1、 21.07.2017 09:40 A-311 带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪 高性能,紧凑型XY纳米定位系统 PIglide 参考级XY定位系统 带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计,可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限,能够节省机械空间。 PIMag磁力直接驱动 三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不
2、会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。 利用来自领先制造商的数字控制器,操作可提供高级控制算法,以改善动态性和误差补偿。 附件和可选配件 编码器 PIglide过滤器和空气预处理器 多轴运动控制器和伺服驱动器 机器底座 花岗岩底座板和隔振系统 应用领域 PIglide 定位系统特别适合高精度应用,例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 行程达200 毫米 200 毫米 负载容量达147 牛 低外形 分辨率达1纳米 21.07.2017 09:40 规格 A-311.Dxx A-311.Axx A-311.Bxx
3、A-311.Cxx 单位 公差 运动和定位 行程 50 50 100 100 150 150 200 200 毫米 螺距* 20 30 40 50 微弧度 最大 偏转角* 5 10 15 20 微弧度 最大 直线度* 0.25 0.25 0.5 0.5 微米 最大 每10毫米行程的直线度* 10 10 10 10 纳米 最大 平面度* 0.5 0.5 1 1 微米 最大 每10毫米行程的平面度* 10 10 10 10 纳米 最大 XY正交性 25 25 25 25 微弧度 最大 速度,空载* 2 2 2 2 米/秒 最大 上轴加速度,空载* 27.5 27.5 27.5 27.5 米/平方秒
4、 最大 下轴加速度,空载* 15 13 11 10 米/平方秒 最大 机械特性 Z向负载能力* 147 147 147 147 牛 最大 移动质量,上轴 3 3 3 3 千克 移动质量,下轴 5.5 6.5 7.5 8.5 千克 总质量 14.5 18.5 22.5 27.5 千克 导向类型 空气轴承 空气轴承 空气轴承 空气轴承 驱动特性 驱动类型 线性电机,无铁芯,三相 线性电机,无铁芯,三相 线性电机,无铁芯,三相 线性电机,无铁芯,三相 中间电路电压,有效 48,标称值 80,最大值 48,标称值 80,最大值 48,标称值 80,最大值 48,标称值 80,最大值 伏直流电 峰值力
5、85 85 85 85 牛 典型值 标称力 39 39 39 39 牛 典型值 有效力常数 12.3 12.3 12.3 12.3 牛/安 典型值 相间电阻 3.6 3.6 3.6 3.6 欧姆 相间电感 1.24 1.24 1.24 1.24 毫亨 相间反电动势 10.1 10.1 10.1 10.1 伏秒/米 最大 布线 外部,可移动牵引链 外部,可移动牵引链 外部,可移动牵引链 外部,可移动牵引链 21.07.2017 09:40 A-311.xAx A-311.xBx A-311.xCx 集成传感器 增量线性编码器 绝对编码器 增量线性编码器 传感器信号 正弦/余弦,1伏峰峰, 20微
6、米信号周期 BiSS-C A/B正交,TTL 传感器分辨率 取决于控制器 1纳米 50纳米 双向重复性 取决于控制器 0.05微米 0.05微米 准确性,未补偿#A-311.Dxx: 1微米 A-311.Axx: 1.5微米 A-311.Bxx: 2微米 A-311.Cxx: 2.5微米 A-311.Axx: 1.5微米 A-311.Axx: 1.5微米 A-311.Axx: 1.5微米 A-311.Axx: 1.5微米 A-311.Dxx: 1微米 A-311.Axx: 1.5微米 A-311.Bxx: 2微米 A-311.Cxx: 2.5微米 准确性,带误差补偿#0.5微米 0.5微米 0
7、.5微米 A-311 工作压力#60至70磅 /平方英寸(415至485千帕) 耗气量 2 SCFM (56 SLPM) 空气质量 清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573-1 级别1 无油 - ISO 8573-1 级别1 干燥(-15C露点) - ISO 8573-1 级别3 材料 硬膜铝,带不锈钢紧固件 *取决于平台安装表面的平面度。 *可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。 *假定有效载荷重心位于平台上方50毫米范围以内的中央。平台仅设计用于水平操作。 #通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。 #为防止平台损坏,建议将空气压力
8、传感器连接到控制器运动停止输入端。 如未有其他规定,所有规格逐轴应用。 21.07.2017 09:40 图纸和图片 A-311.xxx,尺寸单位为毫米 21.07.2017 09:40 订购信息 50毫米 50毫米行程 A-311.DA1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为50毫米 50毫米, 带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期,三相线性电机,48伏 A-311.DB1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为50毫米 50毫米, 绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏 A-311.DC1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为5
9、0毫米 50毫米, 带A/B正交信号传输的线性编码器,50纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏 100毫米 100毫米行程 A-311.AA1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为100毫米 100毫米, 带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期,三相线性电机,48伏 A-311.AB1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为100毫米 100毫米, 绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏 A-311.AC1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为100毫米 100毫米, 带A/B正交信号传输的线性编码器,50纳米传感器分辨率,三相线性
10、电机,48伏 150毫米 150毫米行程 A-311.BA1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为150毫米 150毫米, 带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期,三相线性电机,48伏 A-311.BB1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为150毫米 150毫米, 绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏 A-311.BC1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为150毫米 150毫米, 带A/B正交信号传输的线性编码器,50纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏 200毫米 200毫米行程 A-311.CA1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为200毫米 200毫米, 带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期,三相线性电机,48伏 A-311.CB1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为200毫米 200毫米, 绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏 A-311.CC1 PIglide IS平面扫描仪,空气轴承,行程为200毫米 200毫米, 带A/B正交信号传输的线性编码器,50纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