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MAP作业规范要求.doc

上传人:ysd1539 文档编号:7252974 上传时间:2019-05-10 格式:DOC 页数:8 大小:2.16MB
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资源描述

1、MAP 作业规范要求一、 目的:规范 MAP 产品的下单管理流程。二、 流程图:普通方式 MAP:(是指每片晶圆都经过 CP 测试,且对应到每片晶圆都提供唯一的MAP 文件)剔除边缘片 MAP:(针对来料无中测无打点的晶圆,客户提供的专用于剔除边缘片的MAP)三、 MAP 来料要求:1、MAP 文件的格式要求:客户所提供 MAP 文件能够使用 windows 通用的编辑软件打开查看2、MAP 文件命名要求:文件名称必须使用晶圆批号+片号的方式标注举例:FA9376-02-25晶圆批号 晶圆片号用户批号或晶圆批号 晶圆片号文件名中片号必须与实际片号对应,不允许出现文件号数字与晶圆片号有差异的现象

2、。3、中测单:为保证产品在上芯加工时对上芯数目的有效管控,客户来料晶圆必须提供纸质的中测单,中测单中应包含以下内容:3.1 用户批号3.2 晶圆批号3.3 每片晶圆需要粘取的 BIN 的数目3.4 Pass die 的总数目4、MAP 产品晶圆:对于使用 MAP 方式取片的晶圆,客户应在来料晶圆及 MAP 中添加明显的能够用于确立两者对应关系的点或区域;5、客户必须明确告知所加工产品需取的 BIN 类型。6、FLAT NOTCH 方向:MAP 文件中中应使用明确的语句标注 FLAT NOTCH 方向,如UP、DOWN、LEFT、RIGHT 等字样,避免使用 0、180等容易出现歧义的字样。四、

3、 产品下单过程要求:1、 销售部:1.1 下委工单时在委工单上要注明 MAP 取片字样,如果是剔除边缘片的应注明;1.2 下委工单时必须要在备注栏中注明本批产品需要取的 BIN 类型;1.3 WAFER MAPPING 程序是以邮件形式发给我司,请做好备份,并转发给晶圆检验、生管及上芯工程师,便于各站点核对,禁止随意修改内容;1.4 若客户 MAPPING 程序是以磁盘形式发给我司,请妥善保管磁盘并备份内容,并邮件发送生管、晶圆检验及上芯工艺工程师; 1.5 MAP 产品首次加工,销售需将 MAP 文件样本邮件方式发送上芯工程师,经上芯工程师确认后方可下线;1.6 当剔除边缘片 MAP 文件版

4、本更新时,需将更新后版本发送晶圆检验、生管及上芯工程师存档,并以邮件形式通知。2、 生管部2.1、 生管在投料时必须在晶圆管制卡、流程卡上注明“MAP 上芯”字样;2.2、 如为剔除边缘片 MAP 产品,需在流程卡备注栏中注明本批产品所使用的文件名;2.3、 生管下单时,附带的 MAP 文件磁盘,标签上的用户批号必须与流程卡中用户批号相一致;2.4、 芯片库房管理员在下产品时对晶圆管制卡、流程卡上有 WAFER MAPPING 说明内容的产品,核对是否一致;2.5、产品下线时随单须附带存储有对应批次 WAFER MAPPING 程序的磁盘,每片晶圆对应的 MAP 程序应该是唯一的(剔除边缘片 MAP 产品所附带磁盘中 MAP 文件应为 1 份) ;(每批产品都需附带 MAP 磁盘,生管部回复需要增加人员编制,请及时回复是否有结果)2.6、产品下线时,流程卡备注栏中须注明本批产品需要取的 BIN 类型。3、减薄划片:3.1 客户来料中测单用订书机订在晶圆管制卡背面。上芯工艺2010-8-21

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