激光聚焦光斑的大小LINOS（德国利诺斯光电有限责任公司）的扫描镜资料说，当激光束质量 1/ E=1，其焦斑直径（spot）由下式计算：spot = 1.83 x x EFL / beamspot: 焦斑直径 m1.83: 切趾的因子: 波长 mEFL: 焦距mmbeam: 入瞳直径mm注意公式单位不同，在公司规格表里取 3 个进行验算，结果用蓝字写在旁边，原表 15/22/39 都是取整值。
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