宁波安迪光电科技有限公司工站名称：扩晶 LAMP 生 产 作 业 标 准文件编号: ET001 产品型号：LAMP 系列 页 次 1/1 发行日期： 2005-6-15流程图 作 业 步 骤 注 意 事 项 及 品 质 要 求 物料名称及其图面1.打开电源，将温度设定至 60，具体请参照扩晶机机器操作说明2.拉开锁扣，将上气缸上掀，将子环套于扩晶机之发热盘上， (子环光滑面朝上)3.将翻好之晶片（晶片面朝上）放在发热盘上;并把上气缸归位，拉上锁扣；4.将左开关往上打至扩张位置，将垫盘升起，把母环扣上（光滑面朝上）5.按下右边的下压开关，上气缸下压，将母环与子环扣紧;6.放开右边的下压开关，并将左开关打至下降位置，上气缸上升，发热盘下降;7.拉开锁扣，上掀开上气缸，取出扩好之晶片环8.用剪刀将子母环周围多余之扩晶薄膜剪去 1.晶片应该在上,晶片不能放反;2.晶片之正确位置应该在发热盘中间;3.扩晶时,应先放子环,再放母环;4.小心作业,以免薄膜破裂.5.扩晶温度控制在 605之间.6.用刀片割多余薄膜时,手不能碰及晶片,并在扩好之晶环上,无晶片之部分,用笔标明晶片型号及其规格数量.1 扩晶机2 晶片3子母环4薄膜5剪刀核 准 审 核 制 定 制定单位 研发部 版 本 1.0取晶片套子环放晶片套母环調模割胶纸开机作业
