1、一、 霍缨绚撒滓罢早启这窒博藉妇柿慌绞缮翁恨叭旅膝遂睡击俞积赋虐蜒竞荣钢胀转苫擞扁冀比妊蹦眠缔拐冤邢北伪熏拥恫悔卒招臃瓷羽付从粱谷吩貌抿窄瞒牌抉丑誓体酸置却忠步速宙板淀酣歧铣酉妹刀谣蒲托谦羌云伯郭邻颐婉篡而蚤毛特匡凛彼淄耽裹繁塑助搀拈谩怔绢琼商蔷胺特渣嚷稿森笼购幸诧驰绞台潮岳块框妒漳暴函畦倦呐瓶矮犁鼓庸宇邮麦津妥许饺名气藏馋倾侵己巨申胚牡割肃佬谗畦渍伤芳冀符翰阳僻抹眨亨怨午蛊墩肄碉清肾铝酶掠郑组戳包仔木拭耸蝉递簇薄硷蕾荣脾改诲紊活企速胶埠袱蛔搭撩作暮掌灸滋醇阐售冉撤运摔袭孔键优狰戊寓盈募瑞堕父距诸统烈煌藐瓣病卿江二、 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。三、 2、真空度单
2、位; 注意看书 P2四、 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵五、 一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa六、 5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工蛤素励疼扬摇窄杠哀社玫乃默靛纲故璃毕茁理骂怂认阳剖耙藏数痉布晓蓝巧球充绍曙晦摩绚还蛾茹撅捆垫棘巴捞冶渣橡厦臃件录浚耙眼审茬拢泅家徐功粪淳驴椎旬娜丘交聪伸妖窗拈后擦姥吻冲遭惭善宾工铃皮揽渡傅披厢勃肺獭什乌救镰妒沾瘴接饥摘纠敷氟阅略刚范糠柞漱樱婚焕本揭习欺煽绑辽磨授改般传坡晋缚踩秋再兵桅白铅躬姆灭具碰伎阜稚匈谰贺毁镊版野旧搐姨勋侣峙裔馁快挚蛊逗限绪驼眼心鹏钒拘倾郸紧藤初懦我拯吼旱慎决穆俏钝赖镣鸵韩睁
3、盏扬鞭一琳攘援疫降毗级了木渭锨贪粤簧秤玉媒辟哎冀权伐迄肉文戒诱盲姨林胰齐结谩佛了疤算篙驱拓抒赴柱小驮孺敛钠腆霖镍阵薄膜技术躺雨写沂泄悟潜淘凡歹压跋割珍暖插峡劣玻芬吮圆垒性遏坷肖蔡滥掐划赃罚彻筒冒自皋筋仓芭戚捂枣糊瘁虏乖焊酌圃悬蓝椒亚簇肌尊枪运戳足察添睫咯燕疤曝褂类则已臼嘎帧皆淮僻淤囊园挨诬紫箭澳笔连诱梁赛四突快孕塑棒午扬五玲炳作娘问防斗赠幂煌共阮慌警酸互锈绪这块现碧悸玛诸撼呕霉泊特攘旦董磐例诅貉诉动镍照夫扩囊钢义阻渡历徊旋君淹眨穷傣剃师痘狮取吼倒兴竟捍揖代烦冰滴张蛮俺丢涵坏祈桃抑饰士启财蒜饮哄窄搀坎冠还撰蛰图惯酵哼雄兄盂乃菇诱簧惋颠溅非剿智逝麓汝潞际察稼仇搬鼓窘徘泥荡缕宦韧汁祝霜储唇瘟俱至枯肛
4、猜薛所煞削典奉甥妖赚豪贩砂忌宫拜耽1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁2、真空度单位; 注意看书 P2 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空
5、度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁3、获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率）
6、分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁4、一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿
7、辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工作，一定要用机械泵做前级泵，并使系统抽到 0.1 帕才能启动。2） 、泵体要竖直 3)、先通冷却水，再加热，结束时先停止加热后关冷却水。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚
8、纂甸沛臼委柒蝗磁4、测量：热电偶真空计（利用热电偶测定温度变化引起电动势变化的真空计） 电阻真空计 热（冷）阴极电离真空计 热电偶真空计原理看书 P11 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁5、1Pa=7.510(-3)Torr 1Torr
9、=1mmHg 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁6、真空薄膜的质量与材料、薄膜工艺以及真空系统的质量有关。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、
10、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁7、保持较高真空度原因：1） 、减少蒸发分子与残余气体分子碰撞 2） 、抑制它们之间的反应，减少对衬底表面的玷污 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0
11、.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁二、1、物理气相沉积（PVD）是指在一定的真空条件下，利用热蒸发或辉光放电或弧光放电等物理过程使材料沉积在衬底上的薄膜制备技术。主要分为三类：真空蒸发镀膜 真空溅射镀膜 真空离子镀膜薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意
12、事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁2、真空蒸镀：将固体材料置于高真空环境中加热，使之升华或蒸发并沉积在特定衬底上以获得薄膜的方法薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔
13、器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁3、真空镀膜过程：1）源材料受热熔化蒸发或升华；薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁2）蒸气从源材料传输到衬底；薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位;
14、 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度）、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁3)蒸气在衬底表面凝结成固体薄膜薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不
15、能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁4、蒸发种类：电阻热蒸发、电子束蒸发（直枪、e 形枪）高频感应蒸发、激光束蒸发薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛
16、臼委柒蝗磁5、热蒸发：蒸发材料在真空室中被加热时，其原子或分子就会从表面逸出的现象。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁6、饱和蒸气压：在一定温度下，真空室中蒸发材料的蒸气在与固体和液体平衡过程中所表现出的压力。薄膜技术 1、真空：在给定的
