1、 晶体硅太阳能电池生产工艺流程图硅片装盒 超声波清洗 去除硅片损伤层形成绒面（制绒）硅片甩干 扩散 刻蚀去 PSG 硅片甩干 PECVD 印刷背面电极烘干 应刷铝背场烘干 印刷正面电极烧结 测试 包装形成绒面降低反射率磷扩散形成P-N 结去除边缘P-N 结防止上下短路清洗扩散后硅片表面的磷硅玻璃沉积 SIN薄膜减少反射率形成良好的欧姆接触特性和焊接性能收集载流子收集载流子 金属和硅形成良好的欧姆接触，趋驶成合金电池片工艺流程说明： (1)清洗、制绒：首先用化学碱（或酸）腐蚀硅片，以去除硅片表面机械损伤层，并进行硅片表面织构化，形成金字塔结构的绒面从而减少光反射。现在常用的硅片的厚度在 180m
2、左右。去除硅片表面损伤层是太阳能电池制造的第一道常规工序。 (2)甩干：清洗后的硅片使用离心甩干机进行甩干。 (3)扩散、刻蚀：多数厂家都选用 P 型硅片来制作太阳能电池，一般用 POCl3 液态源作为扩散源。扩散设备可用横向石英管或链式扩散炉,进行磷扩散形成 P-N 结。扩散的最高温度可达到 850-900。这种方法制出的 PN 结均匀性好，方块电阻的不均匀性小于 10，少子寿命大于 10 微秒。扩散过程遵从如下反应式： 4POCl33O2（过量） 2P2O52Cl2 （气）2P2O55Si 5SiO2 + 4P 腐蚀磷硅玻璃和等离子刻蚀边缘电流通路，用化学方法除去扩散生成的副产物。SiO2
3、 与 HF 生成可溶于水的 SiF62-，从而使硅表面的磷硅玻璃（掺 P2O5 的 SiO2） 溶解，化学反应为： SiO2 6HF H2（SiF6） 2H2O (4)减反射膜沉积：采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 积一层氮化硅减反射膜，不仅可以减少光的反射，而且由于在制备 SiNx 减反射膜过程中有大量的氢原子进入，因此也起到了很好的表面钝化和体钝化的效果。这是因为对于具有大量晶界的多晶硅材料而言，晶界的悬挂键被饱和，降低了复合中心的原因。由于表面钝化和体钝化作用明显，就可以降低对制作太阳能电池
4、材料的要求。由于增强了对光的吸收，氢原子对太阳能电池起到很好的表面和体内钝化作用，从而提高了电池的短路电流和开路电压。 (5)印刷、烧结：为了从电池上获取电流，一般在电池的正、背两面制作电极。正面栅网电极的形式和厚度要求一方面要有高的透过率，另一方面要保证栅网电极有一个尽可能低的接触电阻。背面做成 BSF 结构，以减小表面电子复合，印刷后要进行高温烧结。 (6)检测分选：为了保证产品质量的一致性，通常要对每个电池片测试，并按电流和功率大小进行分类，也可根据电池效率进行分级。 (7)包装入库：将分选好的电池片一部分可以进行包装，入库，准备外卖；其他的准备进入积一层氮化硅减反射膜，不仅可以减少光的
5、反射，而且由于在制备 SiNx 减反射膜过程中有大量的氢原子进入，因此也起到了很好的表面钝化和体钝化的效果。这是因为对于具有大量晶界的多晶硅材料而言，晶界的悬挂键被饱和，降低了复合中心的原因。由于表面钝化和体钝化作用明显，就可以降低对制作太阳能电池材料的要求。由于增强了对光的吸收，氢原子对太阳能电池起到很好的表面和体内钝化作用，从而提高了电池的短路电流和开路电压。 (5)印刷、烧结：为了从电池上获取电流，一般在电池的正、背两面制作电极。正面栅网电极的形式和厚度要求一方面要有高的透过率，另一方面要保证栅网电极有一个尽可能低的接触电阻。背面做成 BSF 结构，以减小表面电子复合，印刷后要进行高温烧
6、结。 (6)检测分选：为了保证产品质量的一致性，通常要对每个电池片测试，并按电流和功率大小进行分类，也可根据电池效率进行分级。 (7)包装入库：将分选好的电池片一部分可以进行包装，入库，准备外卖；其他的准备进入电池组件生产工序待用。电池组件生产工序待用。晶体硅太阳能电池组件流程图电池片分选 电池片焊接 电池串焊接玻璃清洗 TPT,EVA 裁剪电池板铺设 待压组件初测试层压 裁边逆电流测试 封装 固化 清洗 测试，贴标 包装入库电池组件工艺流程说明： (1)电池分选：由于采用自产电池片，电性能测试在电池片工艺流程中已经完成，该步骤主要对电池片的色差、崩边、陷裂、缺角等外观不良进行筛选。 (2)正
7、面焊接：是将汇流带焊接到电池正面（负极）的主栅线上，汇流带为镀锡的铜带，我们使用的焊接机可以将焊带以多点的形式点焊在主栅线上。焊接采用热风或红外焊接方式。焊带的长度约为电池边长的 2 倍。多出的焊带在背面焊接时与后面的电池片的背面电极相连。 (3)背面串接：背面焊接是将多片电池串接在一起形成一个组件串。 (4)层压敷设：背面串接完成且经过检验合格后，将组件串、玻璃和切割好的 EVA、背板按照一定的层次敷设好，准备层压。敷设时保证各层之间的相对位置，调整好电池串间的距离，为层压打好基础。 （敷设层次：由下向上：玻璃、EVA、电池、EVA 、背板） 。 (5)组件层压：将敷设好的电池放入层压机内，
8、通过抽真空将组件内的空气抽出，然后加热使 EVA 熔化,将电池、玻璃和背板粘接在一起 ,最后取出组件。层压工艺是组件生产的关键一步，层压温度、层压时间根据 EVA 的性质决定。 (6)修边：层压时 EVA 熔化后由于压力而向外延伸固化形成毛边，所以层压完毕后应将其切除。 (7)逆电流测试：利用稳压电源在太阳能电池上外加正偏压或负偏压，然后观测红外热像图，判定电池片有无隐裂、虚焊等缺陷。 (8)装框：类似于给玻璃装一个镜框。给玻璃组件装铝框，增加组件的强度，进一步密封电池组件，以延长电池的使用寿命。边框和玻璃组件的缝隙用硅酮树脂填充，各边框间用角键连接。 (9) 焊接接线盒：在组件背面引线处焊接一个盒子，以利于电池与其他设备或电池间的连接。 (10)高压测试：高压测试是指在组件边框和电极引线间施加一定的电压，测试组件的耐压性和绝缘强度，以保证组件在恶劣的自然条件（雷击等）下不被损坏。 (11)组件测试：测试的目的是对电池的输出功率进行标定，测试其输出特性，确定组件的质量等级。 (12)包装入库：将电池片组件进行包装、入库。
