1、Introduction to CF(Color Filter),Agenda,Color Filter结构及技术要求 Color Filter制程BM（Black Matrix) RGBITOColor Filter可靠性评价 Color Filter发展趋势,黑白 彩色,Color Filter作用,放大15倍,放大50倍,肉眼所见,Color Filter结构及技术要求,CF 彩色滤光片,CF在TFT-LCD中的位置,普通CF剖面图,Color Filter结构及技术要求,Color Filter结构及技术要求,BM层,功能 防止彩色光阻（R、G、B）混色 提升LCD对比 对TFT元件遮
2、光保护 特性要求 遮光性强 (光学密度OD 3.5) 反射率低 ( 4%, l=550nm) 与玻璃/ITO的附着性好 膜层材料 金属Cr (Cr, CrOx/CrNy/Cr) 黑色树脂 (Resin) （无电解电镀）镍 石墨,各种BM反射率比较,Color Filter结构及技术要求,注：佳 可 劣,Color Filter结构及技术要求,高透过率,RGB层,高色纯度,R,G,B : NTSC EBU CRT TFT-LCD,NTSC：National TelevisionSystem Committee EBU: European Broadcast Union NTSC Ratio =
3、Area / Area,Color Filter结构及技术要求,彩色滤光片色度特性与膜厚关系,Color Filter结构及技术要求,ITO层 90 wt. % In2O3-10 wt.% SnO2 透明、导电,低面电阻一般规格：30/ 高透过率 92% (550 nm, glass reference) 一定膜厚1500150 适当的力/热/化学稳定性以利后续LCD制程,Color Filter制程,Color Filter制程,Color Filter Output,Black Matrix,R sub-pixel,G sub-pixel,B sub-pixel,ITO Sputterin
4、g,BM negative resist coating Prebake, Dosing, Developing, Post-baking.,R Negative resist Coating, Prebake, Dosing, Developing, Post-baking.,G Negative resist Coating, Prebake, Dosing, Developing, Post-baking.,B Negative resist Coating, Prebake, Dosing, Developing, Post-baking.,Cutting,Final Inspecti
5、on,Bare glass,注：佳 可 劣,Color Filter制程,几种RGB形成方法比较,Color Filter制程,颜料分散法 ( TOPPAN,DNP ), Glass基板,BM(1 m),Glass基板(0.5mm),制程简单品质可靠性高材料利用率低,mask,Color Filter制程,清洗,基板行進方向,Color Filter制程,光阻涂布,Color Filter制程,光阻涂布-slit coating,Color Filter制程,光阻涂布- Rotating,转速与膜厚关系,Color Filter制程,曝光-颜料分散光阻曝光前后差异,Color Filter制程
6、,曝光-温度的影响,Color Filter制程,显影-taper影响ITO膜层附着及电阻,non-taper,Taper,Case 1. Overhung,ITO电阻大或断路,Case 2. Narrow Slit between Thick Color Resists,Case 3. Stack with each other,ITO电阻正常,Color Filter制程,ITO,Color Filter制程,Sputtering 的原理,Color Filter可靠性评价,测试內容 依据CF在LCD制程中可能遭遇到的环境进行模拟实验 针对CF特性进行寿命周期实验，评估CF在特定环境条件下
7、功能是否衰退 测试方法 將CF切成5cm*5cm大小样品，每项实验条件取5个样品进行测试 实验前后，每片CF样品均需做外观检查及色度量测 施行阶段 试作品 定期管理 工程变更,Color Filter可靠性评价,Color Filter可靠性评价,检查标准 a) 在彩膜基板上不允许有颜色扩散、着色剂溶出、裂纹等异常出现 。 b) 使用F10 光源时，R、G、B 的各色色差值Eab*3.0。 c) 对比度必须满足规格值。 d) 要求样品全部合格。,Color Filter发展趋势,Spacer on CF,Color Filter发展趋势,CF for MVA LCD,MVA: Multi-do
8、main Vertical Alignment, Fujitsu的广视角技术 视角可达上下、左右1600,MVA Mode TFT-LCD,MVA Mode CF,Color Filter发展趋势,CF for IPS LCD,IPS: In Plane Switching，由日立公司开发。 BM需为black resin Overcoat 玻璃基板背面溅射一层ITO防止静电影响,IPS Mode TFT-LCD,IPS Mode CF,Color Filter发展趋势,Over coat,目的：减小断差，平坦界面以利后续膜层均匀形成 应用：大尺寸LCD/IPSLCD,Color Filter发展趋势,CF for Reflective LCD,Reflective Color LCD 以外在环境光做为光源 厚度为传统透过式的 1/3 重量为传统透过式的 1/2 耗电量为传统透过式的 1/4 光阻必需是高穿透性,Color Filter发展趋势,一般TFT与CF在贴合制程会因不同原因产生对位误差。隨着基板尺寸的增大，对位误差越趋明显，容易造成漏光或mura。,COA (Color filter on Array),Q/ATHANKS,
