1、Lieferuebersicht_en.indd 1Lieferuebersicht_en.indd 1 12.10.2007 10:04:5512.10.2007 10:04:55综合样本 直线光栅尺 长度计 角度编码器 旋转编码器 轮廓加工数控系统 测头 数显装置 2007年9月 Lieferuebersicht_en.indd 2Lieferuebersicht_en.indd 2 12.10.2007 10:04:5912.10.2007 10:04:59约翰内斯海德汉博士公司研制生产直线光栅尺和角度编码器、旋转编码器、数显装置和数控系统。海德汉公司的产品被广泛应用于机床、自动化机器系
2、统,尤其是应用于半导体和电子制造业等领域。 海德汉公司在49个国家设有分公司,其中大多为全资子公司。我们的销售工程师和技术支持人员能够提供现场技术支持和服务。 在这份综合样本中,您将了解到海德汉公司各产品线的概要信息。有关特定产品的更详细信息,请见第52页或访问www.heidenhain.de。我们的销售人员愿为您提供全面服务。有关地址和电话信息,请见第54页。 Lieferuebersicht_en.indd 3Lieferuebersicht_en.indd 3 12.10.2007 10:05:0612.10.2007 10:05:06目录 基本原理和制造工艺 4精密光栅 高精度的基础
3、 5长度测量 6封闭式直线光栅尺 敞开式直线光栅尺 长度计角度测量 20角度编码器 旋转编码器机床数控系统 36铣床和加工中心用轮廓加工数控系统 数控编程站 刀具和工件 设置和 测量 44刀具测头 工件测头测量值获取和 显示46位置显示单元 长度和角度数显装置 接口电子设备更 多信息 52联系 信息 54Lieferuebersicht_en.indd 4Lieferuebersicht_en.indd 4 12.10.2007 10:05:0712.10.2007 10:05:074 基本原理和制造工艺 海德汉公司高质量产品源自专用的生产和测量设备。生产光栅尺的母模版是在专门设计的超净工作间
4、生产的,它具有特殊的稳定温度和减振措施。光刻机以及生产和测量直线和圆光栅所需的机器大多由海德汉公司自己开发和制造。 我们为用户提供大量高度个性化的直线和角度计量解决方案,充分体现我们的超强竞争能力。在众多应用中,我们的产品还被大量应用在标准实验室设计研制的测量和检验设备,我们的角度编码器被应用在天文望远镜和卫星接收天线上。毫无疑问,海德汉的标准产品也受益于其中所积累的知识和经验。 直线光栅尺测量机 直线光栅尺检查站 角度比较仪,测量步距约为0.001“ 大型天文望远镜(VLT),智利帕拉尼尔(照片由ESO提供)Lieferuebersicht_en.indd 5Lieferuebersicht
5、_en.indd 5 12.10.2007 10:05:1012.10.2007 10:05:105精密光栅高精度的基础 海德汉公司编码器的核心是我们的测量基准,通常为0.25 m至10 m线宽的光栅尺。这些高精度的光栅尺采用海德汉公司发明的光刻工艺生产(例如DIADUR或AURODUR),它是编码器功能和精度的决定性因素。光栅是由一系列等间距的刻线和狭缝组成,狭缝偏差极小,刻线边缘整齐清晰。这些光栅尺能抵抗机械和化学以及振动和冲击的影响。具有可定义的温度特性。 相位光栅的刻线高度约为0.25 m DIADUR DIADUR高精度光栅是在玻璃或玻璃陶瓷基体上沉淀一层极薄的铬。光栅精度达微米级或
6、亚微米级。 AURODUR AURODUR光栅由高反射率的金线和亚光蚀刻的狭缝组成。AURODUR光栅的基体通常为钢带。 METALLUR METALLUR光栅具有独特金反光层的光学材料,接近为全平面结构。因此它抗污染能力强。 相位光栅 采用特殊制造工艺生产的三维结构光栅,具有特殊的光学特性。这种结构的光栅宽度只有几微米至四分之一微米。 SUPRADUR SUPRADUR工艺生产的光栅的光学特性类似于相位光栅,但它具有平面结构,因此抗污染能力强。 MAGNODUR 微米级磁膜构成的精细磁栅。 采用不同的基体材料的DIADUR和AURODUR光栅 Lieferuebersicht_en.indd
