1、拉曼光谱仪（Renishaw inVia）检定规程光谱稳定性与重复性 repeatability， （重复性是考验仪器的最重要指标之一, 此检测条件与仪器设计无关）重复性：光栅动。 每次检测，光栅从 0 波数到最大波数移动，再回到检测位置（0 波数） 。使用表面抛光的单晶硅，扫描范围：100 4500 cm-1， （不能采用光栅先回到 -4000cm-1，再定位到 0 波数扫描的方式） ，重复不少于 30 次。观测硅一阶峰中心位置重复性好于 13,000 光子计数 / 秒)，检测 激光线强度与硅一阶峰强度的比值. 使用 X50 或 X100 倍物镜，狭缝大小为通常拉曼试验设置水平。 （狭缝 =
2、 100um; 针孔 = 200um）光谱分辨率：Resolution样品为氖灯 585nm 线 线半高宽一般检测条件为：狭缝宽度 = 1800 刻线光栅。binning = 1，显微镜头为 X50 或 X100。 使用灵敏度条件测分辨率: 测氖灯 585nm 线 线半高宽 = ？ cm-1 Renishaw : Slit = 20um, 光栅 = 1800 l/mm（或 2400 l/mm）, （Horiba: Slit = 100um, 光栅 = 600 l/mm, ？）去除等离子线：Plasma line blocking:在 100 4000 cm-1 内无等离子线。实验条件： 10mW（必要时由功率计测量）激光功率照在抛光的单晶硅表面，曝光时间 60 秒，累加次数 3 次， X50 或 X100 倍物镜。
