1、,传感器原理及工程应用,第3章 应变式传感器,1.电阻应变片原理 2.应变片的种类、材料及粘贴 3.金属应变片的主要特性 4.应变片测量电路 5.应变式传感器的应用,本章重点:掌握金属应变片式传感器构成原理及特性,通过对电阻应变片测量桥路的分析,掌握测量电路的结构、形式、特点及相关测量计算。,第3章 应变式传感器 概述:,各种电子秤,广泛应用于,第3章 应变式传感器,概述,第3章 应变式传感器,概述,第3章 应变式传感器,概述,应变式传感器作为测力的主要传感器,测力范围小到肌肉纤维,大到登月火箭,精确度可到 0.010.1%。特点: 结构简单、精度高、测量范围广、体积小、特性好。 是目前测量力
2、、力矩、压力、加速度等物理量应用最广泛的传感器之一。,第3章 应变式传感器,3.1 电阻应变片原理 (1)应变效应,导体和半导体材料在受到外界力(拉力或压力)作用时,产生机械变形,机械变形导致其阻值变化,这种因形变而使其阻值发生变化的现象称为“应变效应”.,下面以金属丝应变片为例,介绍它的应变效应。一根金属丝长度为 L,截面积为A ,电阻率为 其电阻R为:,对 式进行全微分可得: 电阻的相对变化量: 若电阻丝是圆形的则截面积: 对 微分:,3.1 电阻应变片原理 (1)应变效应,上式表示:电阻的相对变化量。它是与电阻率的相对变化量、长度的相对变化量、及半径的相对变化量有关的一个量,它是所有参数
3、变化量的代数和。由材料力学知识可得: (金属丝的轴向应变量) (金属丝的径向应变量) 在弹性范围内,金属丝受拉力时,沿轴向伸长,沿径向缩短。轴向和径向应变的关系可表示为: :金属材料的泊松系数,称为金属丝的应变灵敏系数。其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化,灵敏系数受两个因素的影响,一个是受力后材料几何尺寸的变化( );另一个是,受力后材料的电阻率发生的变化( )。对于确定的材料,( )项是常数,其数值在 12 之间,实验证明 也是个常数。,3.1 电阻应变片原理 (1)应变效应,dR/R=K:表示金属电阻丝在产生应变效应时,应变与电阻变化率是成线性关系。,金属材料:K以前者为主,则k1+
4、2=12 半 导 体:K值主要是由电阻率相对变化所决定,1=110-6 ,应变是表征物体受外力作用时产生相对变形大、小的无量纲物理量。设物体原长为L受力后产生L的形变,相应的应变为。,第3章 应变式传感器,3.1 电阻应变片原理 (2)压阻效应和压阻式传感器,半导体应变片又称压阻式传感器 优点:灵敏度高、耗电少、有正负两种应力效应。 缺点:受温度影响较大。,半导体材料的灵敏系数主要由压阻效应引起的电阻 率的变化;灵敏系数远大于金属应变片的灵敏系数。,对半导体,已知受力引起的电阻变化为:,3.1 电阻应变片原理 (3)应力,用应变片测量应变或应力时, 根据上述特点, 在外力作用下, 被测对象产生
5、微小机械变形, 应变片随着发生相同的变化, 当测得应变片电阻值变化量R时, 便可得到被测对象的应变值。根据应力与应变的关系, 得到应力值为=E 式中 : 试件的应力; 试件的应变; E试件材料的弹性模量。,横截面积为A的物体(金属丝)受到外力F的作用,并处于平衡状态时,物体在单位面积上引起的内力称为应力。则=F/A。,3.1 电阻应变片原理,由此可知, 应力值正比于应变, 而试件应变正比于电阻值的变化, 所以应力正比于电阻值的变化, 这就是利用应变片测量应变的基本原理。,弹性敏感 元件,应变,位移、力、力矩、加速度、压力,金属应变片结构: 敏感栅高阻金属丝、金属箔 基片绝缘材料 盖片保护层,第
6、3章 应变式传感器 3.2 应变片的种类、材料及粘贴,主要有金属电阻应变片和半导体应变片两大类。金属电阻应变片:丝式、箔式两种。丝式应变片如图所示,它是将金属丝按图示形状弯曲后用粘合剂贴在衬底上而成,电阻丝两端有引出线,使用时只要将应变片贴于弹性体上就可构成应变式传感器。,第3章 应变式传感器 3.2 应变片的种类、材料及粘贴,第3章 应变式传感器 3.2 应变片的种类、材料及粘贴,对敏感栅的材料的要求: 应变灵敏系数大,并在所测应变范围内保持为常数; 电阻率高而稳定,以便于制造小栅长的应变片 电阻温度系数要小; 易于焊接,对引线材料的热电势小; 加工性能良好,易于拉制成丝或轧压成箔材;,第3