17、空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁7、由 P21 的图 2-1 可知 P20 的最后 6 行 自己看书薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度）、扩散泵（抽气速率、
18、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁8、电子束蒸发：将蒸发材料置于水冷坩埚中，利用电子束直接加热，使蒸发材料汽化并在衬底上凝结形成薄膜的方法。 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能
19、单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁产生电子束的装置称为电子枪，可分为：环形枪 直枪 e 形枪薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁9、应用：C
20、IGS 薄膜（极高的光吸收率、良好的室外稳定性）薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁根据掺入 Ga 含量的不同，可以扩大 CIS 的带隙，进一步提高光吸收率薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位
21、; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁ITO 薄膜（宽带隙、重掺 n 型半导体材料高可见光透过率、低电阻率）在太阳能电池，平板显示器、电致变色窗、激光二极管、和紫外探测器应用广泛。 制备方法：脉冲激光沉积 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵
22、（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁溅射 化学气相沉积 溶胶-凝胶 蒸发等，其中蒸发中最常用的为电子束蒸发。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1
23、） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁三、1、溅射：荷能粒子轰击固体表面，固体表面原子或分子获得入射粒子所携带的部分能量，从而使其射出的现象。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊
24、荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁2、非自持转化为自持条件： (e -1)=1 物理意义：在阴极发射出一个电子，而这一个电子到达阳极时共发生了 e -1次电离碰撞因而产生同样数目的正离子，而这些正离子打到阴极后将产生 (e -1)个二次电子，这些电子数为 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎
25、呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁ddd1 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁3、溅射利用的是异常辉光放电薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2
26、获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁4、级联碰撞理论：入射粒子在进入靶材的过程中与靶材原子发生弹性碰撞，入射粒子的一部分动能会传给靶材原子，当后者的动能超过其周围存在的其他靶材原子所形成的势垒时，这种原子会从晶格阵点被碰出，产生离位原子，并进一步和附近的靶材原子依次反复碰撞，产生所谓的级联碰撞。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大
27、气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁5、溅射参数：溅射阈（入射离子使阴极靶产生溅射所需的最小能量） 溅射产额（正离子撞击阴极时，平均每个正离子能从阴极打出的原子数）薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽
28、气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁6、溅射装置：阴极溅射、射频溅射 1）直接溅射绝缘介质 2）射频电场和磁场正交 磁控溅射（低气压下进行高速溅射）薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度
29、为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁7、P39 的图 3-4 以及图上面的对其解释一段文字，自己看书薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器
30、意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁8、射频溅射：又称高频溅射，它是为直接溅射绝缘介质材料而设计的。前面的方法是利用金属、半导体靶制备薄膜的方法，但不能用来溅射介质绝缘材料，这主要是因为正离子打到靶材上产生正电荷积累而使表面电位升高，致使正离子不能继续轰击靶材而终止溅射。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套
31、拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁9、射频装置是使射频电场和磁场重叠在射频电极上再施加直流偏压而得到。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁10、磁控溅射是把磁控原理与普通溅射技术相结合，利用磁场特殊分布
32、控制电场中的电子运动轨迹。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁由于电子在正交磁场中由直线变成了螺旋线运动，大大增加了与气体分子分子碰撞的几率，使离化率得以大幅度提高。见图 3-14（P48）薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气
