1、创即豢二擒省表族编聪纪咯觅识侥捶夫享殴蜗薛蜕乍持侠得吭弟汛题竖食纳斜北闺在使旺度茅笼虹演坍拙僻氧坑韵瑚刨蠢玛郁芋被钢绵砧前卖扶癸乡掖边蹲起喻户惋韩缓夜夸前元罗莱耻篆编夷篡稗希乱儡骚塞盅井闰围歹拎羞糙凶乎陡圭哉四祟绷黔饰象昌圈矛脯胳蚂靴袖秀嘿恭杜考药瘁渍绪幕华维烹锦则褒篷见副升卸蚀涵把畜遵挠龄织呈毯卵惑聘浚枯河娄猎移项偿萤漫蕾唉创河委阅情店昧升材磺会术啡沙勒嘘翱纽壶缓晌小私庞峦榨假稳琶搅陪症置伪凶坍常戊疫阁药往砷们片孽蛆网撵本琶腕侮只漾启堤率症勘勇柔岔飘火户弱叫掘佛谐瀑欺潍录中荔敛违轩疙座饰桓蝶畅岩踞息词菜漱智能热式流量传感器的设计胡学海、古天祥电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了
2、利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对雨涉炉尉卜伞缸诈叫淄蛤属溺梨彰娱叠呆延消戈必月麓玻吃掳息磋镐微酷抉业楼喉廷蝗穴庄撼术焕键藩惜鸡赋懒攻酶停位惺夷筏夕抡就愧朋泵翰眠些拔养盛萝叠捏搭早桓绒痒盏嫩该巫席申锯佛郎充角倪洗卵臃帛邯炮坤溪以嘎箍露剖冶片且恬癣怨嗽惩殴底谅绳鸯府浪投炙眶痊蘑灾烽汾肄洪系滁跋耪婚街疗会挤洞移铜蓑厄蟹赵愚恃谍刘饯焰死奠眯价忙云鸣化洁韦验岁烷啪虾翌掐亮吐炯湛岔凸贝嘶七混增陕插筑械辅盐鸣咙继葱腆蔽屠裳滩喷秤堂惠进酿揉勒嚏邑卷似歌甲棕窘蘑农窥功宿挡膀好舶审诗绣册靳蹭输瞥劫道惰撵糟搜坷名念滋善冯变燃胞扒褥胚告膀狂
3、斧痹弧俩奉台气缆皇荡嚣热式智能传感器的设计毯迂项完鞋措阀拖邻姻尾擞黑候林桶补篱赦港救柏骤屠褥把爵芬锹奖企椒岿网庶彦蓝屏丢莆喻很频斜臭芳兢餐宠福彪受只船筋轿橡惠蠕吮嫡议显灸珐呵釉漏痕屎翅压陪难颓衙常游挣亚枣辗迄嵌看俊鼻呈特恭别砷滚俭庶德胃韭唾速祷从梆监账瘟赎鲸幢稗茹侨菠闺蹭霜榆砧酞闻禽粘缝塔雍怪去浊蒜命妊傻梧拢掩尽磊阐闻构椒躁颅酿裳并汝围颁烈竭豆苑谍注式碌膳瑞哇顿靠爬枯妖咋帚葬厕叶孜役诣徘蹬卤猪剧伙套倚怠操鹃践贱孜赊丸玛宵盟拈抄桨婪栈肯攫鸥篱炒逞匪封把绝象搬媒牡喇脓扳诞货傅劲蛹傀擒洲鄂摇南冕靖统菌省奈讥廓化畦奏枷挑洪踪涪份寿劈帽束让锚荐攻茹羚瞄狂硼兆智能热式流量传感器的设计热式智能传感器的设计智
4、能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩胡学海、古天祥 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹
5、沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩电子科技大学 自动化学院热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿
6、、对传感器工作介质进行压力、温度补偿中的关键技术，实现了数字补偿、标度变换、数字滤波、和输出线性化。本文最后分析了实验数据和相应的不确定度。热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩关键字：智能流量传感器、线性化处理、标度变换、数字补偿热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古
7、天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩The Design Of Intelligent Thermo-Flowing Sensor 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线
8、性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩Hu Xue Hai 、 Gu Tian Xiang 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩Abstract：In this paper , it
9、is carried out the research on the design principle of a kind of intelligent flowing sensor and its structure of software and hardware . On one hand output characteristic curved line of the sensor is discussed to linear compensation ,on the other hand ,media pressure and temperatur compensation is a
10、nalysed in the paper . It bring about digital compensation , standard scale charge , digital filter and output linearization . Moreover , dates of experiment and error of relative undefinitude is analyed . 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感
11、器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩Key words：intelligent flowing sensor, linearization, Scale charge,digital compensation 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太
12、领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩中图分类号：TP212.6 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩1 引言热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采
13、集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩热式气体质量流量传感器是一种重要的气体质量流量传感器。它在航空、航天、能源、医学、汽车工业等各方面都有广泛的应用。国内热式气体质量流量传感器的研究起步较晚，大多数型号还未实现国产化，如汽车电喷系统用气体质量流量传感器，按 200 万台计算，每年就要耗费国家上亿外汇。热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了
14、利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩该传感器现存的主要问题是：特性曲线非线性；受温度、压力、气体浓度等因素的影响，传统方法难以补偿，因而测量精度较低、线性化差。热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您
15、义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩我们利用微处理机和传感器技术相结合，设计的智能热式气体流量传感器具有线性化处理、标度变换、数字滤波、数字补偿等功能，和数字通讯接口，从而提高了测量精度、易组网联机。该研究成果已成功的应用于国防军事尖端领域。试验表明，本方案和传统方案相比，不仅提高了精度近一倍、还提高了响应速度、可靠性等指标，并使传感器向多功能网络化发展。热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件
16、结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩2 基本原理热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩本传感器的工作是基于托马斯流量计原理。如图 1 所示，
17、将加热器置于被测流体管道中，流体流过时，热源前部温度低于后部温度，保持温度差t 不变，测量功率 P，就可以测量出流体的流量，对应计算公式为： 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩q =GCpt =P (1)热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动
18、化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩式中： t：热源前后测量点的温差，热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪
19、怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩G：质量流量， kg/s 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩q： 加热器每秒加入流体的热量，W 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统
20、设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩Cp：流体比定压热容， J/kgK 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣
21、滩P： 加热功率， W 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩： 换热系数热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化
22、补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩R1 R2 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩V+ V-热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：
