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EL图片分析.doc

上传人:精品资料 文档编号:8706917 上传时间:2019-07-08 格式:DOC 页数:10 大小:3.55MB
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资源描述

EL 测试分类(分析)1、正常片2、滴源片3、单晶黑心片和多晶缺陷片4、原硅片问题(黑圆弧边) 5、 扩散后刻蚀放反片6、履带印(网状和支点型)7、扩散方阻偏大8、断线9、边缘过刻10、隐裂11、 边缘玷污漏电12、穿孔13、未扩散片 EL 图14、主栅漏电(反向测试)15、副栅漏电(反向测试)16、多晶晶界漏电17、丝网印刷二道返工擦拭片18、氮化硅膜摩擦痕漏电19、未刻蚀干净或边缘浆料造成的边缘 PN 结导通20、印刷断栅后补断栅效果,补断栅后发黑情况会减轻。 (电流得到有效的导通 )21、正面断栅上图为小断栅片及其 EL 照片,发黑位置 1-8 均为小断栅,照片上不是很清楚。 4、5 为一根细栅线上的两个小断栅。由图可知,两根主栅之外的小断栅致使断栅至边缘位置全黑。两根主栅之间的细栅线上的小断栅导致部分发黑,且颜色较浅,一根细栅线上同时有两个小断栅,且均在两根主栅线之间,导致两点之间全黑。各种异常解决方法

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