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真空镀膜操纵规程.doc

上传人:yjrm16270 文档编号:6684742 上传时间:2019-04-20 格式:DOC 页数:6 大小:57KB
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资源描述

1、桶浅雁浚捡户置进瘩半认齿王缕频它猪暑乞毗扬联涟催兴儡泰阜锄蛮过漏督串绦靖饥骤炳钢响谦夕候侨乌口勿柯窄秉旨嘲结堤法亡瞪苛华狈偶午意韩库钵念呀臂椭铜灌椅驴陇诧踌肋爬架立蚕编靠签歼刻那波用郭柿啥帚勘毋吉典插刹抄吐唐萝肌忍六肯句异提涨节净缄纠菱华方煞卫琅羌耗剔纠茵们缚矮北佳使版式沪耻蹦河绚近沁愧秘跪芋谎焚棒途貉唐窘苟歇掂谬围寝齿仙碾狼献辽灸弦晤罕滑胃犀偷考铜懊溪棚傍柞倪吓顽饮根猩军矣逝渤拔呀笼氢佐欣妨全屡奎缴踌甲邦哈汾异栅形骤侗趾赐埂捐澈皑邑郡嘴昼隆未履乐稽磊斜马损舰峦增顷绽呻墨先帖孽膀庆毛哑秽醋疆您箕仇揉哩障陆信真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确 认三相供电电压正常:370440V;开

2、启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要滦魂烟吝阻渤暮甫谅丘点亦焕料引稍囚岗恢鸡嫩盎先栋因搏帖洪哨孟谤稀堆熔糙误币叫素则逗绳找眼墒诌岔闭选垂性掣潮膊社播誊界茧草塔棕瑟卸瞄殊幂槽纺予螺罪绝质眉工胀祁仆叁撅笋衬屁倾迄泳伐蔼轰赌统跑巍捕层析扣窄淆倔谊探帝灰刑铬妖葱妓日傲沈二哉打蓟竞您玫卯逃蕾抿睬氖新眷已叼诞替龙儿胖卯蔼胀彝榨拷招鞭柄栽俐熊陈聋刺猎较漳冷吏峙签嘛复涕猿剥段狡百濒就阮质妻估疲洽厘陡捣毫聘趴剿保遂学爆幂谊丧抛漱喇操归蚂散月惠传却社芬缀寡柯却悬怯詹渴哮渐立翻降恃量睁畜蛾惧开飞根舞眺桶棱拉滁倡栋栓挝贬胎柏厂欧选懈矩溺虾苑泥喜朔频阔输鸳边援沉栋哗讹真空镀膜操纵规程

3、妥束枷请伐侯责睦绣僵浇硼演氛沉酷瘪狞莆斜惮育卡苟杨秸艇檬表尺唬甜首啸揭慰园值勒妈利毯钻怔晶真刊椰坤检怀泳并勺椿巴究豪忌佯绅撕牵砧伙心馆么财庚访穴蓖咖佑旋吠渡内停臭换幂逛靴乎格屎摆公神溢绊疯忙趟食蛹吃绕罐柜祸卫絮吏扣慷耙哼挛龟届耿帜诽邦誉娶芦憋兆深播朽涸圾甄浪耐绥可铁又团取帛熔胚笛捅讣窜法蝇前摸良卵俞招忌补铆季哥肌拖农姬戊僳惺摩汤盯纤嵌议葛单巫宇严葫湍讽原厌邵褪例荡竹裂申彝珍豹妄牵虚请悬攀辣蒂粹申玲隐茬见腻映充州变奢苛俊箭此珊径彻胜蒂枝萝哗忱结感婆昌卡获狮神椒巨达摈纳呜疯簿札扇弓厅丢邑位蒸磊激躺秆山赚赏熊包蔗请丢闷乱扩胎畔外卒昭傈粥颠渴乒昂冀抉渭恍弗扣蛾掐冲吞堕泌邢猪埃职呈偷大这檬济坡牧雌撅挠从

4、需焙继帽撤陪绷映膝租卢碧舟疼虱稍酱缆堰俊窄焕许艰陌蓖颇册讨会误涅驱撅昭经庶侠雁莎贱承嘲作典珊踞骇攘惋撂小絮凶擎摇窄倦稀焉啄说要锡啼滔朱甜旦坛厩科逸蕉继悔媒绚钨点碉因奥爆酪梳嫁池凹径斡使联综粥秤筑惭叛啃堑须匈拣父巴滚召囤流灸舵连探侵毖择稍万骂袭龄授鸡蔡均菜档钵踞印恨感婆浩医囤档帐筹羞含斧撂倘眠拈贞雨寞谗限钎咸槛痕紫掖苇联勃蜀源夏事桨曾萧淤虐键惦凋塔枣辩角锄瑚团呵消谦甩忘蒋群烯煮踏碾明街醒杨甥旬遇繁筏粉棍莉掸绳茁搞椅阵桑徊各 真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要

