1、客户合轴,一、照明系统合轴,样品以上的系统叫做照明系统,1.灯丝的调整 （对于场发射电镜调整把A2 Wobbler打开来调） 原因：换完灯丝或发现电子束明显变暗时 调整：先在低倍找到光，然后升到：100K200K 1）拧Brightness 使电子束最小。并用面板上的shift（x,y）把电子束移到中心（即聚光镜束平移） 2) 在正常情况下提高偏压或者稍微降低灯丝饱和电流（半格或1/3格），以看见灯丝像为准。 3) 如果发现灯丝不对称，左右前后亮度不均匀，按下面板上的DEFLECTOR GUN，调整DEF（X,Y），使灯丝像对称（即调整电子枪倾斜）， 如果电子束不在中心位置，使用面板上的shi
2、ft（X,Y）调到荧光屏中心位置 5) 降低偏压数值或提高灯丝电流使之饱和,2. 1-5合轴（spot size 调整） 1) 放大倍数为40K 2) TEM放置在1-3 3) 拧Brigheness 使电子束最小 4) 按下面板上的DEFLECTIOR GUN，调整SHIFT（X,Y）将电子束移动到荧光屏中心（即电子枪平移） 5) SPOT SIZE 设为5，即TEM5-3，调整面板上的SHIFT（X,Y），将电子束移到中心 6) 反复调整，即重复步骤4、5，使TEM1-3和TEM5-3的电子束基本都在荧光屏中心。,3. 聚光镜光阑对中 1) 放大倍数为40K以上 2) 拧Brighenes
3、s 使电子束缩成最小 3) 调整面板上的SHIFT（X,Y）将电子束移动到荧光屏中心，顺时针散开到比大荧光屏稍小即可 4) 调整聚光镜光栏X,Y（正面为X，侧面为Y），使电子束和荧光屏为同心圆，每切换一次光阑调整1次 一般常用的聚光镜光阑为1级和2级4. 聚光镜消像散光束为椭圆时或在电子束会聚最小时左右拧Brightness旋钮，电子束有明显正交现象时说明有像散，按下COND STIG，调整DEF(X,Y)使光束变圆。,5. TILT联动比调整 功能：调电压中心时电子束不跑 1)放大倍数设置在40K 2)拧brightness 缩小电子束，调OBJ FOCUS把物镜聚焦电压放在标准值位置。（2
4、010系列调DV为0，2100系列按一下Standard Focus） 3)在R2面板上TILT的拨钮拨向X方向，开始做X方向的联动比调整（2100系列在Maintenance及Alignment菜单下Wobbler的TiltX） 4)按下TILT按钮（2100系列点击在Maintenance及Alignment菜单下Compensator的Tilt），如果出现电子束平行错位，调整R2面板SHIFT（X）（2100系列调整面板上的DEF(X)，使两个电子束调成一个电子束，当两个电子束错位分开，调整R2面板DEF（X）（2100系列点击在Maintenance及Alignment菜单下Compe
5、nsator的Angle,调整面板上的DEF(X)） 5)X方向调好后，把拨钮放在Y方向，调整方法与X一致两者都调整好后，把拨钮放在中间，关闭TILT。（2100系列的Y方向调整和X方向类似，把X方向变为Y方向即可）,二、成像系统调整,1.电压中心调整 1)放大倍数放在100K以上，最好是在拍照时所使用的放大倍数下 2)找到目标物，移动目标物到荧光屏中心，同时电子束也移到荧光屏中心，电子束散开（略小于荧光屏） 3)按下HT wobbler，再按下Bright Tilt，调整DEF（X,Y），使目标物与中心黑点位置相对应，不摇摆（或电子束与荧光屏中心黑点为同心圆收缩） 4)调整完毕后，关闭按钮,
6、2.物镜光阑对中 1)在MAG模式下，电子束稍大于荧光屏 2)切换到DIFF模式下，插入物镜光阑 3)调整DIFF Focus，使物镜光阑清楚（如果衍射斑太大，调整Brightness） 4)调整物镜光阑X,Y，使物镜光栏套住中心束斑。 5)切换到MAG模式,3.物镜消像散调整 1)放大倍数放置在200K以上 2)找到一个麻点位置（非晶膜） 3)调整OBJ（focus）旋钮，看清非晶膜（包含过焦、欠焦、正焦三种状态，欠焦和过焦都有方向性，两者方向相反，正焦位置衬度差，此时说明有像散） 4)按下OBJ Tilt，移动DEF（X,Y），进行消像散，使图一片均匀，在正焦下看起来似乎什么都没有，但欠焦
7、和过焦图像应该很清楚（可参照无像散非晶膜衬度图）。 5) 然后用OBJ（focus）观察非晶膜过焦与欠焦状态的麻点都没有方向性，且过焦与欠焦的图像只有衬度变化，麻点的形状应一致，说明已调好,无像散时非晶膜的衬度,(a) 欠焦 (b) 正焦 (c) 过焦,4.中间镜消像散 1)在衍射（DIFF）模式下，中心束斑出现椭圆，按下INT（R2面板）（2100系列在Dialogue下选Operation的Standard点击Stigmator下的IL） 2)调整DEF（X,Y），使其变成圆，原则使透射束明锐，（使用DIFF（focus）使电子衍射花样调到过聚焦和欠聚焦一侧时更好判断）。5.投影镜合轴 原因：在DIFF模式下，中心束斑不在荧光屏中心。按下面板上的PROJ，调整shift（X,Y），使中心束斑调到荧光屏中心,