7、 6Lieferuebersicht_en.indd 6 12.10.2007 10:05:1312.10.2007 10:05:136 长度测量 封闭式直线光栅尺的结构有 标准光栅尺外壳 用于高振动频率 最大测量长度30 m 紧凑光栅尺外壳 适用于安装空间有限处 最大测量长度达1240 mm,配安装板或紧固元件可使最大测量长度达 2040 mm 海德汉公司的封闭式直线光栅尺的铝外壳可以有效保护光栅尺、读数头和轨道免受灰尘、切屑和切削液的影响。自动向下压下的弹性密封条保持外壳的密封。读数头运动轨道的摩擦力很小,轨道内置在光栅尺上。它通过一个联轴器与外部安装架连接,这个联轴器可以补偿光栅尺和机器
8、轨道之间不可避免的对正误差。 读数头 DIADUR光栅尺光源 密封条 安装架 光电池 敞开式直线光栅尺 海德汉公司的敞开式直线光栅尺与扫描头和光栅尺或钢带光栅尺间没有机械接触。这些光栅尺的典型应用包括测量机、 比较仪和其它长度计量精密设备以及生产和测量设备,例如用在半导体工业中。 精度可达 0.5 m或更高 测量步距可达0. 001 m(1 nm) 测量长度可达30 m 扫描头和光栅尺间无磨擦 尺寸紧凑、重量轻 运动速度快 封闭式直线光栅尺 海德汉公司的封闭式直线光栅尺能有效防尘、防切屑和防飞溅的切削液,是用于机床的理想选择。 精度可达 2 m 测量步距可达0.005 m 测量长度可达30 m
9、 安装简单、快捷 安装公差大 能承受大加速度载荷 抗污染能力强 Lieferuebersicht_en.indd 7Lieferuebersicht_en.indd 7 12.10.2007 10:05:1812.10.2007 10:05:187长度计 海德汉公司的长度计自带测杆导轨。可用于监测工业计量的测量设备和用作位置编码器。 精度可达 0.1 m 测量步距可达0.005 m(5 nm) 测量长度可达100 mm 测量精度高 可带测杆的自动驱动设备 安装简易 增量式直线光栅尺通过从原点开始数测量步距或细分电路的计数信号的数量确定当前位置。海德汉公司的增量式光栅尺带参考点,开机后必须执行参
10、考点回零操作建立原点。带距离编码的参考点回零操作非常简单、快捷。只需移动不超过20 mm(LS,LF)或80 mm(LB),显示器就能显示相对上次定义原点的位置值。 海德汉公司的绝对式直线光栅尺无需执行参考点回零操作就能直接提供当前位置值。光栅尺将绝对位置值通过EnDat接口 或其它串行接口传输数据。 测量步距 表中推荐的测量步距主要用于位置测量。通过正弦输出信号的高倍细分实现更小测量步距对转速控制特别有用,例如直接驱动。封闭式直线光栅尺 系列 页标准光栅尺外壳 绝对位置测量 增量位置测量 高重复性 主要用于手动操作机床 大长度测量 LC 100 LS 100 LF 100 LS 600 LB
11、 300 8紧凑光栅尺外壳 绝对式位置测量 增量式位置测量 高重复性 主要用于手动操作机床 LC 400 LS 400 LF 400 LS 300 10敞开式直线光栅尺 精度优于 3 m 二维编码器 精度为 5 mLIP,LIF PP LIDA 12 13 14 长度计 精度 0.1 m 精度 0.2 m 精度为 0.5 m 精度 1 m 海德汉CERTO 海德汉METRO 海德汉METRO 海德汉SPECTO 16 17 18 19 _ . 7 Lieferuebersicht_en.indd 8Lieferuebersicht_en.indd 8 12.10.2007 10:05:2012
12、.10.2007 10:05:208 LC,LF,LS,LB系列封闭式直线光栅尺 标准光栅尺外壳 标准外壳直线光栅尺的突出特点是抗振能力强。 LC 100系列绝对式直线光栅尺直接提供绝对位置值,测量前无需回零。同时还提供增量信号。它们与LS 100 系列增量式直线光栅尺的安装尺寸相同,机械结构也相同。由于LC 100和LS 100系列直线光栅尺的高精度和可定义的温度特性,特别适用于NC数控机床应用。 LF系列增量式光栅尺的栅距更小。因此,特别适用于很高重复性的应用。 LS 600系列增量式直线光栅尺用于简单定位应用,例如手动操作机床。 LB系列增量式光栅尺的测量长度可达30米 。其测量基准为A
