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类型膜层折射率&膜厚计算.doc

  • 上传人:hskm5268
  • 文档编号:7744141
  • 上传时间:2019-05-25
  • 格式:DOC
  • 页数:4
  • 大小:48.50KB
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    膜层折射率&膜厚计算.doc
    资源描述:

    膜 層 特 性鍍膜的光學厚度為 波長(簡稱 QWOT ) 或 波長(簡稱 HWOT )的整數倍時,特徵矩陣 將簡化許多,並且在實際設計上也常常應用,因此,鍍膜符號通常是以 或 波長表示膜層厚度,例如簡寫 H、M、L 的鍍膜係指膜厚 波長的高、中、低折射率膜層;同理,HH ,2H,H 2MM ,2M,M 2LL ,2L,L 2則分別代表膜厚 波長的高、中、低折射率膜層例如,光從空氣 n0 = 1 垂直入射於基板 ns = 1.52 的鍍膜系統,若膜層採用 QWOT 方式,即此時 特徵矩陣 為由上式計算 導納 :舉例 一鍍膜狀況: ,n L = 1.38, = 0導納:反射率: 可是單層低折射率鍍膜,在設計波長時具有降低反射率的效果,因為未鍍膜的基板反射率為舉例 二鍍膜狀況: ,n H = 2.35, = 0導納: 反射率:可是單層高折射率鍍膜的導納值更遠離 1,致反射率不降反升。HWOT若膜層採用 HWOT 方式,即此時 特徵矩陣 為由上式計算 導納 :因此,不管此單層膜是低折射率或高折射率材料,反射率均與基板反射率相同,即 顯見基板鍍上半波長單層膜,在設計波長時,其效果如同未鍍膜一般,故稱 無效層

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