1、冷阴极/皮拉尼真空计ACC 2009使用说明书1、 简介注意事项 确保合适的电源电源供应不要超过 DC30V，如果超过会导致真空计损坏或者危险操作者的安全； 确保正确的接地进行正确的接地保护以免造成电击； 遵照章程使用真空计确保管路或者真空腔室里面没有对真空计有腐蚀的气体或者可凝性蒸汽，如果有，请用干燥空气将其排干净； 避免过压不要将真空计用在超过其最大压力的情况下。忽视的话可能会导致真空计爆炸，或导致传感器内部损坏，从而引起气体泄漏，两种情况都可能导致人身伤害； 不要在含有腐蚀性气体或者毒性气体的情况下使用腐蚀性气体如含氟的气体，毒性气体，可燃性气体或者爆炸性气体，可能造成传感器内部损坏，从
2、而导致外部气体泄漏，这可能造成人身伤害； 产品的维修不要私自拆卸真空计的连接法兰或者电路板，参照后面关于拆卸的介绍； 不要随意修改产品设置的参数不要非法修改真空计电气或者机械的参数；忽视可能会导致真空计损坏或者人员受伤； 专业人员所有以上描述的操作，都要由有经过技术培训、有经验和有资质的人员来操作；2、 附件描 述 P/N连接线 5M 112752连接线 1OM 112753连接线 20M 112754接头“D-SUB”9P 1148483、 技术参数31 详细描述测量原理： 热传导/冷阴极原理测量范围： 5E-91000 mbar；测量精确性: 5E-91E-8 mbar,50%；1E-81
3、00 mbar,30%；1001000 mbar,50%；重复测量的误差：1E-8100 mbar,5%；（环境温度 25） ；供电电压： DC 1530V；电压波动： 2Vpp；功率消耗： 2W（电流150mA） ；防护等级： IP40；真空计自身阻抗：18 （皮拉尼模式）15（冷阴极模式）名义电阻： 5658；（环境温度 25）输出信号电压范围（0-10V+SP 型）：0-10V；8.6V=1000 mbar;1.8V=5E-9 mbar;设置点: 2 个接点输出(1A30VDC);接 口(RS485+SP 型号):RS485;I/O 连接: D-sub 9pin;连接线长度: 300M,
4、1mm 2温度范围: 运行时,555;储存时,-2070;灯丝温度: 120;烘烤温度: 150(周围无电器件和磁性屏蔽);相对湿度: 70%(无任何冷凝);连接发兰: DN25ISOKF,DN40ISOKF,DN40CF-F;操作位置: 任何角度;内部容积: 18.3 cm 3;最大承受压力: 2 bars;真空端材质: 钼SUS304SUS430 钨Ai2OFeNi玻璃黄铜;灯丝材质: 钨;3.2 真空计尺寸连接法兰：DN 25 ISO KF X=16 mmDN 40 ISO KF X=16 mmDN 40 CF-F X=35.5mm3.3 电气连接ACC2009芯 信 号0/10V +S
5、P RS485 +SP信号输出 0-10V（+） 1RS485 信号（+） 2 设置点（COM） 3 无4 DC 电源输入（+） 5 真空计 ID 6 设置点 1 7 设置点 2 信号输出 0-10V（+） 8RS485 信号（+） 9 DC 电源输入（0V） （+） 警告： 不要用、接地或者提高电压给没有用的芯 如果用自己的连接线，针对电压选择正确的电线 连接防护接地线，避免电击 安装一个电流熔断器，以避免真空计毁坏或伤人4、 真空计的连接必须使用相应的配件（Alcatel 样本目录） 。如果连接电线造成传感器向下的负载,需在传感器和控制器之间的连接区域加上保护。为避免此情况，请将电线固定在
6、相应构架上。警告不要使用在过压工况下这个真空计限制耐压是 200kPa 绝对压力。但是，请使用这个真空计在真空系统中。忽视的话可能导致接头的松动以及真空计飞出，也许会造成人身伤害。如果测量的压力上开到真空计允许最大压力之上，测量气体也许会泄漏到到外部，可能导致人身伤害。如果使用特别的接头，需确认其最大允许压力。注意当系统内部为正压或真空压力时，不要安装或拆除真空计。忽视的话可能导致部件的飞出或系统内气体外漏，也许会造成人身伤害。这个真空计不要使用在易爆或腐蚀性气体的环境，因为这个产品不具备爆炸或腐蚀保护。这个真空计不要加热到 70以上，忽视可能造成电路损坏或真空泄漏。注意在真空系统中安装真空计