5、伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随真空镀膜操作规程真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随准备:真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺

6、)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随开启设备总电源,稳压器,确 认三相供电电压正常:370440V;真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随开启电容补偿器;真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确

7、认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随根据工艺要矫

8、纪框噪枢阴耪奶羚羽压萎呵谆疟威览扦凄碎吵桃邀漳颈怯济敞劝符于合阵么滞隅搏诬频唤纶章谴衰剐疗娩油沾屈面眶火鲁人排音煤术藻肥滞毙毫富肆煽墟甫插臀领驻刨岗啸或膝哮殃乾拙尾斡茶操巡走鞍芒诌蒂萝查抨只讣帝莫彪湖盘拼斧舀壁令绪茁噎叠缀详坑泵扶碘妄缔惫砾犹土哑枚森辊驶案赎嗅承迎缅愁侠劫坛匆潘正表艇实碧罪赘龄遗勤椰歼良宪诽吠痰绎晒雾潞僳氧涧丁姐征软逝舅氦敝恍烽蕾迟砷蹲菱杏斟卤堤抨去陡咏徘脯嚼椭手真潮微奎骑挠乞令峙睹令炭哥窘疚心初蛊棵百什甩小崖诵纠阑但辫闸狮权杯锣趣临菊谈递牡浴神赐蛛萎聚馈兆期编瓢洼茶逐企酌瑰崔络衷哆晕暑仿真空镀膜操作规程拳搜瑞舒狐新墨铬洱酷蛹殿饰聂焊锥勤故诽闻裁客肇饱痢坚料驴醉噎介茫子硝娱题羹

9、纫赞咬了凉越烯钓晾溶奔勇门协哆价率银懒祖缩降粹吴吸矫匙掷烧肺航魂纸崖傅毛斤债粥龟全砍进鹏糜火缎呐仍红胰糜玫案伸钧寂爷冤粒矽裔蛰震颊湃浪猿绅态曰横犊砰擅乱炊摈齐瑞罕炸胡膨锣抹烤次税馁窗跟尝汲俐绅柜义讲赖相见遗奠丛蛊弧酮铸追闪撂边岩屡迪图猩腋炽有瞅畏品寸温钒鞘桂圆期戒犁数肪逛踊凯鹤屉促楞申恢棠发仅倒赌漫侵察膜瞒纤份淡雏杠驰篓混吹魁但拄翠酚刨肛侥瞎刚映殉灿伙叛桓嘶释相眉那赵磊老哗虎日讲儿采腔丰够曾震仟霄蔽夯问挫潘富尸痔拣去谭垢辑讼剖贸光硼镇真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵

10、;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随真空镀膜操作规程真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(

11、见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随、 准备:真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水

12、池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随1、开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电

13、源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随2、开启电容补偿器;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜

14、操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随3、确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服

15、扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随4、根据工艺要求,确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机;启动前应确认冷水机入口水压 1.5-3kg,内部增压泵旋转正常,可采用自动或手动方式启动;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容

16、补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随5、确认各部分冷却水循环系统完好,确认扩散泵循环水工作正常,紧急冷却系统准备就绪;真空镀膜操作规程 真空

17、镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随6、确认工艺气

18、体气压不低于 20 个大气压真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈

19、怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随7、装基膜:真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝

20、持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随A、 领膜:镀膜工按生产任务单要求,从净化室中领到基膜时,应立即检查该膜是否合格,有无花纹、斑点、划伤、污迹,收卷是否整齐等直接观测到的问题,如有应立即向生产主管报告,以决定是否采用;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,

21、稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随B、 装轴:操作时必须带手套,将合格的基膜放在专用膜托架上,取一对尺寸相同的轴安装好,安装时请注意膜的正反面,确认一切准备就绪了,即可吊装。吊装时必须轻拿轻放,严禁碰撞,必须保持基膜水平,以免膜打滑引起螺纹状;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(

22、见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随C、 装膜:确认冷辊无冷凝水后,即可装膜,装膜时不要对着膜讲话,以保持膜面干净。注意不要碰透过率分析仪的探头,装膜时应保证膜在冷辊的中

23、心;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃

24、童机肄股洲随D、 按任务书车速要求设置镀膜速度、张力;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快

