多弧离子镀技术及其应用_姜雪峰.pdf

1、 2006年 10月 重庆大学学报(自然科学版) Oc.t 2006 第 29卷第 10期 JournalofChongqingUniversity(NturlScienceEdition) Vo.l 29 No. 10cI|:1000-582X(2006)10-0055-03 0/ # *姜雪峰,刘清才,王海波(重庆大学机械传动国家重点实验室,重庆 400030)K 1:多弧离子镀技术是离子镀技术的一种改进方法,它是把弧光放电作为金属蒸发源的表面涂层技术.由于多弧离子镀技术具有镀膜速度高,膜层的致密度大,膜的附着力好等特点,使多弧离子镀镀层在工具、模具的超硬镀膜、装饰镀膜等领域的应用越来越广

2、泛,并将占据越来越重要的地位.介绍了多弧离子镀技术的原理、特点,并在总结和归纳了以往大量实验研究及国内外文献的基础上,分析了多弧离子镀技术的工艺发展及其在各个领域的应用,为今后多弧离子镀技术的研究与应用提供了有利借鉴.1oM:镀膜;多弧离子镀;氮化钛ms |:TG174. 444DS M :A0/ b bw $ 20 W60 M?Z !/ . 0 0BZE, 0/ .,K* 7?, 80 M, SMulti-Arc n5/ L.1 多弧离子镀的原理 0? m1 U 1 , |、HL 、F.| .1010-1 Pa bHq/,Yi P| W(, 7 W, l,E9v, u 6, P| ,A B,

3、K? ?,|V u, 308,| ,v ;b.|V MMl,|.| il bW 、 MC.|jl,1 1 100 m; , Vr105 107 A /cm2. i HW , ? 00,| ?,|V , 0 bW,y 3Hq, 3, 3, 9 .| B60%90% q? V .|Z_ sH e, aH V P%l、s ,|V LC ( Y K. 0 ?()T|,YV T8W;b, P?i , bW 08,q.m1 | 0 Uim2 多弧离子镀的特点 0 20 W70 M 7 SB M,+ /:1)|? 3 , V i !* l :2006-06-11 “:.SE L i “Te:(1974-),

4、 3, 2q p , iv =, V 3,1V Y(L . i a,9 V?.4 q P ( ,i Ve .2) q, Vr80% ,yN q, 4 “ ?.3)B.; ? F 0w b! 0.4) y, z.5) 0 ? , , 0 z.q 0 ,y7 “ .3 多弧离子镀工艺的发展30 M ,SXPVDZE! 0p.Y y 7,1 ! !9ZE, 7? 、 V 1 pHq.yN, ( ) ?(S)W1“, LC ?!9, S “S 2 -6.1Yy s:1)sY 7-11.V , T4s5MTiNpM,A9 A.H s4 9 TiNp 0 . 2)4 |_Yy 12-16. 4 |_pV

5、;、 0 z,8 . 3)17 -20. 8 V -4/4, 4TiNp ?. 4)8Y 21.8 , TiNp z,4cV TiNp, 4p . 5) FYy 22-23.TiNi/ F , , = v.AL0F v F ?,i O c.ALc i L1“, LV : ALc 9F5 6 t .yNALc 1o. 6,y TiAlNp9 vY.TiAlNpF1 sN2s、| Y.4 多弧离子镀的应用120 W80 M , “ 00 v 、 4, 0XW8、F L= 24-27.4. 1 多弧离子镀膜技术在高速钢刀具上的应用p KB.p Kp TiN.VTiNp 1 p 423,TiN “ v

6、v, 0 vv4, TiNp Bh T. 6,VTiNp V4 P p 15. “ -, 0 / 、Ghv W.4. 2 多弧离子镀膜技术在车辆零部件上的应用0V p/ V/ ,q.1) ,qV 0 . 0 ,qV ) , Vvv4 VA, V 0 ,hl “ ,V7V , ,q P p , V ,qH 3. 2,h .2)? ,q 0 0 K . 、 、 * (? ,q B 0 、 0 K、 , Pt ,qV/T, 1 p, V Pvs YV 8,vv4?r“ 6. T P “d, Vhl 8,i O . 2.3)? w* ,q .d , 08 E(eNCUPPE) 0S =B!ZE, V

7、z ?%8 .4. 3 多弧离子镀膜技术在航空业上的应用1) q r,V 9) . b 0 / 9) Vr XrT, y ( B,Hr, ,8 %, 0 #V ;z, V e.2)4t? oV 0 .SB+ yo vM O、c、 O、 Oq , V ) 0 ) , V P1 p.t? R 6_,?C 5, C.3) 0 p . 4t b? = p ,9 F K ? ,= V B p . 0 NiCrAlY ppXt b?= V ) , k# L=, | irT,i|? = V) .S 0/ ! ?z , ?= / .4)t b?.t b?/,| 0/ = NiCrAlYp 56 重庆大学学报(