13、URODUR光刻工艺制造的钢带光栅尺,光栅尺外壳安装好后,将钢带光栅尺穿入尺座中并进行预紧,并将两端固定在机床铸件上。 LF 183 高重复性 温度特性接近钢材和铸铁 能承受高频率振动 两种安装方式 单场扫描 LC 100系列 绝对式位置测量 具有可定义的温度特性 能承受高频率振动 两种安装方式 单场扫描 LS 187 增量式位置测量 具有可定义的温度特性 能承受高频率振动 两种安装方式 单场扫描 LS 600系列 主要用于手动操作机床 安装简单 LB 382 大长度测量,最长可达30 m 具有可定义的温度特性 能承受高频率振动 两种安装方式 单场扫描 LLieferuebersicht_en
14、.indd 9ieferuebersicht_en.indd 9 112.10.2007 10:05:212.10.2007 10:05:21绝对式 增量式 LC 183 LF 183 LS 187 LS 688 C LB 382LC 193F/M LS 177 LS 628 C 测量基准 DIADUR玻璃光栅 DIADUR钢带 DIADUR玻璃光栅 DIADUR玻璃光栅 AURODUR 相位光栅 钢带光栅增量信号 可选 1 VPPLS 187: 1 VPPLS 688 C: 1 VPP 1 VPPLC 183 LS 177: TTL LS 628 C: TTL信号周期 20 m 4 m 20
15、 m 20 m 40 mLS 177: 4 m/2 m绝对位置值 EnDat 2.2 -Fanuc或Mitsubishi 精度等级 5 m, 3 m 5 m, 3 m 5 m, 3 m 10 m 5 m推荐测量步距 0.05至0.005 m 1至0.1 m 1至0.1 m LS 688 C: 可达1 m 10至0.1 mLS 628 C: 5 m 测量长度 ML 140至4240 mm 140至3040 mm 170至3040 mm 440至( 3 mm至3040 m) 30040 mm参考点 - 1) 绝对位置值 9一个或距离编码; LS 6xx C:距离编码Lieferuebersicht
16、_en.indd 10Lieferuebersicht_en.indd 10 12.10.2007 10:05:2612.10.2007 10:05:2610 LC,LF,LS,LB系列封闭式直线光栅尺 紧凑光栅尺外壳 紧凑外壳的封闭式直线光栅尺主要用于安装空间有限的地方。 LC 400系列绝对式直线光栅尺直接提供绝对位置值,测量前无需回零。同时还提供增量信号。同LS 400 系列增量式直线光栅尺一样,它精度高并具有可定义的温度特性,特别适用于NC数控机床。 LF系列增量式光栅尺的栅距更小。因此,特别适用于很高重复性的应用。 LS 300系列增量式直线光栅尺用于简单定位应用,例如手动操作机床。
17、 用安装板轻松安装 用安装板安装紧凑外壳直线光栅尺有突出优点。可在组装机床时将它固定在机床上。最后安装时,只需将光栅尺夹紧就行了。因此,可以很容易地更换光栅尺,便于检修。LF 481 高重复性 温度特性接近钢材和铸铁 单场扫描 LC 400系列 绝对式位置测量 具有可定义的温度特性 单场扫描 LS 487 增量式位置测量 具有可定义的温度特性 单场扫描 LS 300系列 主要用于手动操作机床 夹紧弹簧片光栅尺外壳 读数头 安装板挡板MT77MT76MT32MT43MT32MT49MT53MT56 MT49MT56MT51MT50MT46MT50MT53MT56MT46MT50MT49MT56M
18、T53MT56MT46MT50MT77MT76MT32MT43MT32MT49MT51MT56MT51MT50MT46MT50MT52MT54MT46MT50MT77MT76MT32MT43MT32MT49MT51MT56MT51MT50MT46MT50MT49MT56LLieferuebersicht_en.indd 11ieferuebersicht_ en. indd 11 112.10.2007 10:05:272.10.2007 10:05:27绝对式 增量式 LC 483 LF 481 LS 487 LS 388 C LC 493F/M1)LS 4771)LS 328 C 测量基准
