1、大学生电脑主页 大学生的百事通大学生电脑主页 - 大学生喜欢的都在这里微纳测试实验教学大纲实验类别：课内实验 实验课程名称：微纳测试实验室名称：微纳器件与测试实验室 实验课程编号：06060218、03060206实验学时：14 适用专业：电子科学与技术、微电子学先修课程：微电子学概论、MEMS CAD、MEMS 设计、MEMS 工艺一、实验在教学培养计划中的地位、作用本实验课程是微纳测试课程的补充，可以使学生在学习掌握微纳测试基础上，使学生了解微纳测试技术的发展、微纳测试技术的分类、微纳测试技术的原理及在微机械学、应用物理、材料等领域中的开发及应用前景等内容；培养学生分析处理一般微纳测试
2、问题、独立进行微纳器件与系统的测试实验的能力。二、实验的内容、基本要求实验一 利用拉曼光谱仪进行微纳结构的残余应力测试（3 学时）内容：1、利用拉曼光谱仪对给定微机械样品进行应力测试基本要求：1、了解拉曼光谱仪的组成及测试的基本原理2、掌握拉曼光谱仪进行应力测试的基本方法实验二 利用扫描探针显微镜进行结构形貌测试（3 学时）内容：1、利用扫描探针显微镜对给定微机械样品进行形貌测试基本要求：1、了解扫描探针显微镜的组成及测试的基本原理2、掌握扫描探针显微镜进行结构形貌测试的基本方法实验三 利用 Polytec进行结构形貌测试（3 学时）内容：1、利用 Polytec 对给定微机械样品进行结构形貌
3、测试测试基本要求：1、了解 Polytec 白光干涉仪的组成及测试的基本原理2、掌握 Polytec 白光干涉仪进行结构形貌测试及运动测试的基本方法实验四 利用半导体特性分析仪进行电性能测试（3 学时）内容：1、利用半导体特性分析仪对给定微机械样品进行 IV 特性测试基本要求：1、了解半导体特性分析仪的组成及测试的基本原理2、掌握半导体特性分析仪进行 I-V 特性测试的基本方法实验五 利用扫描电子显微镜进行结构形貌测试（2 学时）内容：1、利用扫描电子显微镜对给定微机械样品进行形貌测试基本要求：1、了解扫描电子显微镜的组成及测试的基本原理2、掌握扫描电子显微镜进行结构形貌测试的基本方法实验六利
4、用振动台、离心机进行器件的性能测试（选做 3 学时）内容：1、利用振动台、离心机进行器件的力电耦合性能测试基本要求：大学生电脑主页 大学生的百事通大学生电脑主页 - 大学生喜欢的都在这里1、了解振动台、离心机的组成及测试的基本原理2、掌握振动台、离心机力电耦合性能测试的基本方法三、学时分配实验名称 实验性质 讲授（学时） 实验（学时） 小计利用拉曼光谱仪进行微纳结构的残余应力测试 设计 3 3利用扫描探针显微镜进行结构形貌测试 验证 3 3利用 Polytec 进行结构形貌测试 验证 3 3利用半导体特性分析仪进行电性能测试 验证 3 3利用扫描电子显微镜进行结构形貌测试 综合 2 2利用振动台、离心机进行器件的力电耦合性能测试 综合 4 4合计 18 18四学生成绩评定方法预习报告：占总成绩 20操作成绩：占总成绩 50报告成绩：占总成绩 10考试成绩：占总成绩 20【本文由大学生电脑主页 大学生的百事通收集整理】
