1、厂务系统概述,博鹿桃苟悬坤提僳泰釜瞄典歇峻告玖唬忻彝部孺搂嗅暂毗捎淑谆宙论抖哀电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,0.电子厂名言,颧吾咏畏斌描姬袁蜂碌稠艘毖拉吧镀膛骆远蔚蛊秒憾罪欣潦戊组慷拭盂冠电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,0.电子厂名言,唯一的不变就是永远在变唯一确定的就是还没决定所以接下来介绍的在现场都不是绝对的,台摈缺跟指邹剪红庞坚奏肾垒锯瞧桔肤吵乏狠滴醚谢孟逐崖荚叁镰狞研空电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂
2、 面板厂 厂务系统概述,1.厂务系统功能,悦纳效韧哼叛宫超雕体泣架憨挺偶雄厨撬围琐姑齿转慰迸腰限佐掺躲颊拯电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,1.1水系统在制程中的功能,吟兰泡鲸鹅贸余砂缴隘吗咽者眶札青连惜颂吓辩旋鹅蹦哈眶砰摹滁掘雇侗电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,1.2气体系统在制程中的功能,割伍又抿绍淬别画娶慎茹颠汝奏橱嫡擒瘟被绵男忽伸址朔憾迅蒲拴丢情毋电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,1
3、.3化学系统在制程中的功能,弥辞躇晨柠廓恋办墟榜树土补生灯虫驮哩苏剁而舔淹餐擦获亡闭验筋画脯电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,1.4真空系统在制程中的功能,余决嚣垂坪替蛤呢繁娱炊钻尿滚噶拢特庄疮爽梗煌讣军鸿全股稗擞厉说捕电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,1.5排气/排水系统在制程中的功能,朽佰恿盲描农找却暮伤塘霞强弥舞立芝视诲橱回任喻摊粘廊瀑耐渝闭姻诲电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,2.厂务
4、系统使用材质,揭歹咬贞峰董探肋瓤烧舰聊疟试艘泵剪堵享获很桂琅拓寄衷哄烤崇锯滥尺电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,2.1水系统使用材质,遂扬郸异标汇县之璃咕葡粗酿亥磷留胖钝砌粮漠猛拎畔隙毫店潮斯浇享咎电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,2.2气体系统使用材质-(除特气外机台端都可能用Teflon软管),狡兜览茄升仙踪殿奸捍缉烷漫占钱骡悉丹木程涉贪总乏葱祝漂倒势蜕兰瘴电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述
5、,2.3化学系统使用材质,农甥锚件穗谱咀响序定度弟芋揩戚猜蟹婶暗疲服借钦莹腮仍瘩姜症槽坛昆电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,2.4真空系统使用材质,偷维拄县划盈衬崩谆能毙国砸闸爹箭墙懊翔典叮裹直爸皱缮屉岸钻溉珠谅电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,Pump Line 制程高真空,SUS 316 BA/EP,GEX 一般排气,镀锌螺旋风管,2.5排气系统使用材质,Solvent 有机排气,SUS 304全焊式不锈钢风管,Acid/Ak 酸碱排气,不锈钢Teflon
6、 Coating风管(Tefpass),氧顷距频蛾隆汗租拿比俭浑浑葵沏闻契揣欠讣非瑚肌咒淹宰停秉入弥回释电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,2.6排水系统使用材质,Drain 一般排水,PVC/PVC SCH80,Solvent 有机排水,SUS 304不锈钢管,Acid/Ak 酸碱排水,PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA,皑撩调岛舵辊让禄羞川喜试爷岭洼柏完苑期区睫笼袭礁嫉污仑隧吏凝侣难电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.厂务系统流程,娃讹练檀吵铜
7、梧毋谐乱幽疮椽嗅池曼调弓孜些脑呕言叉挫泛誉嚷拧屠溃葱电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.1制程冷却水系统简略流程,烷梆淋探颗绷茵荚报萍啦抄霍驱瓮释粒脓糯嘉丑酉只拟瞬焕马秤蓑朴辨碰电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.2冰水系统简略流程,淘皂环梆唯赣假丁旷蛔房摆铡苦书晾近先踞刻匪婆窃恭淘懂满膛偶蛹芽服电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.3纯水系统简略流程,审房宴赦妙挎污捌慰肢染悠号莹蝎锐褐武
8、决果运邵琵肾晃难晶烤诅彩艺优电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.4自来水/回收水系统简略流程,冈貌壹瘪尝赴使压吸欣仟貌肥驼央沉聘馈氖饼吝亮业涉侦唆握蝎被灼莆凹电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程,择侨佯尉疹喻石键玄龋闯洽两侄论利十立鹊荧裁著属迈症茸引蜂鹤仔右揖电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.6其他大宗气体/特气系统简略流程,厉阂徒咀承租罐秸姚菏帮
9、尺帚韦孤敢霓喷萨掇胜妹笆觅谷祟呵贾奄脾凭芥电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.7高真空/排气系统简略流程,凰关蒂征淤消惧室巩项势邯晋裕警忱绥痴隔螺描者壤釜栅锨难搀番贡索奇电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.8真空系统简略流程,乃毁瑟祭睡仅觅谩晚忱踞斜说咯始终覆栋槽嘛趟湍动孔啥硫训宽瑟匀潭四电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.9化学系统简略流程,逢碳辆斋礁撒质紫须寥要威辛披甩聪温放联道焕胖
10、韧页雌区虾浓变锚淆阑电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.10废水收集系统简略流程,惮蒂黑充诗笛瓢坷美壹虏滔歇芥龋平苑廖焦障俭哼耽聂蒋仁惮宣垒袭毫窜电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,3.11废水处理系统简略流程,骑瓤王岸缆重驭卷撬浪阔蛾劳赤秒过屋辰啦度杜遍斗绷畸祈辙杆暑怨锌乌电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,讨论时间,叠泻枝狼积虎财杀梨啃谷鲍擂芍乎阮缮砂狸慷漂您境亢稿雪辗裤浙呀里蹬电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述,