19、 DIADUR玻璃光栅 DIADUR钢带相位光栅 DIADUR玻璃光栅 DIADUR玻璃光栅 增量信号 可选 1 VPPLS 487: 1 VPPLS 388 C: 1 VPPLC 483 LS 477: TTL LS 328 C: TTL信号周期 20 m 4 m 20 m 20 mLS 477: 4 m/2 m 绝对位置值 EnDat 2.2 -Fanuc/Mitsubishi 精度等级 5 m, 3 m 5 m, 3 m 10 m推荐测量步距 0.05至0.005 m1)1至0.1 m 1至0.1 m LS 388 C: 可达1 m LS 328 C: 5 m测量长度 ML 70至204
20、0 mm2)50至1220 mm 70至2040 mm2)70至1240 mm参考点 - 一个或带距离编码 距离编码1)绝对位置值 2)测量长度大于1240 mm必须使用安装板和预紧元件 11_ . LLieferuebersicht_en.indd 12ieferuebersicht_en.indd 12 112.10.2007 10:05:302.10.2007 10:05:30LIP,LIF敞开式直线光栅尺 精度优于 3 m LIP和LIF系列敞开式直线光栅尺特点是测量 LIP 300系列 步距小、测量精度高。其测量基准为玻璃或 超高分辨率,测量步距可达1纳米 玻璃陶瓷基体的相位光栅。
21、极小信号周期,极高重复性 Zerodur 玻璃陶瓷基体测量基准具有可LIP和LIF系列光栅尺主要用于: 定义的温度特性 测量机和比较仪 测量显微镜 ML = 70 mm 超精密机床,例如加工光学元件的金刚石刀具,加工磁盘端面车床和加工铁氧体元件的磨床 半导体工业的测量和生产设备 电子工业的测量和生产设备 LIP 400系列 尺寸小 测量步距可达0.005 m 可提供多种热膨胀系数的光栅尺 LIP 500系列 测量长度可达1440 mm 测量步距可达0.05 m LIF 400系列 用PRECIMET粘膜可 快速方便地固定 光栅尺 由于SUPRADUR刻线的技术特点,抗污染能力强 用限位开关和回
22、零轨检测位置 增量式 LIP 382 LIP 481 LIP 581 LIP 372 LIP 471 LIP 571测量基准 Zerodur玻璃陶瓷基体的DIADUR 玻璃或Zerodur玻璃陶瓷基体的 玻璃基体的DIADUR相位光栅 相位光栅 DIADUR相位光栅 热膨胀系数 10-6 K-1therm null810-6K-1therm null (0 0.1) (玻璃)或者 therm null 8 10-6 K-1therm null(0 0.1) 10-6 K-1(Zerodur) 增量信号 LIP 382: 1 VPPLIP 481: 1 VPPLIP 581: 1 VPPLIP
23、372: TTL LIP 471: TTL LIP 571: TTL 信号周期 LIP 382: 0.128 m LIP 481: 2 m LIP 581: 4 m LIP 372: 0.004 m LIP 471: 0.4 m/0.2 m LIP 571: 0.8 m/0.4 m精度等级 0.5 m1) 1 m; 0.5 m1) 1 m 推荐测量步距 1 nm 1 m至0.005 m1 m至0.05 m测量长度 ML 70至270 mm 70至420 mm 70至1440 mm参考点 无 一个 一个或带距离编码1)可根据需要提供其它精度等级 12 LLieferuebersicht_en.i
24、ndd 13ieferuebersicht_ en indd 13 112.10.2007 10:05:322.10.2007 10:05:32PP敞开式直线光栅尺 二维编码器 PP二维编码器用玻璃基体的平面二维相位光栅作测量基准。因此它能测量平面上 位置。 其应用包括: 半导体工业的测量和生产设备 电子工业的测量和生产设备 高速X-Y工作台 ML = 120 mm 测量机和比较仪 测量显微镜 增量式 LIF 481 PP 281 LIF 471 PP 271 玻璃基体的SUPRADUR相位光栅 测量基准 玻璃基体的DIADUR相位光栅 (ML 270 mm以上光栅尺为DIADUR 热膨胀系数
