1、MAU系统操作规范1. 目的建立一套完整正确的设备运转操作程序，使设备维持最佳的运转状态，延长设备的使用寿命，防止设备产生故障；2. 适用范围A6-1 MEMS 厂务所有 MAU 系统;3. 装置说明3.1 MAU组成部分及作用：3.1.1无纺布滤网：将5 m以上微粒的 particle进行过滤处理。3.1.2预热盘管：在冬季，将相对湿度较低的外气进行加热，提高外气的焓湿能力，但绝对湿度保持不变。3.1.3预冷却盘管：在夏季，将相对湿度较低的外气进行降温，降低外气的焓湿能力。3.1.4加湿器：在冬季，加湿器开启后将预热盘管处理过的外气加湿，提高空气相对湿度，此阶段外气焓值保持不变，同时加湿器具
2、有洗尘效果。3.1.5再冷却盘管：在夏季，将相对湿度较低的外气进行除湿及降温处理。3.1.6风车：由马达带动并以变频器依系统设定压差控制马达转速。3.1.7袋式滤网：过滤掉5 m以上微粒的particle。3.1.8HEAP滤网：将MAU处理过之外气在送进无尘室之前做最后一次过滤，将空气中0.3m以上微粒的particle 进行过滤处理以确保无尘室之洁净度。3.2 MAU系统负责人对MAU运行状况做每月统计。4. 系统操作说明及注意事项4.1 MAU 开机准备：4.1.1 确认 MAU 风车轴承黄油已添加。4.1.2 确认 MAU 风车皮带松紧度适合。4.1.3 确认 MAU 所有维修门已关闭
3、。4.1.4 确认冰水、热水、电源供应正常。4.1.5 确认各手动阀及自动阀处于正常状态。4.2 MAU开机运行（分自动操作与手动操作）4.2.1MAU系统的自动操作4.2.1.1送上MCC盘上的电源。4.2.1.2将MCC盘上的新风机、加湿泵两个旋钮旋到“远程”位置。4.2.1.3在监控电脑上，鼠标点击“MAU ”系统画面，进入需开启的单台MAU，然后将鼠标左键点击风机，出现一个对话框，先点击“自动调节”，然后点击“启动”，此时根据设置自动启动MAU。4.2.2MAU系统的手动操作4.2.2.1送上MCC盘上的电源。4.2.2.2将MCC盘上的新风机、加湿泵两个旋钮旋到“停止”位置。4.2.
4、2.3点击变频器上“start”按钮。4.2.3 确认进出风门已正常开启4.2.4 手触 MAU 及耳听确认马达无异常振动和噪音。4.2.5 待运转稳定后，确认压力及温湿度稳定正常。4.2.6 检查滤网压差是否于正常范围。4.2.7 检查加湿器喷嘴是否有阻塞现象。4.3 MAU 关机步骤4.3.1（方法一）将 MCC 盘上的新风机旋钮旋到 “停止”位置，点击变频器上“stop”按钮。4.3.2（方法二）在监控电脑上，鼠标点击“MAU”系统画面，进入需关闭的单台 MAU，然后将鼠标左键点击风机，出现一个对话框，先点击“自动调节”，然后点击“停止”。4.3.3 确认马达转速趋缓逐渐停止。4.3.4
5、 确认无尘室压力正常。4.3.4 确认加湿泵停止运转。4.3.5 检查各冰热水控制阀已关闭。4.3.6 检查马达、马达轴承马达接线盒温度是否异常发热。5. 异常处理事项故障 可能原因 解决方法控制室显示盘显示风车超压 确认出口风门正常开启停止中激活后跳脱风量太低 确认进口风门正常开启系统总压损大于标准确认出口风门都打开检查滤网压差是否较高检查盘管鳍片是否遭碰撞后变形检查皮带松紧度是否正常风门调整不当 重新调整风门系统风量外漏 找出漏气位置并封闭风机损坏 检修风机运转速度相较其他机台异常偏高旋转方向不正确 更换马达方向加湿器无法正常工作检查 DI 压力是否正常检查加湿器出口压力检查喷嘴是否阻塞温
6、湿度异常盘管控制阀无法正常工作 检查 ICA 压力是否正常检查控制阀开关是否遭受妨碍基座不稳固 补强外物进入风机造成不平衡 清除外物，重新校对轴承磨损 更换叶轮或马达损坏 更换螺丝松弛或断裂 更换轴心弯曲 更换风机叶轮或传动系统不平衡 重新校对震动和噪音外来因素导致震动 增加或改变避震器位置降低震动速度太高 换皮带轮以减速系统压降比原设计低 更换皮带轮或增加系统压降旋转方向错误 更换马达相位轴心弯曲 更换轴承过热传动系统中心线偏差 重新校正对准润滑油过多聚集在球状轴承 清除油脂中心线偏差 重新对心叶轮或传动系统有损坏 跟换轴承损坏 跟换传动系统超过负载皮带太紧 放松皮带6. 相关设备规格NA7. 系统维修, 保养校正周期及允收标准.NA8. 安全作业标准NA9. 附件NA
