1、FOSB-AFOSB-BFOUPFOUP: Front Openning Unified Pod。用于 12“圆片在车间的运输，以及在标准 12“设备上实现圆片上下料。目前， JCAP可以使用 FOUP自动上下料的设备有 12“溅射机台、 12“涂胶机台、 12“曝光机台、 12“电镀机台、 12“自动检验机台。CassetteCassette: 用于单片显影，单片腐蚀， SCRUB清洗机工序。Wafer jardWafer jard:用于运输或长时间存放 12“圆片的盒子。一般是圆片厂用于将加工后的圆片运到下游生产厂家。步骤 操作内容 注意事项1. 手动搬运 : 双手扶住 FOSB，轻拿轻放
2、。图 示FOSB: Front Openning Shipping Box。用于运输或长时间存放 12“圆片的盒子。一般是圆片厂用于将加工后的圆片运到下游生产厂家。12寸圆片操作规范开启 FOSB-B1. 将 FOSB平稳地放置在工作台上，保持圆片呈竖直状态。2. 双手大拇指分别放在片架上方两侧，四指握住侧面锁扣底部，四指用力向外打开 .3. 双手同时缓慢向上提，开启 FOSB上盖。4. 将 FOSB上盖反过来，外表面朝下放在工作台上。圆片放入FOSB1.右手大拇指，食指，中指在圆片无效区域轻轻拿起圆片，同时左手托住圆片下端，圆片呈竖直状态，缓慢放入 FOSB装置中。将 FOSB正确放置在工作
3、台面上，（如左图所示）将圆片背面正对着 FOSB底部的白色塑料垫片。2. 圆片放入 FOSB过程中，右手拿住无效区域，左手托住圆片底面，在向下移动过程中，左手慢慢顺时针方向移动，待即将进入槽内，慢慢移去左手，待圆片全部进入内槽后方可移开右手。开启 FOSB-A1. 将 FOSB平稳地放置在工作台上，保持圆片呈竖直状态。2. 操作员双手对角打开 FOSB的盖沿，两只手的大拇指分别摁下盖沿上的弹片，其余四指轻轻提起盖沿，先把此对角处的锁松开，接着再用同样的方法开启余下的两个对角处的盖沿。3. 双手同时缓慢向上提，开启 FOSB上盖。4. 将 FOSB上盖反过来，外表面朝下放在工作台上。FOSB搬运
4、 FOSB 2. 手推车搬运：将 FOSB轻轻放到手推车上，确定轮子是否锁住，将手推车推到下个工序后，将 FOSB拿出。从 FOSB取圆片1. 右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢向上竖直上提圆片。2. 当圆片中心线高过 FOSB的槽位时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托位圆片的侧面边缘，同时右手继续上提圆片。3. 圆片上提过程中，左手不断沿圆片侧面边缘向右移动，直至圆片完全高过 FOSB，左手的食指、中指和无名指完全托住圆片底部，右手的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，圆片呈竖直状态。搬运 FOUP1. 保持圆片呈水平状态，顺着把手方向双手扶住
5、FOUP把手，轻拿轻放。开启 FOUP1.将 FOUP平稳地放置在工作台上，保持圆片呈水平状态。2. 左右手各拿一把 FOUP钥匙，分别插入 FOUP前盖的锁孔内。3. 两只手同时顺时针旋转 FOUP钥匙，当时到轻脆的 “咔”的声音，双手同时向身体内侧平行移动 FOUP前盖，开启 FOUP前盖。4. 将 FOUP前盖的外表面朝下水平放在工作台上。3. 在此过程中，注意放入正确槽位，确认没有插错，圆片隔槽放置。1. 从工作台上拿起盖子，首先确认盖子方向，检查盖子上的槽位号和 FOSB底部槽位号一致。2. 双手抓住盖子边上的白色把手，大拇指用力向下压把手的片环，待其扣入 FOSB的卡槽后，然后再用
6、四指向下压，听到 “啪 ”的声音后，表示已经关好上盖。1.将平放的 FOUP竖直放置。2. 右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢竖直向上移提起圆片。关闭 FOSB-A上盖1. 从工作台上拿起盖子，首先确认盖子方向，检查盖子上的 TOP标记和 FOSB上的 TOP标记，要保证在同一方向（如左图中的在 FOSB装置上的 TOP标记 ）。2. 先在对角方向上，轻轻用双手大拇指摁住白色的弹片，其余四指扶住盖沿边缘，待其卡入 FOSB的卡槽内后，不要摁下只需要轻轻放到准确位置，再在余下的对角上摁下白色弹片，将其卡入卡槽。3. 最后再把之前的两个对角弹片摁下。关闭 F