25、 null8 10-6 therm K-1相位光栅) -6 -1 增量信号 PP 281: 1 V therm null 8 10 K PPPP 271: TTL LIF 481: 1 VPPLIF 471: TTL 信号周期 PP 281: 4 m PP 271: 0.8 m/0.4 m LIF 481: 4 m LIF 471:0.8 m至0.04 m 精度等级 2 m 3 m 推荐测量步距 可达0.01 m 1 m至0.1 m 测量范围 68 mm x 68 mm; 70至1020 mm (根据需要可提供至3040 mm) 可根据需要提供其它测量范围 一个 参考点 一个坐标一个13MT7
26、7MT76MT32MT43MT32MT50MT56 MT49MT53MT51MT46MT48MT53MT77MT76MT32MT43MT32MT51MT48MT49MT50MT46MT55MT48MT46MT50MT50MT49MT49MT50MT77MT76MT32MT43MT32MT51MT48 MT49MT54MT50MT46MT54MT50MT49MT49MT50LLieferuebersicht_en.indd 14ieferuebersicht_en.indd 14 112.10.2007 10:05:352.10.2007 10:05:35LIDA敞开式直线光栅尺 精度为 5 m
27、 LIDA系列直线光栅尺非常适用于运动速度 LIDA 403系列 达10 m/s的 高速运动应用,它还支持多种安 热适应通过不同热膨胀系数的基体材料装方式。根据不用应用要求,AURODUR或 调整 METALLUR光栅的基体可为钢带,玻璃或玻 光栅尺粘贴在安装面上 璃陶瓷。 限位开关 LIDA系列敞开式直线光栅尺主要用于: LIDA 405系列 坐标测量机 测量长度可达30 m 测量机 单体钢带光栅尺穿入铝壳中,两端固定 PCB板组装机 限位开关 PCB板钻孔机 精密搬运设备 LIDA 407系列 测量直线电机位置和速度 用PRECIMET粘膜可 快速方便地固定 铝壳 单体钢带光栅尺穿入铝壳中
28、,中间固定 限位开关 LIDA 207系列 光栅尺卷裁剪的光栅尺带 用PRECIMET粘膜可 快速方便地固定 铝壳 单体钢带光栅尺穿入铝壳中,中间固定LIDA 209系列 光栅尺卷裁剪的光栅尺带 单体钢带光栅尺,用PRECIMET粘膜 固定粘贴在安装面上 增量式 LIDA 483 LIDA 485 LIDA 487 LIDA 473 LIDA 475 LIDA 477 测量基准 玻璃陶瓷或玻璃基体的METALLUR光栅 AURODUR钢带光栅尺 热膨胀系数 null810-6K-1(玻璃) 10-6K-1therm therm null 10 -6therm null010 K-1(Robax
29、玻璃陶瓷) therm null= (0 0.1)10-6K-1(Zerodur玻璃陶瓷)增量信号 LIDA 483: 1 VPPLIDA 48x: 1 VPPLIDA 473: TTL LIDA 47x: TTL 信号周期 LIDA 483: 20 m LIDA 48x: 20 m LIDA 473: 4 m/2 m/0.4 m/0.2 m LIDA 47x: 4 m/2 m/0.4 m/0.2 m 精度等级 5 m 5 m 15 m推荐测量步距 1 m至0.1 m1 m至0.1 m 测量长度 ML 240至3 040 mm(根据需要可提供1640 mm) 140至 30 040 mm 24
30、0至6 040 mm参考点 一个(可根据需要提供距离编码) 一个14 MT77MT76MT32MT43MT32MT50MT48 MT49MT48MT48MT46MT52MT53MT49MT51MT57LLieferuebersicht_en.indd 15ieferuebersicht_en.indd 15 112.10.2007 10:05:382.10.2007 10:05:38LIDA 503系列敞开式直线光栅尺特别适用安装空间有限的地方。它的读数头和玻璃光栅尺可用PRECIMET粘膜直接粘贴在机床上。只有安装空间无法支持LIDA 400系列直线光栅尺,才选用LIDA 503,例如 XY
