1、编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 1 of 20目的: 完善设备操作程序，使所有设备操作有章可循，避免人为错误操作，确保废水废酸废气处理系统安全可靠经济地运行，保障公司生产正常进行。范围: 适用于 LDK 光伏硅废水 废酸 废气处理系统规程，主要描述废水废酸废气处理系统正常开车和正常停车的各个程序步骤。要求： 废水废酸废气处理系统具备启动停车条件。团队协作: 1、主控操作员及现场压滤操作员共同担当成功运行此程序的责任。2、 此标志说明主控操作员对此操作负责。3、 此标志说明现场压
2、滤操作员对此操作负责。相关文件： 与此程序相关联的文件LDK8500-55-461-002 工艺交出制度LDK8500-55-461-003 生产巡迴检查制度LDK8500-55-461-004 工艺交接班制度LDK8500-55-461-005 临时停车紧急预案LDK8500-55-461-006 生产岗位工作职责LDK8500-55-461-007 设备日常维护和保养制度LDK8500-55-461-008 设备润滑制度LDK8500-55-461-009 化学品安全管理制度LDK8500-55-461-010 危险化学品安全说明LDK8500-55-461-011 危险化学品泄漏紧急预案
3、LDK8500-55-461-012 安全生产制度LDK8500-55-461-013 工艺安全制度LDK8500-55-461-014 工艺运行报表LDK8500-55-461-015 设备巡检记录表LDK8500-55-461-016 设备润滑计划表LDK8500-55-461-017 巡回检查问题整改（反馈）单安全防护： 硅料厂所需要的安全防护用具安全鞋安全帽安全眼镜工作服工作手套废水处理系统另外还需要的安全防护用具全身防酸服编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 2 of 20
4、防酸手套工艺描述： PART B（急冷废液处理系统）把TCS急冷废水和急冷器底部的泥浆收集到急冷废物缓冲槽中并进行混合。把预混合废水转移到的急冷反应槽中进行化学反应。在急冷反应槽中氯硅烷以及其它化学物质将与水,氢氧化钠一起进行反应，最后生成硅酸钠、HCL和氢气等化学物质，反应所产生的 HCL和氢气被输送到HCL洗涤塔进行洗涤，洗涤后直接大气排放。从急冷反应槽出来的反应液被输送到平衡槽作进一步处理。 PART A(主工艺处理系统平衡槽部分)来自急冷部分和流化床工艺流程的废水/废气/废物注入到平衡/收集槽（平衡槽是四个720M 3的槽罐，分别以A/B/C/D表示），而A/B/C槽罐主要处理来自全厂
5、的工艺废水，包括还原钟罩清洗水，尾气处理废水，急冷和流化床工艺的废水，D槽罐主要处理来自各个区域的地坑污水或作为A/B/C槽的备用。在这里，通过自动计量阀添加酸或碱，低速搅拌器把加入的化学药剂和废水混合均匀，把PH值调整到78之间，将硅酸钠还原成二氧化硅。当第一罐是全满时（进料，加药搅拌同时进行），注入的废水将通过自动阀门的关闭，开启进入第二个槽罐，而第一个平衡槽内的废物处理后将被输送到相应的压滤机进行处理；同样，当第二平衡槽满时，即将注入的废物将通过自动阀门的关闭，开启注入到第下一个平衡槽 ，A/B/C平衡槽可通过自动控制循环更替使用，废水通过压滤机进行脱水除去约40%的固体废物，经过压滤机
6、过滤出来的滤液进入PH调节槽进行处理。PART C(含氟废水处理系统)来自硅芯蚀刻系统含有氟化物的废物注入HF冲洗废物收集槽中。在这里，废物被泵往1 #HF酸废水反应槽。在槽中，加入碱性物质将PH值调整至了67范围内。在加入沉淀剂CaCl2（由加药泵供应），高速搅拌器可使化学药品均匀混合及分布，生成氟化钙沉淀。含有沉淀物的废水则依靠重力流向第二个处理罐，这时将PH值调至89范围内，加入助凝剂PAC（由加药泵来供应），高速搅拌器可使助凝剂与氟化物发生沉淀均匀混合及分布并产生絮凝效果。絮凝的废水通过中间渠道进入倾斜板澄清器中，高分子溶液（PAM）被加入其中， 在中间渠道的两边，指定的距离和角度范围