7、章 应变式传感器 3.2 应变片的种类、材料及粘贴,粘贴剂用于将敏感栅固定于基底上,并将盖片与基底粘贴在一起。使用金属应变片时,也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面某个方向和位置上。以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的基底和敏感栅。 常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常温和中温。常用的有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂,聚酰亚胺等。无机粘结剂用于高温,常用的有磷酸盐、硅酸、硼酸盐等。,(1)应变片的灵敏系数,金属丝做成应变片后电阻应变特性与单根金属丝不同;实验证明,应变片灵敏系数K K0电阻丝灵敏系数,产品的灵敏系数称“标称灵敏系数”。,第3章 应变式传感器 3.3电
8、阻应变片的特性,(2)横向效应.,直线电阻丝绕成敏感栅后,虽然长度相同,但应变不同,园弧部分使灵敏系数K下降,这种现象称为横向效应。,(3).应变计电阻值R应变计在未安装也不受外力的情况下, 于室温时测得的电阻值。这是使用应变计时应知道的一个参数。国内应变计系列习惯上选用60、120、 175、 350、 500、 1000、 1500。,第3章 应变式传感器 3.3电阻应变片的特性,第3章 应变式传感器 3.3电阻应变片的特性,第3章 应变式传感器 3.3电阻应变片的特性,由温度变化而引起应变片电阻的变化为:,(3)应变片的温度误差及补偿,折合成附加应变为:,第3章 应变式传感器 3.3电阻
9、应变片的特性,应变片安装在自由膨胀的试件上,如果环境温 度变化,应变片的电阻也会变化,这种变化叠加在测量结果中称应变片温度误差。应变片温度误差来源有下面几个因素: 0 应变片本身电阻温度系数影响; g S试件材料和敏感栅材料的线膨胀系数不同所产生的影响 因环境温度的变化t 应变片本身的性能参数K0,(3)应变片的温度误差及补偿,(3)应变片温度误差及补偿,温度补偿方法有:电桥线路补偿、自补偿、辅助测量补偿、热敏电阻补偿、计算机补偿等。 线路补偿:,第3章 应变式传感器 3.3电阻应变片的特性,若要实现完全补偿,必须满足以下条件: 1)在应变片工作过程中,保证R3=R2 2)R1和RB具有相同的
10、温度系数、线膨胀系和初始电阻值 3)粘贴补偿片的补偿块和被测试 件材料必须一样,线膨胀系数相同 4)两应变片处于同一温度场,第3章 应变式传感器 3.3电阻应变片的特性,(3)应变片温度误差及补偿,优点:简单、方便,在常温下补偿效果较好 缺点:在温度变化梯度较大的条件下,很难做到工作片与补偿片处于温度完全一致的情况,因而影响补偿效果。,(3)应变片温度误差及补偿,自补偿方法,第3章 应变式传感器 3.3电阻应变片的特性,这种温度补偿法是利用自身具有温度补偿作用的应变片, 称之为温度自补偿应变片。 温度自补偿应变片的工作原理可由t折合成附加应变公式得出, 要实现温度自补偿, 必须满足: 0= -
11、K0(g-s) ,应变片主要性能指标举例,辅助测温元件微型计算机补偿法,第3章 应变式传感器 3.3电阻应变片的特性,(3)应变片温度误差及补偿,基本思想是在传感器内靠近敏感测量元件处安装一个测温元件, 用以检测传感器所在环境的温度。常用的测温元件有半导体热敏电阻以及PN结二极管等等。测温元件的输出经放大及A/D转换送到计算机,第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变片的测量电路.,如某传感器弹性元件在额定载荷下产生应变 1000,应变片的电阻值为120,灵敏度 系数K=2,则电阻的相对变化量为 :,电阻变化率只有0.2%。这样小的电阻变化,用一 般测量电阻的仪表很难直接测出来,必须把电阻的变化
12、转换为电压或电流的变化。完成这个作用的电路称为测量电路,最常用的电路为电桥电路.,1.直流电桥, 直流电桥的平衡条件 负载RL(开路),电桥平衡时U0=0 相对臂阻值乘积相等 相邻臂阻值比相等,第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变片的测量电路, 电压灵敏度:,电阻应变片接入电桥电路通常有以下几种接法:如果电桥一个臂接入应变片,其它三个臂采用固定电 阻,称为单臂工作电桥;如果电桥两个臂接入应变片称为双臂工作电桥,又称为 半桥形式;如果四个臂都接入应变片称为全桥形式。以第一桥臂R1由应变片来代替, 组成的单臂工作电桥为例进行分析。 初始平衡 : 平衡条件:,第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变