7、OSB-B上盖1.将 FOUP水平放置，保证圆片水平 .2. 右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢水平向外移动拖出圆片。3. 当圆片边缘超出其它圆片边缘时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托位圆片的背面边缘，同时右手继续缓慢水平向外移动拖出圆片。4. 圆片向外拖出过程中，左手不断沿圆片背面边缘向右移动，直至圆片完全离开 FOUP，左右手的大拇指、食指和中指分别捏住圆片两边边缘的无效区域，圆片保持水平状态。PS: 用于正胶涂胶工序关闭 FOUP前盖1. 从工作台上拿起盖子，双手分别拿住盖子上的左右两把钥匙，确认盖子方向后再放在 FOUP前面（保证盖子上的 UP
8、标记和 FOUP上的 UP标记方向一致，如左图中的在 FOUP装置上的 UP标记），将盖子顶部先接触到 FOUP内部的上方，然后再将盖子推入到 FOUP中。2. 逆时针方向旋转，当听到轻脆的 “咔 ”的声音，表示已经关上前盖，拿出钥匙。开启 Cassette1. 将整个专用片架盒面对自己身体，保持圆片垂直，双手扶住专用片架盒的左右两侧边缘，大拇指向下压，食指中指用力往外拨，将外盖打开。2. 将盖子反放到工作台上。从 Cassette取专用片架1. 左手在专用片架远端，右手在近端，将专用片架端出专用盒子，并将其竖直放在工作台上 .圆片放入FOUP1.右手大拇指，食指，中指捏住其无效区域，轻轻拿起
9、圆片，同时左手拖住圆片下端，圆片呈竖直状态。2. 将 FOUP放在工作台面上，顶部黑色塑料装置远离自己身体，将圆片正面正对着 FOUP的顶部。3. 圆片放入 FOUP过程中，右手拿住圆片无效区域，左手拖住圆片底面，待即将进入槽内，慢慢移去左手，慢慢的放下右手，待圆片全部进入内槽后方可移开右手。4. 注意放入正确槽位，确认没有插错，每隔一个槽位放置圆片。3. 当圆片边缘超出其它圆片边缘时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托位圆片的背面边缘，同时右手继续缓慢竖直向上移提起圆片。4. 圆片上提过程中，左手不断沿圆片背面边缘向右移动，直至圆片完全离开 FOUP，左手的食指、中指和无名指完全托住圆片底部，
10、右手的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，圆片呈竖直状态。FOUP从 FOUP取圆片专用片架放入 Cassette1. 将工作台上的专用片架抬起，放入到专用片架盒子内，保持左手在专用片架远端，右手在近端。关闭 Cassette1. 双手拿起在工作台面上的片架盒盖子。2. 双手分别将左右两端的卡扣扣入盒子上突出的定位装置中。圆片放入1.右手大拇指，食指，中指在圆片无效区域轻轻拿起圆片，同时左手托住圆片下端，圆片呈竖直状态，缓慢放入特氟隆片架中。2. 圆片放入特氟隆片架过程中，右手拿住无效区域，左手托住圆片底面，在向下移动过程中，左手慢慢顺时针方向移动，待即将进入槽内，慢慢移去左手，待圆片全
11、部进入内槽后方可移开右手。3. 在此过程中，注意放入正确槽位，确认没有插错。取出圆片1. 右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢向上竖直上提圆片。2. 当圆片中心线高过特氟隆片架的槽位时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托住圆片的侧面边缘，同时右手继续上提圆片。3. 圆片上提过程中，左手不断沿圆片侧面边缘向右移动，直至圆片完全高过特氟隆片架，左手的食指、中指和无名指完全托住圆片底部，右手的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，圆片呈竖直状态。圆片从单片显影机、单片腐蚀机、Scrubber专用片架中取出1. 右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住