7、内安装了斜板，此处清水会慢慢往上升，而废水中的污泥则会沉淀在澄清器的底部。在澄清器较低部位的污泥的液位通过混浊度测量计来测量。如果淤泥沉积到了一定的高度，流体底部的污泥将被空气隔膜泵输到污泥浓缩槽中进一步脱水；澄清的、上层的流体将进入 HFW 监控罐中，实时监控氟离子浓度，根据测量出来的值，如果不符合工艺指标，将被转移到 HFW 收集罐中。如果符合工艺指标，它将被泵往 PH 值调节罐 1 中进一步处理。在两个污泥浓缩槽中，由于重力的作用，污泥将会沉积。当罐中污泥的液位达到一个定的高度，则开始将其泵送至压滤机中进行脱水，滤掉 30%到 35%的固体物质，而压滤机中出来的滤液将被导入 PH 值控制
8、处理系统中。PATR A（主工艺处理系统最终控制部分）编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 3 of 20从压滤机和监控槽中出来的废水一起进入PH调节槽进行处理，通过PH值的自动监控来控制自动计量阀添加酸或碱，通过低速搅拌机把加入的化合物和废水混合均匀，将PH值调节至79，经处理过的废水因重力流进最终PH控制槽，将PH值调节至7左右，输送泵把处理过的废水输送到城市卫生废水处理系统。废水达到国家一级排放标准(GB8978-1996);产生的废气经过洗涤塔洗涤,废气达到国家一级排放标准(
9、GB 16297-1996)。废水排放标准： PH 值：6-9SS（固体悬浮物）：70mg/LCOD(化学需氧量)： 100mg/L氟化物（F -）： 10mg/L废气排放标准： 氯化氢：禁排。废物排放: 市政垃圾场填埋。编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 4 of 20废水处理工艺流程简图：急冷废物输送泵 急冷废物泥浆泵压滤机进料泵污染废料输送泵滤布洗涤泵滤布洗涤水储槽膜膨胀水储槽 膜膨胀泵PH 值调节槽 最终 PH 值控制槽中性水输送泵急冷槽污水池地坑平衡槽污水池地坑喷射泵多介
10、质过滤器急冷废物缓冲槽 急冷废物反应槽压滤机轴向混合器聚合物制备站凝结剂储槽来自急冷器底部收集的废水 服务水20%NaOH氮气TCS 急冷废水洗涤塔洗涤水收集槽洗涤塔循环泵NAOH 加药槽NAOH 加药泵HCL 吸收蒸汽大气放空20%NaOH98%H2SO4压滤机污水池地坑HCL 吸收废液 160020%NaOH 98%H2SO4平衡槽服务水服务水工艺紧急排放凝结剂配料泵服务水城市管网8500-25-152-5018500-25-152-5028500-25-152-5038500-25-152-504图号注释：20%NaOH98%H2SO4氮气服务水工艺污水池 1600尾气洗涤/钟罩清洗 1
11、000流化床底部卸料介质注释：8500-25-152-5078500-25-152-5088500-25-152-5098500-25-152-5108500-25-152-505 8500-25-152-511服务水8500-25-152-506 8500-25-152-512编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 5 of 20废酸处理工艺流程简图蚀刻废酸收集槽蚀刻废酸蚀刻废酸污水坑蚀刻废酸卸料泵蚀刻废酸输送泵HF 酸废物收集槽HF 酸废物反应器服务水大气排放HF 酸废水平衡槽HF
12、 酸废水输送泵PH 值/最终 PH 值调节槽0.2%PAM30%CaCl210%PAC20%NaOH98%H2SO4HF 酸废水澄清器HF 酸废水污泥进料泵HF 酸废水监控槽服务水HF 酸排放废水输送泵消泡剂污泥浓缩槽HF 压滤机进料泵压滤机服务水HF 酸洗涤塔收集槽HF 酸洗涤塔循环泵 HF 酸尾气风机服务水服务水20%NaOH污水坑图号注释：8500-25-152-5198500-25-152-5208500-25-152-5218500-25-152-5228500-25-152-526服务水98%H2SO420%NaOHPACPAM消泡剂 30%CaCL编写人员: 周一字 张勇平 文件
13、编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 6 of 20PLC 控制系统： 废水处理系统是由一个位于控制室里的主 PLC 控制系统来控制的。由一个 艾伦布拉德利控制逻辑处理器(PLC)在系统中控制着系统的运作；用户可 以通过它所提供的 IFIX 、SCADA 系统来运行整个 PLC 控制系统，也可以用SCADA 系统来完成参数的控制和更改；艾伦布拉德利控制逻辑处理器有一Modbus 通信网络连接至用户的集散控制系统，用于信号监控;该 I / O 卡是设在远程 I / O 架， 控制逻辑处理器（PLC）是硬件连接到主控制