7、时，不要用手直接接触腔体里面。忽视可能导致真空系统脱气的增加。可能对真空工艺造成负面影响。安装真空计时小心不要污染真空系统的密封表面。它可引起真空泄漏。在真空系统安装真空计时特别小心不要扭转或弯曲传感器头。忽视可引起这个真空计的故障。安装这个真空计时远离振动。忽视可引起这个真空计的故障。在真空系统安装这个真空计时，水平安装真空计避免测量误差。安装这个真空计时，远离温度变化激烈(在热源附近或热空气吹动)的地方和振动。5、 真空计的操作51 测量原理ACC2009 是皮拉尼真空计（Pirani）和冷阴极(Cold cathode)真空计的组合，工作过程是一个混合的过程，如下图所示：电源指示灯（PO
8、WER）指示真空计的工作状况：“闪烁”=皮拉尼真空计在工作，粗真空；“稳定”=冷阴极真空计在工作，高真空；52 面板描述指示灯显示 状态 描述绿色闪烁 皮拉尼在工作绿色稳定 冷阴极在工作橙色（显示 2 秒） 校准成功红色闪烁 警告Power LED红色稳定 出错不显示 设置点 1 开启绿色稳定 设置点 1 关闭SP1 LED橙色闪烁或者稳定 校准运行中不显示 设置点 2 开启绿色稳定 设置点 2 关闭SP2 LED橙色闪烁或者稳定 校准运行中开 关 描述VAC/ATM 大气压和零点校准SP SEL 设置点工作中ACC 2009-0/10V+SP 设置点信息输入模式Switch selector
9、 ACC 2009-RS485+SP 设置点调节 ID 模式（详见 RS484 使用说明书）53 模拟信号输出（0/10V）531 ACC 2009-0/10V+SP 型模拟信号由芯脚 1（+）和芯脚 8（）输出，测量信号和测量压力的关系：复数转换：测量的极限：8.6V=1000 mabr 和 1.8V=5E-9 mbar；信号压力转换曲线：当测量气体为其他气体且压力在 500 Pa 以下时，请乘以以下修正系数计算压力。气体 *C 气体 *C氢气 0.5 空气,氧气,一氧化碳,氮气 1.0氦气 0.8 氪气 2.4氖气 1.4 氙气 3.0氩气 1.7 水蒸气 0.5二氧化碳 0.9 氟里昂
10、12 0.7*C：修正系数532 ACC 2009-RS485+SP 型在 I/O 接口针脚和之间发送和接收命令及数据(RS 485 系列)。查阅 RS485 手册。54 真空计读数的校准皮拉尼真空计能在大气压力下（ATM）和测量极限压力下（VAC）被校准，真空计会自动选择在大气压力（ATM）还是极限压力（VAC）模式。在校准之前，真空计安装在用户使用的地方，并保证角度和使用的工况都一样。另外，这个过程必须在十分钟以上。在极限压力下校准，即零点校准，必须保证当前压力小于 110E-5 mbar（7.610E-5 Torr）操作：POWER 指示灯绿色时，按住 ATM/VAC，当指示灯颜色变橙色
11、（非闪烁）并稳定保持 2 秒，松开 ATM/VAC，真空计自动获得压力数据和温度补偿数据，校准完毕；（不建议用户自己调整）冷阴极真空计没有校准的功能，但注意：ACC2009-RS485+SP 型，可以在连接 RS485 时进行校准。55 真空计压力设置点的调节利用开关选择器来设置点 1 和 2 的数值：-设置数字，利用 1-9 数字键；-设置数量级，从+6 到-9，具体对应关系参照以下表格：-设置测量单位，mbar=2,torr=1,Pa=其它任何位置；例如：ACC2009-0/10+SP 型调节设置点 1 和设置点 2 的操作程序：设置点 1：5.10 +2=500 mbar设置点 2：8.