12、圆片边缘的无效区域，缓慢向上竖直上提圆片。2. 当圆片中心线高过专用片架的槽位时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托位圆片的侧面边缘，同时右手继续上提圆片。3. 圆片上提过程中，左手不断沿圆片侧面边缘向右移动，直至圆片完全高过专用片架，左手的食指、中指和无名指完全托住圆片底部，右手的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，圆片呈竖直状态。圆片放入单片显影机、单片腐蚀机、 Scrubber专用片架1.右手大拇指，食指，中指捏住其无效区域，轻轻拿起圆片，同时左手拖住圆片下端，圆片呈竖直状态。2.圆片放入专用片架过程中，右手拿住圆片无效区域，左手拖住圆片底面，待即将进入槽内，慢慢移去左手，慢慢的放下
13、右手，待圆片全部进入内槽后方可移开右手。3.注意放入正确槽位，确认没有插错。Cassette显微镜准备1. 把显微镜的台面拉到最左下角，等待圆片进入。注： 12“圆片不可使用带自动手臂的 6“/8“显微镜，只可以使用手动的显微镜。放入SRD1.打开甩干机的门，正确选择特氟隆片架的方向，将特氟隆片架底部的白色凸起对准甩干机内部甩干桶上的凸起装置。2.双手捧起特氟隆片架，拿住特氟隆片架两边底座，慢慢放入甩干桶内。3.关闭甩干机的门，选择正确生产程序开始。1. 将入料装置上的锁紧装置解锁，用食指往上拨动卡扣。2. 双手将专用片架取下上料装置。3. 双手将专用片架装入到专用片架盒装置内。1. 将专用片
14、架双手端起放到机台的上料装置上。2. 用大拇指向下摁下压紧卡扣，将专用片架锁住。单片显影机、单片腐蚀机、Scrubber专用片架下机台单片显影机、单片腐蚀机、Scrubber专用片架特氟隆片架单片显影机、单片腐蚀机、Scrubber专用片架上机台显微镜恢复1. 待圆片取出后，显微镜工作台在最左下角。2. 将工作台面移动到设备初始位置。圆片放到显微镜平台上1. 双手大拇指、食指、中指分别捏住圆片两边边缘无效区域，保持圆片左右水平。2. 双手缓慢靠近显微镜平台，让圆片靠身体外侧的边缘先接触平台。3. 双手从左到右缓慢顺着平台高度轻推圆片。4. 圆片超过 1/4直径区域接触平台后，右手从圆片右侧边缘
15、移动圆片后侧边缘，大拇指、食指、中指捏住圆片边缘；右手离开，左手轻推圆片，使圆片全部放到平台上。从显微镜平台上取圆片1. 首先将检查好的圆片移开检查区域，往人身体的左下角方向移动，一直移动到设备的左下角位置。2. 然后双手大拇指，食指，中指轻轻扶住圆片，将圆片缓缓移动直到离开测量平台。烘烤显微镜溅射烘烤1. 将圆片顺着石英舟底部凹槽正确插入，片子隔槽放置，注意不要插斜。2. 将烘箱打开后，双手扶住石英舟后缓缓放入。（见左图的 125度烘箱和 200度烘箱）3. 关上烘箱门，启动计时器，开始计时。固化1. 将固化前的片子放到石英舟上，仔细检查，不能插错槽位。2. 双手端起石英舟，缓缓放入烘箱。1
16、.打开 Descum机台门，双手将阳极板（或者浮动板）拿起。2.取出后放在工作台面上的顶针板上，待四周顶针将其顶起，然后双手拿起圆片边缘无效区域，再将片子放入专用盒子内。注： 1.圆片在任一片架中均不可用手拔动圆片使其旋转。2.看片号时，须取出圆片查片，不可在片架中看片号。涂胶烘烤1.打开烘箱门，先把 Teflon片架放入烘箱内。2.双手拿住涂好胶的片子并保持水平。3.将其放入烘箱内的片架上。4.关闭烘箱门，开启程序进行烘烤过程。5.等到烘烤完毕后，先在工作台上放上一个 Teflon片架，再从烘箱内将片子取出，放到片架盒上，开始冷却。上料1. 打开 Descum机台门 , 将顶针板放到工作台面上，阳极板（或者浮动板）放到顶针板上。2. 双手从片架盒中取出圆片，轻轻放到阳极板（或者浮动板），注意下方顶针，要将圆片放到顶针上，保证最外侧四个顶针在圆片外。3. 双手将阳极板（或者浮动板）拿起，将其插入正确位置 .然后用万用表检查其导通性能，使电阻最小，关闭Descum机台门。下料等离子刻蚀