14、中心。PLC 系统将通过联锁防止错误的操作造成设备损坏，而且联锁是不能改变和调整的，也是无法在 SCADA 系统上进行改装。PLC SYSTEM：逻辑处理控制系统。iFIX：全球最领先的 HMI/SCADA 自动化监控组态软件。SCADA（Supervisory Control And Data Acquisition）：数据采集与监视控制系统。Modbus: 工业控制器的网络协议中的一种我们可以从 PLC 控制系统上进行以下控制:1、运用手动模式运行设备。2、运用自动模式运行设备。3、泵自动切换。4、过程报警的发生。5、在 SCADA 系统中的操作记录和趋势。废物/废水处理系统操作指导1 正
15、常开车前的准备工作1.1 工艺用气的指标氮气总管: 0.50.8MPa 压缩空气总管: 0.8MPa仪表空气总管: 0.8MPa 仪表空气压力: 35barg检查工艺用气是否符合指标。1.2 工艺用水的指标服务水总管: 35barg 冷却水: 5barg检查工艺用水是否符合指标。1.3 电源供应生产用电： 380V照明用电： 220V检查电源供应是否良好1.4 设备检查检查设备、管道、阀门、安全装置、仪表、联锁讯号等是否完好。编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 7 of 201.5
16、 阀门检查检查应开、应关阀门；在没有特殊说明的情况下,所有自动控制阀的进出口阀门都是常开的、旁路阀都是常关的、所有的排放阀都是关闭的;1.6 化学消耗品的准备与检查检查化学消耗品是否符合要求及用量。名称 日最大用量(吨/ 天) 月最大用量(吨/ 月) 年最大用量(吨/ 年)30%CaCl2 3.75 112.5 1350聚合氯化铝(10%PAC) 7.5 225 270098%H2SO4 44.16 1324.8 15897.620%NaOH 178.62 5358.6 64303.2聚丙烯酰胺(0.2%PAM) 0.166 4.98 59.76消泡剂 0.0096 0.288 3.4562.
17、 急冷缓冲槽和急冷反应槽装置的操作指导来自 TCS 工厂的急冷废物/废水与急冷器底部排放的废物/废水(12 个小时 3 组)将在急冷废物缓冲罐中收集和混合，在混合时将会发生化学反应，收集的废水将被输送到急冷反应槽中；，由于在急冷反应槽内所发生的是水解反应,所以在运行时应先打开进水阀加水到一定液位再打开废水进料阀，而整个过程是又必需在碱性的条件下进行（目的是为了防止沉淀,因为含硅废物/废水在酸性条件下容易产生胶体沉淀），所以在打开进水阀的同时需按一定的比例加入 20%的氢氧化钠把槽里的水调节至碱性。氯硅烷将会与水发生反应，最终生成硅、氯化氢和氢气，并将硅置换成硅酸钠。经过处理后的废物/废水将被输
18、送到平衡槽中继续处理；需要注意的是：由于整个过程有氢气产生，在急冷区域内的设备在运行前必须进行氮气吹扫,;在设备运行时要用氮气保护(微正压)氮气经过压力自控阀调节至 15mbar(毫巴)。急冷缓冲槽和急冷反应槽上安装的爆破片的作用是在缓冲槽和反应槽内气体发生爆炸时将会破碎,进行紧急排放泄压,排放气体将进入紧急泄压系统(4100);2.1 急冷缓冲槽的开停车操作2.1.1 运行准备关闭急冷缓冲槽底部出口阀(XV50102)、取样阀(HV50105)、排放阀(HV50175)；打开氮气进口阀(XV50164)，打开槽顶工艺排放阀(HV501186)，用氮气置换急冷缓冲区域内的设备并进行氮气吹扫,吹
19、干水分置换完成后常开打开氮气进口阀(XV50164)用氮气（微正压）对系统进行保护并关闭槽顶工艺排放阀(HV501186);将 TCS 工厂的急冷废物/废水进料阀(XV50101)打开；连接急冷器底部排放废物/废水罐软管,将急冷器底部排放废物/废水进料阀(HV50160)打开,打开氮气进气阀(HV50165),利用氮气压力(5Barg)将废物/废水压入急冷缓冲槽；进料程序开始。2.1.2 运行编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 8 of 20当各种废物在急冷缓冲槽中达到一定的液位后
