1、 低真空-20020406080101201400.91.01.1.21.31.41.51.61.71.8 B ExpDec1 fit of Dat4_BP(pa)T(s)机械泵：理论抽速：4 L/S 系统体积： 2 L 初始压强：1.7 Pa最终压强：1 Pa 抽气时间：1290 S高真空0 10 20 30 40 50012345 B oltzman fit of Dat1_BP(pa)T(s)扩散泵：系统体积：6 L 初始压强：4.2 Pa 最终压强：1.3*10-4 Pa测量时间：48 S低真空测量数据 P（Pa） T(s)P（Pa） T(s)P（Pa） T(s)P（Pa） T(s)P
2、（Pa） T(s)1.7 10 1.3 160 1.2 370 1.1 700 1 11501.7 20 1.3 170 1.2 390 1.1 730 1 11801.7 30 1.3 180 1.2 410 1.1 760 1 11901.6 40 1.3 190 1.2 430 1 790 1 12001.6 50 1.3 200 1.2 450 1.1 820 1.1 12101.5 60 1.3 210 1.2 470 1.1 850 1 12201.5 70 1.3 220 1.2 490 1.1 880 1 12301.5 80 1.3 230 1.2 510 1.1 910 1
3、 12401.5 90 1.3 240 1.2 530 1.1 940 1.1 12501.5 100 1.3 250 1.2 550 1.1 970 1 12601.4 110 1.2 270 1.2 570 1.1 1000 1 12701.4 120 1.2 290 1.2 590 1 1030 1 12801.4 130 1.2 310 1.2 610 1 1060 1 12901.4 140 1.3 330 1.1 640 1.1 10901.4 150 1.3 350 1.2 670 1.1 1120高真空测量数据T(s) P（Pa） T(s) P（Pa） T(s) P（Pa）1
4、4.2 25.5 6.2*10-4 38 2.2*10-42 4.1 26 5.9*10-4 38.5 2.1*10-43 4.2 26.5 5.6*10-4 39 2.0*10-44 3.9 27 5.3*10-4 39.5 2.0*10-45 3.9 27.5 5.0*10-4 40 1.0*10-46 3.9 28 4.8*10-4 40.5 1.9*10-47 4 28.5 4.6*10-4 41 1.8*10-48 4 29 4.3*10-4 41.5 1.8*10-49 4 29.5 4.1*10-4 42 1.7*10-410 3.9 30 4.0*10-4 42.5 1.7*1
5、0-411 3.9 30.5 3.8*10-4 43 1.6*10-412 3.6 31 3.6*10-4 44 1.5*10-413 1.2 31.5 3.4*10-4 45 1.5*10-414 5.9*10-1 32 3.3*10-4 46 1.4*10-415 6.3*10-2 32.5 3.2*10-4 47 1.3*10-416 5.6*10-2 33 3.1*10-4 48 1.3*10-417 2.1*10-2 33.5 3.0*10-418 3.8*10-3 34 2.8*10-419 2.2*10-3 34.5 2.7*10-420 1.6*10-3 35 2.6*10-4
6、21 1.1*10-3 35.5 2.6*10-422 9.8*10-4 36 2.5*10-423 8.4*10-4 36.5 2.4*10-424 7.5*10-4 37 2.3*10-425 6.6*10-4 37.5 2.2*10-402040608010120140-0.20-0.15-0.10-0.50.00.50.100.150.20 BS(l/s)T(s)0 10 20 30 40 50-10-5051015 BS(L/s)T(s)机械泵抽气时的 S-T 图T（s） S(L/s) T（s） S(L/s) T（s） S(L/s) T（s） S(L/s)10 0 210 0 570
7、 0 1150 020 0 220 0 590 0 1180 030 0.012124924 230 0 610 0.008701138 1190 040 0 240 0 640-0.0058007581200-0.01906203650 0.012907704 250 0.016008542 670 0.005800758 1210 0.01906203660 0 270 0 700 0 1220 070 0 290 0 730 0 1230 080 0 310-0.008004271760 0.006354012 1240-0.01906203690 0 330 0 790-0.00635
8、40121250 0.019062036100 0.013798574 350 0.008004271 820 0 1260 0110 0 370 0 850 0 1270 0120 0 390 0 880 0 1280 0130 0 410 0 910 0140 0 430 0 940 0150 0.014821594 450 0 970 0160 0 470 0 1000 0.006354012170 0 490 0 1030 0180 0 510 0 1060-0.006354012190 0 530 0 1090 0200 0 550 0 1120 0.006354012高真空 S-T
9、 图1 0.144585309 21 0.693077323 40.5 0.393477874 50.5 0.3872311272-0.14458530922 0.924904079 41 0.827914458 51.5 03 0.444647833 23 0.679972112 41.5 0.43641173 52.5 0.4139572294 0 24 0.767000229 42 0.452883936 53.5 0.4446478335 0 25 0.750244284 42.5 0 54.5 06-0.15190684826 0.595163294 43 0.4706485587
10、0 27 0.626229038 43.5 0.4898639348 0 28 0.660717326 44 0.5107153739 0.151906848 29 0.699226897 44.5 0.53342115110 0 30 0.489863934 45 011 0.480256246 31 0.510715373 45.5 0.55824018812 6.591673732 32 0.80929537 46 0.5854819713 4.259725793 33 0.571536588 46.5 014 13.42192686 34 0.296311351 47 8.31776616715 0.706698214 35-2.18785868247.5-7.70224663416 5.884975518 36 3.452184869 48 0.64880665517 10.25712823 37 0.685900966 48.5 018 3.279262238 38 0.358235558 49 0.68590096619 1.910722387 39 0.369259904 49.5 020 2.248160697 40 0.38098438 50 0.727495462