13、片的测量电路,不考虑环境温度的影响则有:,当工作应变片R 1 产生一个R1 则 :,第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变片的测量电路,电压灵敏度:,因为 忽略分母中的 ,设桥臂比 并考虑到起始平衡条件,从上面 U0 公式可得下式电桥电压灵敏度定义为:,电桥的灵敏度Ku 正比于供桥电压E。 电桥的灵敏度Ku 是桥臂比的函数。,第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变片的测量电路,电压灵敏度:,当供桥电压E 确定后,由,求得n=1时,Ku为最大。即:在当供桥电压E确定后,当R1= R2、R3= R4 时,电桥的灵敏度最高。,将n=1 代入 公式得: 由上面分析可知:当电源电压和电阻相对变化一定时,
14、电桥的输出电压及灵敏度也是定值,且与各桥臂阻值大小无关。 差动形式的半桥和全桥线路的电压灵敏度: 差动半桥电路使一个应变片受拉、一个应变片受压,则应变符号相反;将这两个应变片接入电桥的相邻臂上,作为电桥的工作臂,另两个桥臂为固定电阻。以等臂桥为例,且初始状态和单臂桥相同。,差动半桥输出电压U0 为: 如果: 则: 由上式可知, U0 与 成线性关系,差动电桥无非线性误差。而且电压灵敏度比使用一只应变片提高 了一倍,同时可以起到温度补偿的作用。,第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变片的测量电路,电压灵敏度:,若将电桥四臂接入四片应变片如 图所示,两个受拉,两个受压,将 两个应变符号相同的接入相
15、对臂上, 则构成全桥差动电路。 若: 则: 电压灵敏度比单臂提高了四倍,比半桥差动电路提高了一倍。,第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变片的测量电路,电压灵敏度:,非线性误差及其补偿方法,设桥路输出电压为 U,0 ,忽略分母中 项的输出 电压为 ,则:则非线性误差为(R1=R2=R3=R4),第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变片的测量电路,对于一般应变片来说,所受的应变经常在 以下。若取灵敏度系数K=2,则: 代入rL式中: rL =0.01/(1+0.01+1)=0.01/2.010.005 即rL =0.5% 如半导体应变片 当承受 时,代入到rL公式,则r L=6% (误差过大).
16、 所以对半导体应变片的测量电路要作特殊处理,才能减小非线性误差。,非线性误差及其补偿方法,为了减小或消除非线性误差可采用下列措施 提高桥臂比:n=R2/R1 n增大 rL 误差减小,但是桥路电压灵敏度下降;为了保证桥路电压灵敏度不下降。可以适当提高供桥电源电压。 采用差动测量, 时,单臂电桥的输出电压与应变成线性关系。 若相邻两桥臂的应变极性一致,即同为拉应变或压应变时,输出电压为两者之差;若相邻两桥臂的应变极性不同,则输出电压为两者之和。 若相对两桥臂应变的极性一致,输出电压为两者之和;反之则为两者之差。,说明:, 电桥供电电压E越高,输出电压U0越大。但是,当E大时,电阻应变片通过的电流也
17、大,若超过电阻应变片所允许通过的最大工作电流,传感器就会出现蠕变和零漂。,第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变片的测量电路,根据直流电桥分析可知, 由于应变电桥输出电压很小, 一般都要加放大器, 而直流放大器易于产生零漂, 因此应变电桥多采用交流电桥。,2.交流电桥,图 为交流电桥, 为交流电压源, 开 路输出电压为 由于供桥电源为交流 电源, 引线分布电容使得二桥臂应变片 呈现复阻抗特性, 即相当于二只应变片 各并联了一个电容, 则每一桥臂上复阻 抗分别为:,第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变片的测量电路,2.交流电桥,交流电桥输出特征方程:,第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变片的