20、,液位高限开关(LIC50101)将给 PLC 系统一个高液位信号,启动搅拌器,将物料充分混合及反应后泵送至急冷反应槽中；在整个过程中急冷缓冲槽中的液位将在 PLC 系统中被实时监控;安装在槽顶的紧急泄压阀在槽内压力超过 25mbarg 的时候将被打开,释放缓冲槽中的压力;2.1.3 运行停止将 TCS 工厂的急冷废物/废水进料阀(XV50101)关闭；将急冷器底部排放废物/废水进料阀(XV50106)关闭,关闭氮气进气阀(HV50165),拆除急冷器底部排放废物/废水罐软管；打开急冷废物输送泵氮气置换阀(XY50157)，置换输送管道，置换完毕关闭所有缓冲区内管道阀门。打开急冷缓冲槽底部出口
21、阀(XV50102)而持续保持氮气的微压以防止槽内产生负压直到槽内卸料完成；打开急冷废物输送泵进口阀(HV50111)，启动急冷输送泵，再开急冷废物输送泵出口阀(HV50115)，开始泵送急冷缓冲槽内的废物/废水;当急冷缓冲槽内的废物/废水下降到一定的液位时,液位低限开关(LIC50101)将给 PLC系统一个低液位信号,停止搅拌器;急冷废物输送泵将继续泵送,直到泵空槽内废物/废水；停泵，关闭急冷输送泵进口阀(HV50111)、出口阀(HV50115)、关闭急冷缓冲槽底部出口阀(XV50102)；停车程序完成。2.2 急冷反应槽开停车操作2.2.1 运行准备关闭急冷反应器底部出口阀(XV501
22、04)、取样阀(HV50125)、排放阀(HV50145);关闭 NaOH 进口阀(XV50131)；关闭服务水进口阀(XV50161)；打开氮气进口阀(XV50166)，打开槽顶工艺排放阀(HV50197)，置换急冷反应槽内的空气,置换完成后氮气进口阀(XV50166)保持常开,对系统进行保护并保持微压状态；置换完成后，关闭槽顶工艺排放阀(HV50197)； 进料程序开始。2.2.2 运行先打开服务水进口阀（XV50161）往槽中注入服务水,同时打开氢氧化钠进料阀（XV50131）以一定的比例注入氢氧化钠以调整服务水的 PH 值到碱性(具体参数未定),当槽中服务水加入到一定液位时，通过液位传
23、感器感应再由 PLC 远程控制打开急冷缓冲槽废水进口阀(XV50103)加入废水进行处理。加入的水量也将由一个连接在 PLC 系统上的流量计(FE50103)来控制；当各种废物在急冷反应槽中达到一定的液位后,液位高限开关(LIC50103)将给 PLC 系统一个信号启动搅拌器,将物料充分混合及反应;急冷反应槽中的液位将在 PLC 系统中被实时监控;安装在槽顶的紧急泄压阀在槽内压力超过 25mbarg 的时候将被打开,释放反应槽中的压力;安装在槽体上的 PH 值分析探头(AE50101/AE50103)将实时监控急冷反应槽中的 PH 值,并将数据反馈给 PLC 系统,PLC 系统根据反馈的数据,
24、命令 NaOH 进料阀(XV50131)开启和关闭,用来控制 NaOH 的加入量;编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 9 of 202.2.3 运行停止关闭急冷缓冲槽废水进口阀(XV50103)；关闭服务水进口阀(XV50161); 打开氮气进口阀(XV50166)打开急冷反应槽底部出口阀(XV50104)；打开急冷反应泵进口阀(HV50128)，启动急冷反应泵，打开急冷反应泵出口阀(HV50134)，泵空槽内废物/废水；泵出流量也将由一个连接在 PLC 系统上的流量计(FE501
25、02)来控制；停泵，关闭急冷反应泵进口阀(HV50128)、出口阀(HV50134)；关闭氮气进口阀(XV50166)关闭急冷反应槽底部出口阀(XV50104)；打开工艺排放阀(HV50197)。停车程序完成。3 洗涤塔装置的操作指导废水系统中配置有 2 套洗涤塔装置，用来洗涤中和来自急冷缓冲槽、急冷反应槽的HCL 和氢气以及来自尾气回收的 HCL 吸收蒸汽，氢气则被排放至大气中。在洗涤塔底部装置中有 一套洗涤水收集槽为洗涤塔提供洗涤水，洗涤水收集槽收集后循环使用。而洗涤水的洗涤效果是由 PH 值控制;洗涤液是否需要排放是由洗涤液的电导率控制。洗涤塔在运行时,喷射泵的作用是代替风机提供动力,并