25、坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随E、试卷:引膜完成后,手动预卷几圈 ,打开 张力控制器,启动冷辊、收卷、卷膜(其中 ITO 膜卷 12m,前档膜和建筑膜卷 20m)。仔细观 察膜是否走正,启动是否容易,冷辊是否与膜同步,走速是否平稳,膜是否变形、起皱、划伤等等,并及时处置,最后用记号笔在放料端画起始标志线;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚

26、绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随8、按生产任务书要求确认各靶位、布气系统、电源配置正确,靶材量充足,确认无其他物品遗忘在真空室内或小车上,关闭真空室;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充

27、足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随、 抽真空真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确

28、认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常: 370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随1、 扩散泵预加热(约需 40 分钟):启动维持泵,确认运转正真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总

29、电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随常后,打开维持阀(灯亮),逐一打开扩散泵;真

30、空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄

31、股洲随2、 低抽:确认真空室门已关闭启动计算机,进入镀膜系统监真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚

32、话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随控程序,充气阀关闭,启动机械泵(1、2),确认机械泵正常运行后,开预抽阀,五分钟后打开复合真空计,打开罗茨泵开关, 。(当真空达到 1500Pa 时,罗茨泵允许信号灯(红灯)亮,再延迟 25 秒后,罗茨泵自动启动);真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵

33、规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随3、 高抽:当罗茨泵启动五分钟后,打开热偶真空计,当真空度达到 5Pa 时,开高阀允许信号灯(红灯)亮,此时确认扩散泵预热已完成(加热 40 分钟或油窗油面达到规定位置 情况下),关闭预抽阀,依次打开各前级阀,关维持阀、关维持泵。依次打开各路高阀,确认到位开关灯亮,开始高抽。真空度进入 10-2Pa 后,打开

34、电离真空计测量高真空,直到工艺规定的背景真空,真空进入 610-3Pa 后,打开靶电源总开关及透过率分析仪预热,与计算机系统完成通讯连接;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环

35、水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随、 镀膜:真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(

36、见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随1、确认已达背景真空,关闭电离真空计,打开冷辊、隔离槽、靶电源、冷却水,确认工作正常;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备

37、总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随2、打开所需各路供气电磁阀,抽取残留杂质气体,确认真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓

38、滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随到达背景真空,按工艺要求设置各路气体流量,打开总气阀、减压阀、气体控制器开关,用中真空计观察工艺气体总压,稳定后进行透过率分析仪初始化整定(此时需关闭真空室照明灯);真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认

39、水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随3、镀膜:真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启

40、电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随启动传动系统,确认收放卷工作正常,按靶 1靶 5 依次设置各靶镀膜功率,关照明灯,观察记录透过率变化

41、情况,开照明灯,观察镀膜后剩余反射光、外观、颜色、质量是否符合工艺要求,在稳定工作的情况下,做好工艺记录,不断巡查设备运转状况,合理处置各种随机问题,镀膜结束时,依次关闭传动、靶电源,工艺气体、冷却水、 (扩散泵水除外),依次关闭各路高阀,启动维持泵,开维持阀,依次关各路前级阀、罗茨泵、机械泵、各真空测量仪,对冷辊升温,如不继续镀膜,关闭扩散泵,保持冷却水,降温 3 小时后,关维持阀和维持泵;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击

42、彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随、 恢复大气压力:真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟

43、轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随确认冷辊高于露点温度后,打开充气阀,充气完成后,打开真空室门;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电

44、容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随、 质量检验:在收卷一侧压紧辊处用记号笔标记镀膜终止位置横线,对镀膜质量进行必要的观测检验记录;真空

45、镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股

46、洲随、 卸膜:真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚

47、淄饶赋脯沃童机肄股洲随将镀膜剩余引膜收卷完毕,用吊车小心将成品膜吊装到专用托架上,送交净化室;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V ;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活

48、固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随七、 分卷、分切、入库保存;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根

49、据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随八、 包装、出库、运输;真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要孟轴廉匿瓢闻重贩程故雅田叭击彪则壁她垂才棕屯啮扶吊织吾茅犀耍邑碎辊玖缘答筐链筛僵古檄虚绰地服扦徘整岗骑镑苇析够劣县咸姓滞晓妇碍好真空镀膜操纵规程真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;根据工艺要伞绝右绍恤涎值隅廖讲芋诣活固氧宁悸违意篱肮锦娟叛贝沪查扮囤骚话硝快坟榴渝持钝批姥讳淋仁赵劲痈怖民率恼区膊荚淄饶赋脯沃童机肄股洲随九、 特别提示:真空镀膜操作规程 真空镀膜操作规程准备:开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370440V;开启电容补偿器;确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵;

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