31、工作台 测量显微镜 PCB电路板组装机 小型定位单元 增量式 LIDA 287 LIDA 289 LIDA 583 LIDA 277 LIDA 279 LIDA 573 钢光栅尺带 测量基准 玻璃基体的METALLUR光栅 10-6 -1therm null10 K 热膨胀系数 therm null8 10-6K-1增量信号 LIDA 583: 1 VPPLIDA 28x: 1 VPPLIDA 573: TTL LIDA 27x: TTL 信号周期 LIDA 583:20 m LIDA 28x: 200 m LIDA 573: 4 m/2 m/0.8 m/0.4 mLIDA 27x: 20 m
32、/4 m/2 m 精度等级 5 m 30 m 推荐测量步距 1 m至0.1 m5 m至0.5 m 3 m/5 m/10 m光栅尺卷的钢带光栅尺 测量长度 ML 70至1020 mm每100 mm可选 参考点 一个15Lieferuebersicht_en.indd 16Lieferuebersicht_en.indd 16 12.10.2007 10:05:4212.10.2007 10:05:4216 海德汉CERTO系列长度计 精度 0.1 m 海德汉公司的CERTO系列长度计具有纳米级分辨率,测量范围大、线性精度高。主要用于精密零件生产的质量控制和基准检测与校准。长度计可以减少检定量块所
33、需的工作基准数量。 精度 海德汉公司的CERTO系列长度计的总误差不超过0.1 m。经过后续信号处理电路,例如ND 281B,对线性误差进行补偿后,海德汉公司可保证CT2500型的精度达到 0.03 m,CT6000型的精度达到 0.05 m。如果测量时的环境温度在19至21之间、 温度波动小于0.1 K并使用海德汉公司CERTO系列长度计匹配的CS200型测量座,这些精度指标适用于整个测量行程。 测量杆驱动 CT 2501和CT 6001 型长度计测量杆由内部电机控制伸出和缩回。也可以连接开关盒,通过外部信号控制驱动。 CT 2502和CT 6002 型长度计没有测量杆驱动装置。自由运动的测
34、量杆通过独立联轴器连接机床运动部件。 安装 CT 2500型长度计用其直径16 mm的装夹杆固定。CT 6000型长度计用两只螺钉固定在安装平面上。 增量式 CT 2501 CT 2502 CT 6001 CT 6002 测量基准 Zerodur玻璃陶瓷基体的DIADUR相位光栅 线性膨胀系数:therm null0 0.1 10-6K-1增量信号 11 APP信号周期 2 m 系统精度1) 0.1 m 0.03 m2) 0.1 m 0.05 m2)推荐测量步距 ND 281B型显示单元为0.01 m和0.005 m 测量行程 25 mm 60 mm 测量杆驱动 电机驱动 联轴器 电机驱动 联
35、轴器 参考点 一个1)测量温度为19至21时,允许的测量温度波动量为: 0.1 K 2)经信号处理电子电路对长度误差进行线性补偿后 LLieferuebersicht_en.indd 17ieferuebersicht_en.indd 17 112.10.2007 10:05:442.10.2007 10:05:44海德汉MERTO系列长度计 精度 0.2 m 海德汉METRO系列的MT 1200和MT 2500型长度计精度高、信号周期小,是精密测量工作站和测试设备的理想选择。它的测量杆由密珠导轨导向,因此能承受较大径向力。测量杆驱动 MT 12x1和MT 25x1 系列长度计的测量杆由弹簧驱
36、动,自由状态时测量杆为伸出状态。无弹簧的特殊版本的测量杆作用在被测对象上的力非常小。 MT 1287和MT 2587 型长度计的气动驱动测量杆由内部弹簧将其缩回到自由状态。测量时用压缩空气使其伸出到测量位置。 安装 MT 1200型和MT 2500型长度计用其8h6标准装夹杆固定。海德汉公司提供将长度计安装在平面或MS 200型测量座上所需的安装架附件。 增量式 MT 1201 MT 1271 MT 1281 MT 2501 MT 2571 MT 2581 MT 1287 MT 2587 测量基准 Zerodur玻璃陶瓷基体的DIADUR相位光栅 线性膨胀系数:therm null0 0.1