8、自然科学版) 2006年= TiNp.4. 4 多弧离子镀膜技术在冲孔冲模上的应用 0 0 ? , ? 0 /, V P , 0z.+Y 8 0 ,yN “ z,7O BBV.p b 、 ? 0, V; “ ” %F X 0 0 KTiN_p.0/ e Z z -. -, 0 TiNe KD,/ q 0 ? ,y7 4p ( “.4. 6 多弧离子镀膜技术在装饰上的应用“ -_6v0V 5, . i =e , , Lt 0T. 0 z 0 0 K,7 O V ( d ) , 6M“, Es, .dZE ?1 E.5 结 语 0 ? Y 4p7 ,“ ? ? , 、 h,9V h . 0 Vz,

9、8K , 0 v,i| 1. ID: 1 V ) / mM.:v, 1997. 2 KAMAR N. FailureMechanismsofTiN ThinFilm DiffusionBarriers J. ThinSolidFilms, 1988, 164:417-420. 3 MATTAX DM. Particle BombardmentEffectsonThin FilmDeposition:A Review J. J Vac Sci Technol, 1989,17(3):1 105-1110. 4 TANAKA Y, GUR TM. Properties of( Ti, XAIX)N

10、 Coat-ing forCuttingToolsPrepared by theCathodicArc IonPlat-ingMethod J. JVacSciTechnol, 1992, 10(4):1749-1756. 5 WANG YK, XIA L F, LEITO, eta.l A ResearchonM icro-structure andPropertiesof(Ti, A1)N Coating J. Surf CoatTechnol, 1995, 72 :71-75. 6 SANCHETTE F, CZERWIEC T. Sputtering ofA1 -Cr andAl-Ti

11、Composite Targets inPureAr and in ReactiveAr-CrPlasmas J. Surf CoatTechnol, 1997, 96:184-190. 7 ;c, ,. 0 / 7? J.v, 1999, 19(1):127-132. 8 %, , :. TiNp !9s J. F, 1996, (4):22-23. 9 .V / M.:, 1989. 10 , a, ,.sTiN 0Y J.v M, 1998, 19(1):25-29. 11 M.V ) M. 2: 2v, 1996. 12 %, , :. TiNps J. 2v, 1994, 16(3)

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13、ructure J. Surf CoatTechnol, 1989, 66:39-40. 20 . 0 V M.:,1992. 21 , ,= ,.8 sTiNp Y J. ) , 2000, (8):13-14. 22 c,1 Y, S .y TiAlNpsY J.a S, 2000,23(5):55-58. 23 B. Ti0. 5Al0.5Np F J. , 2001, (1):12-14. 24 , , -. 0 / / J.t b/ , 2003, (9):64-66. 25 , . 0/ t?t b/ L J.t b, 1999, (2):47-48. 26 y. 0/ V J.V

14、, 1994, (2):26-29. 27 . 0t b? J.t b/, 2002, (7):71-72.(/68:)57第 29卷第10期 姜雪峰,等: 多弧离子镀技术及其应用AutomaticMeasuringMethod ofEyeglassLensPowerYANG B ing-shang, LIAO Hai-yang(KeyLaboratory ofOptoelectronicTechnology and Systems, MinistryofEducation ,ChongqingUniversity , Chongqing400030, China)Abstract:A met

15、hod ofmeasuring eyeglass lenspower isproposed. A position detector and 3 beamsof ray areused tomeasure theprismatic, sphericaland astigmaticpowers. Based on themethod, an automatic focimeterwith simple struc-ture can bedeveloped. Themeasureerrorsofprismaticand sphericalpowersare analyzed, from which

16、 it is concludedthat theprecision of theposition detector is thekey to themethod.Key words:eyeglasses;eyeglass lenspower;position detector;focimeter(编辑 张小强)( 57:)Technology and Application ofMulti-Arc Ion PlatingJIANG Xue-feng, LIU Q ing-cai, WANG Hai-bo(SrateKeyLaboratoryofMechanicalTransmissionsCh

17、ongqingUniversity, Chongqing400030, China)Abstract:Multi-Arc Ion plating technology is an improvedmethod ofIon plating and it is a surface coating technologythatusesarcas thefountain ofvaporizing. Itplats rapidlywith fine-tissued coa.t Itcanbeapplied tomanyaspectssuchashigh-rigiditycoating of tools

18、andmould anddecoration coatingmorewidelyand occupy amore importantplace. Thispaper introduces theprincipleand characteristicsofmulti-arc ionplating, andon theconclusionofmany studiesand ex-perimentsdone in thepreviousyears, thispaper also analyses the development and application ofmulti-arc ion platingtechnology in someareas. Itwilloffer favorable reference for thestudyand applicationofmulti-arcionplating technologyin future.Key words:multi-arc ion plating;coating;TiN(编辑 李胜春)68 重庆大学学报(自然科学版) 2006年