18、测量电路,2.交流电桥,交流电桥的不平衡状态, 单臂交流电桥, 半桥差动电路, 全桥差动电路,第3章 应变式传感器 3.4 电阻应变片的测量电路,交流电桥平衡调节,电阻调平桥路: a)串联法 b)并联法 电容调平桥中; c)差动法 d)阻容法,应变效应的应用十分广泛。它可以测量应变应力、弯矩、扭矩、加速度、位移等物理量。电阻应变片的应用可分为两大类:第一类是将应变片粘贴于某些弹性体上,并将其接到测量转换电路,这样就构成测量各种物理量的专用应变式传感器。应变式传感器中,敏感元件一般为各种弹性体,传感元件就是应变片,测量转换电路一般为桥路;第二类是将应变片贴于被测试件上,然后将其接到应变仪上就可直
19、接从应变仪上读取被测试件的应变量。,第3章 应变式传感器 3.5 应变式传感器的应用,第3章 应变式传感器 3.5 应变式传感器的应用,斜拉桥上的斜拉绳应变测试,材料应变的测量,第3章 应变式传感器 3.5 应变式传感器的应用,2)如果要测量其它物理量,如力、位移、加速度等参数。就需要先将这些物理量转换成应变量,然后再用应变片的工作原理进行测量。比直接测量时多了一个转换过程,完成这种转换的元件通常称为弹性元件。弹性元件将被测物理量转换为成正比变化的应变,再通过应变片转换为电阻变化输出。,弹簧管,第3章 应变式传感器 3.5 应变式传感器的应用,应变式传感器的典型应用见下图。图中所示为加速度传感
20、器,由悬臂梁、质量块、基座组成。测量时,基座固定在振动体上,当被测体振动时,振动加速度使质量块产生惯性力,悬臂梁则相当于惯性系统的“弹簧”,也就是我们前面介绍的弹性元件。应变片是粘贴在悬臂梁上,在惯性力作用下悬臂梁产生弯曲变形。因此,梁的应变在一定的频率范围内与振动体的加速度成正比。,结构如图:它由端部固定并带有惯性质量块的悬臂梁 及粘贴在梁根部的应变片和壳体等组成。梁和质量块 的周围充满 阻尼液(硅油),用以产生必要的阻尼。 是一种惯性式传感器。测量时,根据所测振动体加速度的方向,把传感器固定在被测部位。当被测点的加速度沿图中箭头所示方向时,悬臂梁自由端受惯性力F=ma 的作用.,3.5 应
21、变式传感器的应用 应变式加速度传感器,a,第3章 应变式传感器 3.5 应变式传感器的应用,梁式弹性元件位移传感器,柱(筒)力式传感器,如图:这是圆柱式力传感器的弹性元件(分为实心和空 心两种)。将应变片粘贴在柱状的试件上,在轴向布置 一个或几个 应变片,在圆周方向布置同样数目的应变 片。在力F作用下,在弹性范围内,则应力 与应变成正比关系,其应变为: (材料力学中=F/S)(轴向应变)(横向应变)各种拉力或压力传感器主要是用的柱力 式传感器,如BLR型拉力传感器,它的弹性 敏感元件就采用的是空心圆柱体。,柱(筒)力式传感器,力传感器(测力与秤重),圆柱面展开图,第3章 应变式传感器 3.5
22、应变式传感器的应用,第3章 应变式传感器 3.5 应变式传感器的应用,将物品重量通过悬臂梁转化结 构变形再通过应变片转化为电 量输出。,力传感器(测力与秤重),各 种 形 式 梁,第3章 应变式传感器 3.5 应变式传感器的应用,1)梁力式(等截面梁、等强度梁),第3章 应变式传感器 3.5 应变式传感器的应用,等强度梁: 悬臂梁长度方向的截面积按一定规律变化, 是一种特殊形式的悬臂梁。 当力作用在自由端时,力距作用点任何截面 积上应力相等,应变片的应变大小为:,3.5 应变式传感器的应用 力传感器(测力与秤重),2)双孔梁: 结构如图所示,在板状梁上有两个孔,在梁的 端部有集中力作用时,孔内
23、承受弯曲变形。将 应变片粘贴在孔的内壁,应变片处在相反的应 力区内。,第3章 应变式传感器 3.5 应变式传感器的应用,3)“S”形弹性元件 如图所示:为“S”形弹性元件,也是利用弹性 体的弯曲变形,与双孔梁类似。,第3章 应变式传感器 3.5 应变式传感器的应用,传感器原理及应用,第3章 应变式传感器,本章要点:,应变片金属丝拉长,电阻增加,反之减少。 应变传感器贴在试件上的应变片的电阻变化率与应变成比例。 半导体压力传感器可获得比金属大100倍以上的电阻 变化。 利用应变的传感器重量传感器、压力传感器、粘度 传感器等。 电桥电路平衡条件:R1R4=R2R3;用途:求未知电 阻值,记录电阻变化率、温度补偿; 欧姆定律、基尔霍夫定律:计算电路电压、电流。,电阻式传感器的基本原理,转换电路。 了解不同电阻式传感器的结构、性能、灵敏 度差别; 如何通过电阻式传感器测量力、压力、 应变、加速度等非电量参数; 金属箔式应变片:直流单臂、半桥、全桥比较; 应用测量电路,直流电桥、交流全桥。,