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三甲基铝安全使用说明书.doc
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1、1电子级三甲基铝请在使用本产品前认真阅读本安全产品说明书电子级三甲基铝作为化合物半导体沉积的铝源。应用于发光二极管、 激光二极管、 晶体管高性能和高效率太阳能电池中。它还用于硅半导体产业化学气相沉积过程中。1.物理性能分子式(CH3)3Al分子量 72.09CAS 号 75-24-1外观 清亮透明液体沸点 127(760mmHg)熔点 15液体密度 0.752g/ml(20)蒸气压力 at 10C (283.15 K) 4.87 torrat 15C (288.15 K) 6.57 torr蒸汽压方程logP(torr)=B-A/T(K) A =2134 ,B=8.2242.危害识别三甲基铝为
2、易燃液体,遇水剧烈反应。接触皮肤时可能导致严重的烧伤。烟雾可能会导致皮肤和眼睛不适。由于三甲基铝及其分解物属有毒物质,应避免吸入。23.建议急救接触大量三甲基铝和及其副产品后应立即就医。急救人员应配备相应的防护装备(呼吸器具等),以防止三甲基铝在空气中自燃或与水反应发生的爆炸等潜在危险。皮肤接触立即排出产品所在区域范围内的水,在未接触皮肤时尽可能快的装备好防护用具。用肥皂和水清洁可能接触到的三甲基铝,包括头发和指甲下的肌肤等部位。并立即就医咨询。眼睛接触戴隐形眼镜的人员,尽可能不要接触三甲基铝。三甲基铝误入眼睛时,应立即用大量清水冲洗至少 15 分钟。并拨开眼睑以保证彻底冲洗,同时立即就医咨询
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