1、西安方元明科技发展有限公司Xian Fang Yuan ming Science and Technology Development Co.，Ltd FYC-M21 系列超高温加速度计说明书一 、简介FYC-M21 系列加速度计由我司自行研制，用于测量加速度的传感器。它采用进口高精度 MEMS-IC 芯片，具有 BIMOS 信号限制电路。设计考虑多用户的需求，制造采用表贴工艺技术。具有高可靠性和高封装坚固性，并具有自检测（Self-Test）功能，可实现 BIT（Built-In-Test）检测。本产品可用于超高温度环境（-55+175） ，油井测控、汽车测控、惯性导航、飞行器安全系统、地震
2、监控、倾斜、速度和位置的惯性、振动和冲击试验台加速度的测量等系统中。二 、原理FYC-M21 系列加速度计是建造在硅晶片顶部的表面 MEMS 多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构，并提供一个克服加速度感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块相连的中央板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结构的偏转，从而产生电压输出信号。三、 技术条件1、型号 FYC-M21 2 、轴数 双3、供电3.1 供电电压（VDC） +8+153.2 输入电流(mA) 54、 性能4.1 测量范围(g) 64.2 零 g 偏置电压(V) 2.50.1 注4.3 输出灵敏度(mV/g) 31816
3、4.4 偏置温漂( mg/) 0.34.5 非线性度(FS) 0.54.6 分辨率(g) 110 -3西安方元明科技发展有限公司Xian Fang Yuan ming Science and Technology Development Co.，Ltd 4.7 带宽(Hz，可调) 504.8 噪声密度（ g/ ） 110Hz4.9 自检测（Self-Test） ST 输入电压(V) +5输出响应(mV,敏感轴向) 2504.10 启动时间(ms) 205、工作环境5.1 使用温度() -55+1755.2 耐加速度：5.2.1 任意轴,不供电,0.5ms(g) 5005.2.2 任意轴,供电,0.5ms(g) 500
