩住。再将氦气充入到塑料包或钟罩内，让被检测件周围充满氦气 。观察检漏仪的显示值一定时间，来判断被检测件的整体漏率。 本方法可以测试被检测件的整体漏率。 2正压检测 正压检测是将被检测件内部充入一定 量的氦气或氦气和氮气的混合气体。再使用吸入法或钟罩法，测试被检测件的漏点或漏率。 2.1 吸入法 在检漏仪的检漏口装上专用的氦气吸入探头，再使用探头再被检测件的可疑漏点，进行氦气的探测。探测的同时观察检漏仪的显示值，来判断被检测件的漏点。 本方法可探测被检测件的漏点位置和相对漏率。 2.2钟罩法 将被检测件内部冲入一定压力的氦气或氦气和氮气的混合气体。再使用钟罩将被检测件罩住，用检漏仪对钟罩进行抽空。被检测件内部泄露出来的氦气就会被检漏仪检测到，并量化漏率。 本方法可以检测出被检测件的整体漏率。 3 背压法 背压法主要针对电子元器件或一些体积小的工件。 背压法检漏和负压中的钟罩法有些类似。 首先需要将被检测件，放入一定体积的压氦罐内，再将压氦罐内压入一定压力的氦气，再保压一段时间。在取出被检测件后，要将被检测件的表面残留的氦气清除。再将被检测件放入钟罩或检漏罐中，进行检漏测试，再检漏仪测试一定时间后读取检漏仪的显示值，即为被检测件的漏率。 参考：QJ3212 2005《氦质谱仪背压检漏方法》 五．仪器的维护和保养 1 通电测试 检漏仪在长时间不用时，要求每2-3周