26、且在工作时将洗涤液和待处理的气体混合进行预处理;3.1 洗涤塔开车停车操作3.1.1 运行洗涤水收集槽的准备：关闭洗涤水收集槽底部排放阀(HV51018)；打开服务水进水阀（XY51058）同时打开氢氧化钠进料阀（XV51006）按一定的比例调节服务水的 PH 值（参数未定），当液位达到一定的高度时通过液位指示，远程控制关闭服务水进水阀（XY51058），关闭氢氧化钠进料阀（XV51006）；洗涤塔的运行：打开洗涤塔循环泵出口阀(XY51011)启动循环泵；打开排气阀（HV51005）；打开来自 8500-25-125-505 的进料阀（XV51003），来自 8500-25-125-501
27、的进料阀（XV51002） （XV51001）启动喷射泵；洗涤程序开始，HCL 被吸收， 2直接大气排放。洗涤槽中的洗涤液在循环使用的同时，洗涤液的电导率不断升高，当洗涤水的电导率到一定的参数时，通过电导率控制仪发出信号到控制中心，启动报警装置。然后停此运行，更换洗涤液。3.1.2 运行停止停止供应废气；关闭的进料阀（XV51003）的进料阀（XV51002） （XV51001）关闭喷射泵；停此洗涤塔循环泵运行，关闭循环泵进料阀（HV51011） 出料阀（HV51039）；此程序停此运行：编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-
28、Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 10 of 204 平衡槽装置的操作指导来自流化床反应器的液态泥浆废物，HCL 吸收的废液，废气洗涤的废液，钟罩清洗的废水以及来自急冷反应槽的废物/废水等将被收集在 4 个平衡槽中。在这里需要注意的是 4个平衡槽不是同时进行相同的工作任务，平衡槽 A/B/C 收集处理的外部废水主要是尾气洗涤塔和钟罩清洗的工艺污水,压滤机区域的废水,多介质过滤器的反冲污水;平衡槽 D 收集处理的外部废水主要是急冷区域污水坑和平衡槽区域污水坑污水,HCL 吸收后的废液,工艺污水坑和蓄水池被污染的污水;而是；在同一时间内，一个槽将用来收集并处理废浆料，而另一个则是将处理好
29、的浆料输送至压滤机内进行过滤，(交叉使用)。 在系统运行过程中，装满废浆料的槽将对 PH 值进行调整和加入促凝剂，促凝剂的加药量是按照废水量和 PLC 中的加药定时器给出的数据作为依据的；PH 值是通过装在平衡槽上的 PH 变送器来获取数据，然后再通过向装满的槽里加入 98%H2SO4或 20%NaOH 来进行调整的，阀门的开和闭是由 PLC 一个专门的 PID 控制算法来控制的，当槽的液位达到了高限时，就应该换槽使用，PH 值指标范围在 7-8 左右，如果调整后的 pH 值是在规定的范围之内，为了使压滤机可运行起来，可将水槽加满；如果 pH 值是超出了规定范围，继续调整 PH 值，直到 pH
30、 值达到指定范围；在平衡槽内调整好的废水将通过压滤机进料泵泵往压滤机，这时PLC 系统只允许这个槽中进行废水输送的操作。平衡槽整个的处理过程包括进料,PH 值调整,絮凝,需要耗时大约 78 小时。酸和碱的管线相对整个系统是作为两个独立的系统循环运行。4.1 运行准备关闭平衡槽底部排放阀(HV50216A/B/C/D)；关闭平衡槽底部放料阀(XV50202A/B/C/D)；关闭 98%H2SO4加药阀(XV50241A/B/C/D)；关闭 20%NaOH 加药阀(XV50231A/B/C/D)；关闭 PAM 加药阀(XV50281A/B/C/D)；打开平衡槽废物/废水进料阀(XV50201A)；
31、关闭平衡槽（备用）废物/废水进口阀(XV50202B/C/D)；关闭平衡槽底部连通阀(HV50202/ HV50203/ HV50204/ HV50205/ HV50206/ HV50207/ （HV50208);做好接收急冷反应器泵送来的废物/废水的准备;进料程序启动。4.2 运行当各种废物在平衡槽中达到一定的液位后,液位变送器(LIC50201)将给 PLC 系统一个信号,启动搅拌器,将物料充分混合及反应，并打开废水进料阀（XV50201B）开始 B 槽进料，在 A/B 槽持续运行的过程中，如果 A/B 槽废水处理量大于废水量，C 槽可作备用槽，如果废水量大于 A/B 槽的处理量，就通过自
