1、附件一：相干激光器特点及选型 准分子激光器原理：准分子为工作物质的一类气体激光器件。常用相对论电子束（能量大于 200 千电子伏特）或横向快速脉冲放电来实现激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时，受激态的能量以激光辐射的形式放出。 准分子激光运用：1. 激光视力校正2. 脉冲激光沉积3. 微加工4. 卷轴式直接刻图5. 激光退火6. 布拉格光纤光栅刻写美国相干公司：成立于 1966 年，是世界第一大激光器及相关光电子产品生产商，产品服务于科研、医疗、工业加工等多个行业；秉承 40 年的激光制造经验和创新精神，致力于提供一流的商业化激光器，促进科学研究不断进步、生产制造行业生产
2、力和加工精度的不断提高；其全球化的销售、客户服务和技术支持网络更为客户提供全球范围内的合作和服务。常见紫外激光波长有：157 nm, 193 nm, 248 nm, 308 nm 及 351 nm。根据客户要求，考虑到穿透深度和热效性等因素,为了避免接触边缘材料,选用 EXS-200-248nm-XS，具体参数如下：名称: EXS-200-248nm-XS波长: 248um管路设计: almeta XS高压开关技术: 固态开关预电离技术:电晕预电离最大重复频率:200HZ 重频越高,单子能量越小,影响区域越小.能量最大值: 12mj能量正常值: 8mj 能源稳定（标准差）:2%脉冲平均功率:1.6W 脉冲宽度（FWHM）: typ. 5 ns光束尺寸（FWHM，vxh）: 6 mm x 3 mm光束发散（FWHM，vxh）: 3 mrad x 1,5 mrad附件 2：光路系统:光学系统激光校正定位系统聚焦系统