12、10 -1=0.8 mbar设置开始A、初始状态：SP1 指示灯不亮，SP2 指示灯不亮；B、程序开始：按 SP.SEL 按钮，SP1 指示灯亮，SP2 指示灯不亮；C、旋转设置点 1 的数字位到“5” ， （设置点 1：5.10 +2） ，再按 SP.SEL 按钮；SP1 指示灯闪烁，SP2 指示灯不亮；D、旋转设置点 1 的数量级位到“E” ， （查上表格 E=+2） ，再按 SP.SEL 按钮，SP1 指示灯不亮，SP2 指示灯亮；E、旋转设置点 2 的数字位到“8” ， （设置点 2：8.10 -1） ，再按 SP.SEL 按钮，SP1 指示灯不亮，SP2 指示灯闪烁；F、旋转设置点
13、2 的数量级位到“1” ， （查上表格-1=1） ，再按 SP.SEL 按钮，SP1指示灯闪烁，SP2 指示灯闪烁；G、选择两个设置点的单位，旋转开关选择器到“2” ， （设置测量单位，mbar=“2”,torr=“1”,Pa=“其它任何位置” ） ，再按 SP.SEL 按钮，SP1 指示灯不亮，SP2 指示灯不亮；设置完成备注：如果是 ACC2009-RS485+SP 型，真空计设置点的数值的选取只能通过外接控制器或者 PLC 完成（参照 RS485 使用说明书） ；56 设置点信号输出设置点的 SP 值和对应的压力信号值有 10%的误差；6、真空计的拆除注意确认真空计是否污染。这个真空计不
14、适合测量有害的气体压力。在拆除这个真空计之前，确认真空计内部是否已污染。如果污染的话，必须采取必要措施以避免人员伤害和环境污染。注意当从真空系统上拆除真空计时，不要用手直接接触系统内部。忽视可能导致真空系统脱气的增加，并且对系统工艺产生负面的作用。从真空系统拆除真空计时小心不要污染真空系统的密封表面。它可导致真空泄漏。当从真空系统拆除这个真空计时，不要扭转和弯曲传感器头。忽视可能导致传感器故障。 对真空系统放气使系统回复到大气压。 关闭供应电源。 拆除电信号接头。 拆除这个真空计与真空系统的连接。 在这个真空计接口处安装防护盖避免外界物质进入真空计。如果真空计必须被储存，建议远离高温、湿气重和
15、灰尘多的地方。7、真空计的维修注意灰尘和污染会破坏真空计部件的功能，忽视会导致真空系统放气率的增加，从而对真空应用产生消极的影响，故保持真空计的清洁；不要清洗测量装置，除了连接法兰；必须使用专用酒精清洗真空计的外表；7、1 需要的工具15mm 通用扳手；3mm 通用扳手；长脚卡簧钳；欧姆表；内六角扳手一套；7、2 部件更换请按以下操作，更换传感器 2 或者电气件 3；A、松开紧固螺钉 1B、如图示，取出传感器 2；C、按照需求更换传感器 2 或者电气件 3；D、小心对准传感器 2 的芯和电气件 3 的孔，推入，注意确保芯没有被弯曲，拧紧紧固螺钉 1；E、组装好之后，必须校准；编号 描述 P/N
16、Sensor DN25 ISO KF ACC 2009(传感器) 113046Sensor DN40 ISO KF ACC 2009(传感器) 113047Sensor DN40 CFF ACC 2009(传感器) 1130482Maintenance kit（维修包） 113042Electronics 0/10V+SP ACC2009（电气件） 1130393Electronics RS285+SP ACC2009（电气件） 1120408、3 检查灯丝如果有必要检查皮拉尼真空计传感器里的灯丝，请按照如下方法：A、按照上面的方法，拆除传感器；B、用欧姆表测量，传感器触脚和接地脚之间的电阻是
17、否在 53-60 欧姆之间；（环境温度为 25）C、如果测量值超出量程，更换灯丝；8、4 传感器的维修维修传感器需要用到一个专门的维修包（如后描述） ，并按以下流程操作：A、按照前述操作，拆下传感器；B、拧松螺丝，然后取走磁铁 1；C、拧开内六角螺栓 2，取下要被替代的零件 3；D、用适当的工具取下保护网 4，用卡簧钳取下挡圈 4b，最后取出圆盘 4c；E、用专用酒精仔细清洗所有零部件及内表面，再用纱布擦干净；F、更换维修包里的各个零件，并按相反的顺序组装；G、如果有可能，对传感器进行漏率测试；备注：在校准真空计之前，先把真空计装入真空泵或者容器，并抽真空一个小时；9、归还产品危险如果真空计被核辐射有毒腐蚀性物质或有害细菌污染，请不要退回真空计。在退回这个真空计的时候，填写声明无有害物质的卡片。联系阿尔卡特高真空技术（上海）有限公司。注意产品没填好安全调查表的话，将被退回寄件人。10、真空计的处理危险根据法律规定处理污染的零件。在处理这个真空计之前，确保是否被污染。如果污染，必需根据法律规定进行处理。 注意根据当地法律将真空计作为工业废料进行处理。