32、动控制轮换开启 A/B/C 进料阀（XV50201）进行连续性的处理。平衡槽 D 槽主要用来收集处理的外部废水主要是急冷区域污水坑和平衡槽区域污水坑污水,HCL 吸收后的废液,工艺污水坑和蓄水池被污染的污水或作紧急备用（废水量大于平衡槽 A/B/C 同时处理的量时或平衡槽 A/B/C 其中一个出现问题要维修时）。在整个进料的过程中平衡槽中的液位将在 PLC 系统中被实时监控;安装在槽体上的 PH值分析探头(AE50201)将实时监控急冷反应槽中的 PH 值,并将数据反馈给 PLC 系统,PLC 系统可以根据反馈的数据,分别命令 NaOH 进料阀(XV50231)/98%H 2SO4进料阀(XV
33、50241)开启和关闭,用来控制 NaOH 和 H2SO4的加入量,使整个过程中 PH 值将被控制在 7-8 之间;编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 11 of 20PLC 系统在平衡槽 PH 值达到 7-8 之间时,以平衡槽中的废水量为标准,给 PAM 加药系统设定一个加药量,同时打开 PAM 加药阀(XV50281，启动加药装置向平衡槽中加入 PAM 进行絮凝（当药物的投放量达到指定值时，PLC 系统自动关闭 PAM 加药阀(XV50281A/B/C/D)，停止加药系统）;并
34、且继续调整 PH 值,达到指定范围，开始泵送。4.3 运行停止关闭 98%H2SO4加药阀(XV50241)；关闭 20%NaOH 加药阀(XV50231)； 关闭平衡槽废物/废水进料阀(XV50201A)；打开平衡槽（备用）废物/废水进料阀(XV50202B/C/D)；切换平衡槽（备用）使用；打开平衡槽底部放料阀(XV50202A)；打开压滤机进料泵进口阀(HV50303)，启动压滤机进料泵，打开压滤机出口阀(HV50308)，直至泵空平衡槽；停压滤机进料泵，关闭压滤机进料泵进口阀(HV50303),出口阀(HV50308)；关闭平衡槽底部放料阀(XV50202A)；停车程序完成。5.废酸收
35、集槽操作指导5.1 运行准备关闭底部排放阀（HV51908）；打开废酸收集槽底部出口阀（HV51931）、废酸进料阀（HV51952）、废酸收集槽气体排放阀（HV51923）、废酸池气体排放阀（HV51936）；穿戴好防酸服，手套用软管连接便携式废酸储槽底部接口和废酸进料接口，然后打开便携式废酸储槽底部阀门（HV51928）；进料程序开始；5.2 运行通过控制室的人机对话模板打开气动控制进料阀（XV51952）开始进料，废酸收集槽中的液位可以通过槽顶上的超声波液位控制仪表传达的信号来控制，当废酸收集槽内的液位低于低液位时气动控制阀（XV51952）会接收到来自 PLC 系统的一个信号指令自动开
36、启，而当液位达到废酸收集槽的液位上限时，气动控制阀会接收到来自 PLC 系统的一个高液位指令自动关闭气动阀（XV51952）；同时打开底部排放阀（HV51908），此时废酸输送泵会接收到来自 PLC 系统的一个信号指令自动启动把废酸输送到下一单元，当废酸收集槽中液位低于低液液位时废酸输送泵会接收到来自 PLC 系统的一个信号指令停止行动；废酸池内的液位也是通过 PLC 系统实时监控，当液位达到池内上限时气动隔膜泵上的供气阀会接收到一个信号指令开启使气动泵运行起来，把池内的废酸输送到下一单元进行处理，当液位降到池内低液位时气动隔膜泵上的供气阀会接收到一个信号指令关闭使气动泵停止运行。5.3 运行
37、停止关闭便携式废酸储槽底部阀门（HV51926）（HV51928）废酸收集槽进料阀（HV51952）、出口阀（HV51931）；打开废酸收集槽工艺排放阀（HV51908）；在 PLC 系统上调手动控制模式用气动泵泵空池内乘余的废酸，完后停泵；停车程序完成；编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 12 of 205.4 备注如以上运行，停车的情况不能在自动控制下正常运行，则需按以上运行步骤依次进行手动操作。6.氢氟酸收集槽/反应槽的操作指导6.1 氢氟酸废水收集槽操作指导6.1.1 运行
