1、台阶仪标准操作规程1.0目的为了确保使用人员对机器和设备进行正确操作，并作为初学者的学习指引，特制订此操作规范。2.0职责 2.1工艺部门对产品制定检查标准 2.2对新进入操作员工进行培训和技能指导 2.3按照标准对产品进行检查3.0文件内容3.1台阶仪台阶仪电源开关焦距调节旋钮平台微调旋钮平台倾斜调节 3.2 台阶仪操作步骤3.2.1单点测量3.2.1.1. 打开电脑，待电脑完全启动后，打开台阶仪电源。将待测样品放在台阶仪平台上，尽量保证在探针的正下方。3.2.1.2. 双击桌面的 图标，开启测试软件，此时测试平台自动调整。3.2.1.3.打开软件后单击工具栏的 图标，探针缓缓下降，注意此过
2、程中要随时调节测试平台的位置，保证探针落在样品上。探针在正常接触样品后会自动抬起，调节焦距旋钮，使屏幕中心的图像最清楚。3.2.1.4.上述操作就绪后，单击工具栏 图标，新建一个文件。在转换后的界面中单击“Data File”在弹出的对话框scan data项中设定好文件的存储位置。 3.2.1.5. 然后单击工具栏中的图标 进入到参数设置界面，在“Scan Parameters ”中单击任意一个链接，弹出对话框，在“Length”中输入扫描距离，“Duration”中输入扫描时间，“Meas Range”中选择适当的量程。“profile”中勾选Hill&Valleys。依次单击Apply和
3、OK。3.2.1.6.单击工具栏 图标切换到样品表面图像，调节平台微调旋钮使十字光标在指定的测量位置。3.2.1.7.单击工具栏的 图标运行，开始自动扫描。3.2.1.8.扫描结束，软件会自动切换到曲线数据界面，看曲线是否倾斜，若曲线水平部分 / 倾斜，则顺时针调节平台水平盘，若曲线水平部分 倾斜，逆时针调节。单击 重新扫描。使曲线大致达到水平。3.2.1.9.曲线拉平处理，扫描结束后在数据界面会有两条线 和 拖动R和M将两条线分别移动到同一水平面的不同位置，拖动曲线下方的 选择适宜的宽度3.2.1.10. 右键选择Level将曲线拉平。3.2.1.11. 计算数值，将 拖动到待测高度的位置，
4、此时左下角Watch List 窗口中读出ASH的值并记录。单点测量结束。3.2.2单点重复测量3.2.2.1.前面9步与单点测量一致，只是在拉平处理是右键选择“Enter Software Leveling”保留参数，然后将 移动到待测量高度的位置，单击analysis选项选择Analytical Function.弹出对话框，在Height中勾选ASH，单击Compute。然后单击 图标，看到左侧Display Parameters中Software Leveling为Enable。3.2.2.2.单击工具栏的 图标，切换到另一界面，再单击Data file 在弹出的对话框中的Databa
5、se项中选中Log（生成报告）并设定到指定的存储位置。依次单击Apply，OK即可。在右侧Scan Routines窗口中，右键单击数据，选择Copy to Range。弹出对话框，设定扫描次数，单击OK。3.2.2.3.单击 运行扫描，此时会弹出Dektak Database窗口，方便查看每次扫描结果，结束后在窗口下方的Average项中显示几次扫描的平均值。重复设定的测试次数后，单点重复扫描结束。3.2.3 不同点测量3.2.3.1. 只需要在多点重复测量的基础上设置停顿，在运行扫描前单击 切换到另一界面，在timing项上单击，弹出对话框在Timing选项中勾选Adjust Positi
6、on Before Each Scan ，依次单击Apply和OK即可3.2.3.2.再单击工具栏的 图标切换到样品表面图像，调旋钮使红色光标对准扫描起始位置，鼠标右键指到结束位置，右键选择Update Alignment Reticule，定住绿色光标。3.2.3.3.单击 运行，在每次扫描前，会停顿弹出对话框确定扫描位置，调好后点击Continue。同样会弹出Dektak Database窗口记录每次结果。重复设定的测试次数后，不同点扫描结束。测试完毕后关闭软件，探针自动升起，取下样品，关闭仪器电源和电脑。4.0注意事项4.1.探针接触在样品表面时，禁止移动样品4.2.禁止手或其他物体触碰探针4.3.若有问题，请及时通知相关工程师处理，切勿自行尝试修理或校正。
