1、等离子体放电原理与材料处理勘误表 v1.6 发布日期 页数 行数或编号 原文 改为 200767 中译本序 倒数 6 正像力伯曼和登伯格 正像力伯曼和里登伯格 200767 第二版前言 倒数 8 depsition deposition 2007729 xxi 倒数 18倒数 19离子 质子 200767 xxi 倒数 10 1V = 1V=E 200767 56 (3.4.23) Ar+(快 ) Ar+(快 ) 200767 60 倒数 2 ()200/4ize = EE ()200/4ize = E 200767 72 (4.2.16)00Tx x xJJEenu=nullnullnull
2、 00Tx x xJjEenu=nullnullnull 200767 100 (5.1.3) mE D n= nE D n= 200767 100 (5.1.5) ( )2msi ()2/ms 200767 108 (5.3.1) ie 2ie 2007618 111 (5.3.13)1/232il+1/232il+20071029 136 (6.4.13)0jjjjdn dnnudx dx+ = 0jjjjdu dnnudx dx+= 200767 138 5 相对于 相当于 200767 141 倒数 9 高加速电场 起加速作用的强电场 200767 141 倒数 8 对于任意的分布函数
3、 对于任意分布函数 2007611 171 表 7.8 温度 物质 2007611 171 表 7.8 物质 温度（） 200767 248 倒数 16 (10.2.2)决定 (10.2.2)给出 200767 248 倒数 15 的一种处理形式 的一个特点 200767 248 倒数 14 处于麦克斯韦分布 具有麦克斯韦分布 200772 250 5 mA/cm mA/cm2 200767 251 10 由于 这里 200767 255 13 高比值条件下 值较高的条件下 200767 255 14 粒子数平衡关系 粒子数平衡关系式 200767 255 15 低比值条件下 值较低的条件下
4、200772 258 2 (/eiDnnETn+ = + + E/)iT ( )/ei iDnnETnET+ = 200767 258 (10.3.26)aD+ aD+200767 259 67 因此根据式 (6.4.7)玻姆速度有一个更广义的表达式为 因此玻姆速度应由式 (6.4.7) (一个更广义的表达式 ) 给出 200767 259 (10.3.28)M + M+200767 259 倒数 9 通过求解方程式 通过同时求解方程式 200767 261 (10.3.37)有两处相同错误D+ D+200767 262 (10.4.4)D+ D+200767 263 (10.4.6) n n
5、200767 265 (10.4.16)(10.4.18)D+ D+200767 266 (10.4.24)(10.4.25)D+ D+200767 268 (10.4.34)(10.4.36)D+ D+200767 268 (10.4.37)D D200767 286 (10.6.31)diss eKn 0diss e aKnn 20071211 293 2 22pi null 22pi null 2007611 301 5 矩阵鞘层宽 平板鞘层宽 2007611 302 15 这些方程的解非常复杂 以上这些方程的解非常复杂 2007611 302 18 由下式确定 由下式给出 2007611 306 11 数值计算的功率注入 数值计算给出的功率注入 2007611 306 倒数 9 更宽范围的 更多的 2007611 306 倒数 9 在不同的参数范围里 在不同的放电状态 20071029 330 倒数 13diJJnull diJJnull 20071029 337 (11.6.12) ( )0t ()ft 2008522 440 倒数 5 例如氮氧化物 例如氮化物 20071211 447 (15.2.3) ion 离子 200862 536 (18.2.1) ( )= +nullE r ()=+E r 200862 537 16 e E