38、准备关闭氢氟酸收集槽底部排放阀（HV52004）、出口阀（HV52005）；打开废水进料阀（XV52055），打开废气排放阀（HV52003）；打开消泡剂加药阀（HV52037）；进料程序开始；6.1.2 运行打开来自各个工段的进料阀进入氢氟酸收集槽，槽中的液位可以通过槽顶上的超声波液位指示器进行液位控制，当液位达到液位高限时，氢氟酸输送泵会接收到来自 PLC 系统的一个信号指令开启输送泵把氢氟酸废液输送到氢氟酸反应槽中去，当氢氟酸收集槽中的液位降到低限液位时，氢氟酸输送泵会接收到来自 PLC 系统的一个信号指令停止运行；运行程序结束；6.1.3 运行停止把自动模式换成手动，关闭氢氟酸废液收集
39、槽的进料阀门（HV52036）；关闭消泡剂加药阀（HV52037）；打开废液出口阀（HV52005），打开 HF 酸废水输送泵进口阀（HV52006），启动 HF 酸废水输送泵，打开 HF 酸废水输送泵出口阀（HV52008）；泵空槽内废液，关闭 HF 酸废水输送泵出口阀（HV52008），停泵，关闭 HF 酸废水输送泵进口阀（HV52006）；关闭废液出口阀（HV52005）；打开工艺排放阀（HV52004）；打开反应槽排放阀（HV52020）（HV52059），关闭化学药品的进料阀（XV52001）（XV52003）（XV52004），静置等到下次运行；停止程序完成；6.2 氢氟酸废水反应
40、槽操作指导6.2.1 运行准备关闭 1#氢氟酸废水反应槽底部排放阀（HV52020）、关闭 2#氢氟酸废水反应槽底部排放阀（HV52059），出口阀（HV52018）、（HV52021）；打开反应槽的进料阀（HV52017）、（HV52056）；打开出口阀（HV52019）、（HV52058）；打开化学药品进料阀（HV52023）、（HV52022）、（HV52060）、（HV52061）；6.2.2 运行氢氟酸废液通过泵经过自动调节流量计输送到氢氟酸反应槽中，而自动调节流量计是和加药管道上的自动调节流量计连锁的，这几个自动控制流量计之内可以按一定的比例互相调节流速，以此来达到对槽内 PH 值
41、和氟离子浓度的调节， 氢氟酸废物被泵往 1#处理槽。在这个槽中，当槽中液位浸过搅拌叶时，搅拌器的电机会接收到来自 PLC 系统的一个信号指令开启搅拌器，同时在槽内的 PH 值探头会在同一时间把测量的信号反馈给 PLC 系统，通过信号区分，再通过远程 PLC 控制系统传达一个信号指令去控制 NaOH 进料气动阀编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 13 of 20（XV52001）H2SO4 进料阀（XV52003）（XV52004）的开启和关闭，在第一个反应槽 pH 值的参数调整至
42、67 范围内。氟离子探头发出的信号连锁到 CaCL2进料管上的流量计（FE52302），以此来调节 CaCL2的进料量的大小，在连续性的搅拌和自动调节下，废液通过槽内挡板底部往上流，废水则从溢流口依靠重力流向第二个反应槽中，其 PH 值应加入碱性物质调至 89 范围内，像 PAC 这样的助凝剂由加药泵来供应。等待氟化物发生沉淀，高速搅拌器可使化学药品均匀混合及分布，处理好后的废液从溢流口通过重力流流向下一处理单元。6.2.3 运行停止关闭化学药品进料阀（HV52023）、（HV52022）、（HV52060）、（HV52061）；打开 1#氢氟酸废水反应槽底部排放阀（HV52020）、关闭 2
43、#氢氟酸废水反应槽底部排放阀（HV52059）；放空氢氟酸废水，反应槽静置等到下次运行；6.3 备注如以上运行，停车的情况不能在自动控制下正常运行，则需按以上运行步骤依次进行手动操作。7.澄清池/监控槽操作指导7.1 运行准备：关闭絮凝槽底阀（HV52101）澄清池底阀（HV52103）工艺排放阀（HV52102）监控槽出口阀（HV52119）工艺排放阀（HV52118）；进料程序开始；7.2 运行废水通过重力流从废水反应槽2流向絮凝池中，在这个罐/池中，有一自动搅拌器，当池内液位达到搅拌桨叶时，搅拌器会接收到来自PLC系统的一个信号指令自动开启运行，高分子溶液（PAM）经过加药泵被加入到絮凝
