1、晶旺光電（徐州）有限公司真 空 原 理-前段設備8/27,報告人:,高阳,目 录,一、真空简介1.真空的定义2.真空的基本特点3.真空度单位4.真空单位相关知识5.真空区域大致划分及分子运动6.常用压强单位换算表 二、真空帮浦简介1.帮浦的定义2.帮浦的分类3.旋片帮浦的特点4.罗茨帮浦的特点 三、真空测量方法1.真空测量方法2.薄膜电容规3.皮拉尼真空计,一、真 空 简 介,1.真空的定义所谓“真空”就是指在特定的空间内一特定空间内部之部份物质被排出，使其压强小于一个标准大气压(101325帕斯卡) ，则我们通称此空间为真空或真空,真 空,一、真 空 简 介,2.真空的基本特点在真空中，气体
2、分子密度低，在某些情况下，真空可以近似地看作没有气体“污染”的空间。真空中，气体分子或带电粒子的平均自由程为：,其中为分子直径，p为压强，T为气体温度，k为玻耳兹曼常数。,一、真 空 简 介,3.真空度单位在真空技术中除国际单位制的压力单位 Pa外，常以托（Torr）（作为真空度的单位。1托等于1毫米高的汞柱所产生的压力，即1Torr133Pa按气体压力大小的同，通常把 真空范围划分为：低真空 、中真空、高真空、超高真空、极高真空。,外太空堪称最接近真空的空间,一、真 空 简 介,4.真空单位相关知识,一、真 空 简 介,5.真空区域大致划分及分子运动,一、真 空 简 介,6.常用压强单位换算
3、表,1 pa 1N/m2 1 atm105 Pa760 Torr 1 Torr1 mmHg133 Pa 1 mbar100 Pa,二、真 空 帮 浦 简 介,1.帮浦的定义,去除特定空间内的气体，以减低气体分子的数目，形成某种程度真空状态的装置。,二、真 空 帮 浦 简 介,2.真空系统,真空系统主要由机械帮浦、罗茨帮浦（或其他类型之帮浦）及一系列的真空检知器、真空阀构成，其主要功能即抽去大室中的杂质气体，为大室提供高真空环境。,二、真 空 帮 浦 简 介,3.旋片帮浦的特点体积小、重量轻、噪音低； 设有气镇阀，可抽除少量水蒸气；在环境温度五摄氏度到四十摄氏度范围内，进气口压强小于1.3X10
4、3帕的条件下允许长期连续运转，被抽气体相对湿度大于百分之九十时，应开气镇阀。 设有自动防返油止回阀，启动方便； 进气口连续畅通大气运转不得超过一分种； 不适用于抽除对金属有腐蚀的，对泵油起化学反应的，含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高的，有爆炸性的，有毒的气体。,二、真 空 帮 浦 简 介,4.罗茨帮浦的特点 在较宽的压强范围内有较大的抽速； 起动快，能立即工作； 对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； 转子不必润滑，泵腔内无油； 振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀； 驱动功率小，机械摩擦损失小； 结构紧凑，占地面积小； 运转维护费用低。,罗茨帮浦的工作原理,三、真空测量方法,1.真空测量方
5、法,测量低于大气压的气体压强的工具称为真空计。真空计可以直接测量气体的压强，也可以通过与压强有关的物理量来间接地测量压强。前者称为绝对真空计，后者称为相对真空计。按照真空计的不同原理与结构可以分为：静态变形真空计、压缩式真空计、热传导真空计、电离真空计、气体放电真空计、辐射真空计等。,三、真空测量方法,2.薄膜电容规如右图所示，在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。 这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。 这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用，以消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前一般需要预热数小时。,金属或三氧化铝制的隔膜(由于气压p的),三、真空测量方法,3.皮拉尼真空计电阻真空计又称皮拉尼真空计，它由测量规管和测量电路两部分组成，测量规管结构原理。热丝是用电阻温度系数大的材料如钨、镍、铂等金属或半导体热敏电阻等制成，它 们对温度的变化反应灵敏。工作时，热丝的加热电流保持恒定。被测真空系统内压强(真空 度)发生变化时，规管内气体热传导也会发生变化，导致热丝温度变化，相应地热丝的电 阻值就会发生变化。通过测量热丝电阻变化，即可测出真空系统内的压强(真空度)。,谢谢！,