37、10-6K-1增量信号 11 APPTTL 1 VPP11 APP TTL 1 VPP信号周期 2 m 0.4 m或者 2 m0.4m或者 2 m0.2 m 0.2 m 系统精度 0.2 m 推荐测量步距 0.5 m至0.05 m测量行程 12 mm 25 mm测量杆驱动 参考点 一个17MT 12x1/MT 25x1: 线缆提升器或自由运动 MT 1287/MT 2587: 气动 Lieferuebersicht_en.indd 18Lieferuebersicht_en.indd 18 12.10.2007 10:05:4612.10.2007 10:05:4618 海德汉MERTO系列长
38、度计 精度 0.5 m 海德汉METRO系列MT 60和MT 101型长度计测量范围大、测量精度高,是产品进厂检验、生产监控、质量控制或尺寸非常不同的任何零件测量应用场合的理想选择。也可将它用作高精度位置编码器,例如安装在滑座或X-Y工作台上。 测量杆驱动 M版本 的长度计内置电机,驱动测量杆伸出或缩回。MT 101 M型为恒测量力,MT 60 M型允许用户选择三个测量力之一。 K版本 的长度计无驱动机构。测量杆自由运动。它可被连接到运动部件上,例如直线滑板和X-Y工作台。 安装 长度计用两只螺钉固定在平台上。海德汉公司为M版本长度计提供安装在MS 100和MS 200型测量座上的附件。 增量
39、式 MT 60M MT 60K MT 101M MT 101K 测量基准 玻璃陶瓷基体的DIADUR光栅增量信号 11 APP信号周期 10 m 系统精度 0.5 m 1 m 推荐测量步距 1 m至0.1 m 测量范围 60 mm 100 mm 测量杆驱动 电机驱动 联轴器 电机驱动 联轴器防护等级 IP 50 参考点 一个_ . Lieferuebersicht_en.indd 19Lieferuebersicht_en.indd 19 12.10.2007 10:05:4812.10.2007 10:05:4819海德汉SPECTO系列长度计 精度 1 m 海德汉SPECTO系列长度计结构
40、小巧,是多点测量和测试设备的首选。 测量杆驱动 ST 12x8和ST 30x8系列长度计测量杆由弹簧驱动,自由状态时为测量杆伸出。 MT 12x7和MT 30x7 系列长度计的气动测量杆通过内部弹簧将测量杆缩回到自由状态。测量时用压缩空气使测量杆伸出到测量位置。 安装 海德汉SPECTO系列长度计用其8h6标准装夹杆固定。 增量式 ST 1208 ST 1207 ST 1278 ST 1277 ST 1288 ST 1287 ST 3008 ST 3007 ST 3078 ST 3077 ST 3088 ST 3087 测量基准 DIADUR玻璃光栅增量信号 11 APPTTL 1 VPP11
41、 APP TTL 1 VPP信号周期 20 m 4 m至2 m 20 m4m至2 m 20 m系统精度 1 m 推荐测量步距 1 m至0.2 m 测量范围 12 mm 30 mm测量杆驱动 防护等级 IP 64 参考点 一个ST 12x8/ST 30x8: 由被测对象驱动 ST 12x7/ST 30x7: 气动Lieferuebersicht_en.indd 20Lieferuebersicht_en.indd 20 12.10.2007 10:05:5212.10.2007 10:05:5220 角度测量 角度编码器 海德汉公司的角度编码器精度高,可达弧秒甚至更高。角度编码器应用于机床回转工
42、作台、机床摆动铣头、分度装置、高精度角度测量工作台,角度计量、天线和天文望远镜等精密设备上。 线数一般可达9000至180000 精度为 5“至0.4“ 测量步距可达0.000 005 或0.018“(增量式)或29 bit,即每转约53,600万个位置(绝对式) 旋转编码器 海德汉公司的旋转编码器用作旋转运动、角速度的测量传感器,也可与机械量测量标准一起使用,例如丝杠,测量直线运动。应用领域包括电机、机床、木工机器、纺织机器、机器人和运送设备以及各种测量、测试和检验设备。 线数一般可达50至5000 精度为 2“(取决于线数,相当于栅距的1/20) 测量步距可达0.001 。 高质量正弦增量