44、池内，其流量可通过管道上的流量计（FE52401）自动控制。 絮凝后经搅拌机充分搅拌后絮凝的废水通过中间渠道进入倾斜板澄清器中。在中间渠道的两边，指定的距离和角度范围内安装了薄层，此处清水会慢慢往上升，而废水中的污物则会沉淀在澄清器的底部。在澄清器较低部位的污泥的含固量通过混浊度测量计（AE52101）来测量。如果淤泥沉积到了一定的高度，打开澄清池底阀（HV52103），空气隔膜泵会接收到信号指令开启，将澄清器底部的污泥输往污泥增稠罐；澄清后的、上层的液体将进入HFW监控罐中。在监控槽顶上有一超声波液位控制仪表，可通过液位的上下限传输信号控制氢氟酸输送泵的关闭，开启。氟化物通过槽顶上的氟离子测
45、量仪当场被测量，而氟离子测量仪是和气动开关（XV52101）气动开关（XV52102）连锁的，根据测量出来的值，传输信号到控制中心，再对气动开关（XV52101）气动开关（XV52102）发出指令，如果流出物符合指标，气动开关（XV52101）开启；气动开关（XV52102）关闭，它将被泵往PH值调节罐1中；如果流出物不符合指标，气动开关（XV52101）关闭；气动开关（XV52102）开启，废水将被转移到HFW收集罐中继续处理。运行程序完成；7.3 运行停止关闭加药泵，絮凝池停止进料，关闭澄清池底阀（HV52103）停止运行隔膜泵，关闭监控槽出口阀；停止程序完成；编写人员: 周一字 张勇平
46、文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 14 of 207.4 备注如以上运行，停车的情况不能在自动控制下正常运行，则需按以上运行步骤依次进行手动操作。8.污泥增稠罐的操作指导8.1 运行准备：打开污泥进料阀（HV52201A）污泥收集罐底部出口阀（HV52204）污泥输送泵的进料阀（HV52206）；8.2 运行从澄清器中的提取的污泥收集在两个污泥增稠槽中。由于重力的作用，污泥将会沉积。当槽中污泥达到一定的厚度时，高限开关会发出信号到 PLC 系统，气动阀门（XV52202）（XV52203）（XV52210）
47、电磁阀（XY52256）在同时会收到来自 PLC 系统的信号指令开启气动阀门（XV52202）（XV52203）（XV52210）电磁阀（XY52256），此时气动隔膜泵开始工作将污泥输送到压滤机中进行脱水，可以滤掉 30%到 35%的固体物质。从压滤机中出来的滤液将被导入 HFW 处理系统中运行程序完成8.3 运行停止关闭污泥进料阀（HV52201）污泥收集罐底部出口阀（HV52204）污泥输送泵的进料阀（HV52206）出料阀（HV52212）；其它自动控制阀会在 PLC 系统控制下复位，如自动控制失灵，就需手动控制关闭此类阀门。8.4 备注如以上运行，停车的情况不能在自动控制下正常运行，
48、则需按以上运行步骤依次进行手动操作。9.HFW 洗涤塔的操作指导氢氟酸废水系统中配置一套洗涤塔装置，用来洗涤中和来自硅芯清洗的废酸反应处理槽的 HCL 和氢气，氢气则被排放至大气中。在洗涤塔底部装置中有一套洗涤水收集槽为洗涤塔提供洗涤水，洗涤水在收集槽中收集后循环使用。而洗涤水的洗涤效果是由 PH 值控制;洗涤液是否需要排放是由洗涤液的电导率控制。洗涤塔在运行时,风机提供动力,并且在工作时将洗涤液和待处理的气体混合进行洗涤处理;9.1 运行准备打开加药阀（HV52602A）和服务水进水阀（HV52602B）收集槽溢流阀（HV52605）关闭工艺排放阀（HV52606）；9.2 运行手动控制打开
49、服务水进水阀（XY52601B）开始往洗涤液收集槽中进水，同时氢氧化钠加药气动阀（XV52601A）会接收到来自 PLC 系统的一信号指令开启阀门（XV52601A），而后此阀门需通过 PH 值分析仪表（AE52601）传达给控制中心一个信号来分析是否开关（分析 PH 值参数未定）；当收集槽液位到液位上限时由液位指示控制传达信号给控制中心来控制服务水进水阀的闭合。PH 值通过自动控制，达到要求参数时废气进气阀会自动开启，同时循环泵会接收来自 PLC 系统的信号指令开启循环泵的运行，洗涤液通过流量计来控制塔编写人员: 周一字 张勇平 文件编号: LDK-8500-55-461-001版本: B执行时间: 20-Qct-2008废水处理系统操作规程页码: 15 of 20中流量大小，同时风机也会接收到来自 PLC 系统的一信号指令开启风机进行排气。洗涤液是否需要排放是由洗涤液的电导率控制，在正常运行情况时当电导率过大时手动关闭废气