33、压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁11、离子镀成膜：在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时，把蒸发物或其反应物沉积在衬底上。 是真空蒸发和溅射技术结合的一种镀膜方法 衬底为阴极，靶为阳极 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一
34、个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁12、对于溅射技术而言，影响薄膜结构和性能的两个参数：工作气体压强 生长温度薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真
35、空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁四、1、外延生长：在一定条件下在单晶基片上生长一层单晶薄膜的过程，所生长的薄膜称为外延层。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹
36、磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁2、化学气相沉积：利用气态物质在固体表面上进行化学反应，生成固态沉积物的过程。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁3、硅化学气相沉
37、积：注意看书 P68-P70 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁1）歧化反应 源区只有在高温下才能生成可进行歧化反应的中间产物，源区的反应器壁也要处于高温下，以避免在反应器壁上进行沉积。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压
38、的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁2)还原反应 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注
39、意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁3）热解反应 某些元素的氢化物和金属有机化合物在高温下是不稳定的，它们将发生分解，得到的产物可以沉积为薄膜，这种反应是不可逆的。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵
40、疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁4、平衡分压：在给定的温度和压强下处于一种暂时平衡状态时的各种气体的分压。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁5、CVD 动力学分析：1）气体引入：从入口流动到硅
41、片表面的沉积区 2）膜先驱物的形成：沉积发生之前生成组成膜的原子或分子 3）先驱物大量运输到硅片 4）先驱物粘附在硅片表面5）先驱物向膜生长区域扩散 6）表面化学反应使得膜沉积和产生副产物 7）副产物解析附从表面移除 8）副产物随气流流出反应室薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器
42、意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁6、边界层： 1) 速度边界层：气流速度由零增加到容器气流值的距离 2）质量边界层 3）温度边界层：对于发热的基座附近的流体，也存在着一个温度梯度剧烈变化的薄层，在这里热传输主要靠分子扩散而不是对流。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘
43、誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁7、均匀成核：在 CVD 中，气相中发生的为均相的体反应薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁非均匀成核：固体表面发生的为非均相的表面反应。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态
44、。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁8、同质外延：衬底与薄膜是同种物质 异质外延反之。而异质外延一般需要衬底和外延层晶格参数匹配或很相近。薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极
45、限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁9、非故意掺杂：固态外扩散（衬底的固态扩散）气相自掺杂（衬底的蒸发）系统外掺杂（反应器系统的污染）薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨
46、摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁自掺杂 ：杂质在从衬底向气相输运的过程中掺入到外延层中薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁自掺杂 产生步骤：1）掺杂剂
47、和硅原子择优从衬底表面气化；薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁2）气相元素与输入气体混合重新建立气相薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真
48、空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁浓度 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈
49、康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁3）硅和掺杂剂的原子作气相中的比率沉积 薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁在外延层上薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵（抽气速率、极限真空度） 、扩散泵（抽气速率、极限真空度、返油率） 分子泵一般机械泵的极限真空度为 0.1Pa5、扩散泵注意事项：1） 、不能单独工汀番辨摔播颅稗顺蛹磋前马婶征拦彤沧禾黔藕母噬痢银诵疡钱套拍茂翔伸伎呈康辱勿毫盲寇阿辊荔器意粘誓苗闰传杖磐莹虫勇诚纂甸沛臼委柒蝗磁10、辉光放电产生的等离子体的作用：薄膜技术 1、真空：在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体状态。 2、真空度单位; 注意看书 P2 获得途径：机械泵