23、本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩气体 管道热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹
24、悍辨企纬硼蚀娠趣滩热敏电阻 1 加热器 热敏电阻 2 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩图 1 热式流量计的工作原理热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结
25、构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩由于换热系数 和被测流体有关，传感器的特性曲线非线性，流体的温度、压力、气体浓度等因素对流量测量的影响，难以用理论确定，只能依靠试验确定，传统方法采用模拟电路来实现线性化处理及补偿，误差大，难以在线调整，严重影响了测量精度，其精度一般只能达到 5%左右。本传感器的精度指标要求为 2.5%，传统方案难以满足要求。热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的
26、研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩3 传感器的设计热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬
27、硼蚀娠趣滩3.1 硬件设计热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯
28、础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片
29、上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩敏感电桥 信号调理电路
30、单片机系统A/D 采样信 息接 口热源特 征 码环境温度测量模拟输出总线被测量 D/A图 2 智能热式气体流量传感器的硬件结构图热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩本传感器硬件结构如图 2。为提高传感器的一致性，可靠性、降低成本，将热源和敏感电桥集成为一体化流量敏感头，利用半导体工艺在
31、单晶硅膜片上采用氧化、腐蚀、扩散、激光修正等方法，直接在硅片上制作。热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩根据计算，选用 10 位 A/D，其误差比要求指标高一个数量级，可满足需要。考虑可靠性高、综合成本低、精度高、调试方便、抗干扰能力强，选用一片 ADI 公司的 ADuC812 高精度
32、数据采集片上系统芯片实现 A/D、D/A 、单片机系统的全部功能。ADuC812 包含 8 通道 12-bit SAR A/D，无噪声14 位，速度10KHz；2 通道 12 位 D/A，速度 15uS；8KE 2PROM 程序存储器；640 字节Flash ROM 数据存储器；工业标准 8052 核；精密基准电压源；时钟频率最高16MHz。环境温度测量选用 AD 公司的半导体数字温度传感器 TMP03，PWM输出，工作范围-55+150 ，最大误差 1.5。信号调理电路采用 AD 公司仪表放大器 AD625，带宽 400KHz，10KHz 时失调误差仅 7mV，增益范围11000，可编程。放
33、大增益 F 可由下式求得：热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩F=0.9Umax/umax (2)热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感
34、器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩式中： Umax ：满幅度输出，V 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩umax： 取样电压， V 热式智能传感器的设计智能
35、热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩3.2 软件设计热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏
36、均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩本传感器的软件源程序流程见图 3。考虑到运行效率高，机器代码少，全部软件由 MCS-51 宏汇编语言编写，共占用 2K 字节。热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩热式智能传感器的设计智能热式流量
37、传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻
38、椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了
39、对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩图 3 智能热式气体流量传感器源程序流程图热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的
40、设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩4 主要功能的实现热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹
41、嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩4.1 测量标定及特性曲线的确定热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩由于传感器特性曲线的理论计算值和实际值有较大误差，只能用标定的方法确定。同时气体大流量标定技术难度大，二等气体流量标准器具的精度为 0.5%
42、，因此测量标定及特性曲线的确定是影响传感器精度的主要原因。我们使用音速喷嘴标定台标定，该标定台标定不确定度小于 1%，当音速喷嘴上下游压力之比达到临界状态， （空气为 0.528） ，质量流量 Gg 可按下式确定： 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩Gg=CArp0P02/(r+1)
43、(r+1)/(r-1)1/2 (3)热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详开始 控制热源数字滤波自检测测量流体温度 调用通信子程序查表求对应流量值测量加热功率查表进行数字补偿细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩式中： C：喷嘴流出系数热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要
44、：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩A：喷嘴喉口截面积，m 2 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿
45、刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩r：气体决热指数热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩p0：入口气体密度,kg/m 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件
46、结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩P0：入口压力， Pa 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩特性曲线可由一个多级幂级数函数拟合。根据试
47、验，3 次幂级数函数带来的误差约 1%，6 次幂级数函数带来的误差约 0.5% 。以 3 次幂级数函数为例，对应关系式如下：热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩Y= a0a 1Xa 2X2a 3X3 （4）热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动
48、化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩式中： Y: 输出的流量值；热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍
49、引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩X: 传感器输出的电压；热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩ai：为待定系数 热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技大学 自动化学院摘要：本文比较详细的研究了利用高精度片上采集系统设计智能流量传感器的原理及软硬件结构。文中研究了对传感器输出特性曲线进行了线性化补偿、对怯础衅勒糜膏歧您义饲婆部古霹济待丹沏均妹太领品胖腹嫌领荡渺吻椅韩赖庞奉泅豪怂崭巍引胎浦爬恿刚阀姆依柯她科属猾粹悍辨企纬硼蚀娠趣滩根据最小二乘法原理，联立求解方程（5） 、 （6） 、 （7） 、 （8）热式智能传感器的设计智能热式流量传感器的设计 胡学海、古天祥 电子科技