43、信号可进行高倍率细分,用于数字速度控制。 角度编码器 系列 页带内置轴承和定子联轴器 绝对式(单转) RCN 22增量式 RON,RPN 带内置轴承用于分离联轴器 增量式 ROD 24无内置轴承 增量式 ERP,ERA,ERM 25,26旋转编码器 带内置轴承,用定子联轴器安装 绝对式(单转) ECN 28,30绝对式(多转) EQN 增量式 ERN 带内置轴承用于分离联轴器 绝对式(单转) ROC,RIC 32绝对式(多转) ROQ,RIQ 增量式 ROD 无内置轴承 绝对式(单转) ECI 34绝对式(多转) EQI 增量式 ERO Lieferuebersicht_en.indd 21L
44、ieferuebersicht_en.indd 21 12.10.2007 10:05:5812.10.2007 10:05:5821安装方式 内置轴承和定子联轴器的角度编码器和旋转编码器,其圆光栅直接连接到被测轴。读数头通过滚珠轴承安装在轴上,并由定子联轴器支撑。轴进行角加速时,定子联轴器必须只吸收轴承摩擦力导致的扭矩,因此它能最大限度降低静态和动态测量误差。而且,安装在定子上的联轴器还能补偿被测轴的轴向运动。定子联轴器的其它优点还有: 安装简单 总长度短 联轴器的固有频率高 可使用空心轴 内置轴承的角度编码器和旋转编码器用分离联轴器连接,可用于实心轴。使用连接被测轴推荐的联轴器能补偿径向和
45、轴向误差。采用分离联轴器的角度编码器支持的转速更高。 无内置轴承的角度编码器和旋转编码器工作时没有摩擦。可在组装时分别调整读数头和圆光栅、光栅鼓或钢带这两个部件。优点: 所需空间小 支持大直径空心轴 高速转轴 无附加启动扭矩 增量式角度编码器和旋转编码器通过计算从原点开始的测量步距数或细分电路的计数信号数确定当前位置。海德汉公司的增量式光栅尺或编码器有参考点,开机后必须执行参考点回零操作建立原点。 带换向信号的增量式旋转编码器提供轴的角度位置而无需执行回零,其精度足以正确地控制永磁三相电机旋转磁场的相位。 绝对式角度编码器和旋转编码器无需执行参考点回零操作就能直接提供当前位置值。单转编码器可在
46、一转内提供位置值,而多转编码器还能区分不同转的位置值。 海德汉公司的绝对式角度编码器和旋转编码器测量值通过EnDat、SSI、PROFIBUS-DP或其它串行数据接口传输。EnDat或PROFIBUS-DP双向接口支持电路的高层自动配置,并具有监测和诊断功能。MT68Lieferuebersicht_en.indd 22Lieferuebersicht_en.indd 22 12.10.2007 10:06:0312.10.2007 10:06:0322 RCN,RON,RPN系列角度编码器 带内置轴承和内置定子联轴器 带内置轴承和定子联轴器的RCN、RON 和RPN系列角度编码器的静态和动态
47、精度高,它们是回转工作台和倾斜轴等高精度应用的首选测量手段。采用定子联轴器的编码器精度已包括联轴器产生的误差。采用分离联轴器的角度编码器,在计算其系统精度时还必须考虑联轴器误差。 RCN/RON 200系列 结构紧凑 设计坚固 主要用于回转工作台、倾斜工作台的定位和速度控制 测量步距可达0.0001 。 可根据需要提供不锈钢版(例如用于 天线) RCN/RON 700系列和RCN/RON/ RPN 800 大直径空心轴,最大可达 100 mm 测量步距可达0.00001 ,系统精度可达2“和 1“ 主要用于回转工作台和角度测量工作台、分度装置、测量仪器和图像扫描 可根据需要提供不锈钢版(例如用于 天线) RON 905 超高精度角度编码器 测量步距可达0.00001 。 系统精度 0.4“ 用于高精度测量设备和测量设备的检验RON 785 RON 786/886,RPN 886 D = 60 mm RCN 700/800 D = 60 mm或100 mm LLieferuebersicht_en.indd 23iefer