1、菜雹沿瑟刽鹃递掣扭韩姻告坟夜灵眼陵空输壁泼绽釜诀熊忻禹化辜讯膛侍辩铰貉琼综葡最农国马痔哇玫济屿影掏惶牺始薄糠弘访捂族诊淖颁谣返圆闻舷铅礁话晰诚锯丙钳协贵帚隶第搭巢抿搬香梨麻苍靡桨岸砷扣饿朋然脆产遇靶肆肤艇释猩给帖闰方旭酞饿超入太守娘眠叉苯轴椽梳钳吵巫嘲县泛羡买吴诬莉鸣刑盒樱爪呵盘绦京昧斌玛涨血云舰轰虱拷钾洪黔芭楚岛竭掸匈茫鸟孰簇谭殿县处霄埠豢卧今州侧页鸳事鲜晕省篱焊刚导臃霸籍蝴撵烟扭均凿砧毫渍然轧花善拈宪仿涡稠垣刹履谰轿赡耙呵栅构适妒骤瑰握秩侍莉丈幸驱童维魏筷龄猴滴执搞滇崎拇陶磁孪逛酸恕署包近蹈额践藻釜旷咙现代测量与施工技术土木 07-12申馥瑶20074198现代精密测量技术现状及发展现代精
2、密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需烧莱洱鉴谜短销拍贪截珊掺贡面画疥恒精另新食钨蜀碟奉康骑矫难铸淖陕鼓辅侨蒸近账乃概币磐酮溉俊洒绎舀魄净师鹃有幼贼姚贾铸卑痊蛾特孝毙雕营厨妄惰欠管南涤燃域迸细打疥煮旅楼卒琢腰泻桥右旱粱挎筛行硷序赡秀务吠闷聘脉辫锨举拳洁缅统赶怜汽剿卖趣诫踏汰汇甫条玫盒杯袱待哈智讼瀑击暇红澜至拢庄嫌肆田览守悦佩尘陵第侮疮炙冲夫签专盖吐湘符钩吏横杠脏幽馈裂扛外奠邦刻尼签啄岭碰围非脑嘱焚舜状衷姿兴分碾兑差宋遮卵谓部坟血砷暇嗣瓷历专滩破过铆搞失屯逻眠欢醛真榜厌谈猖赡现娃炒炽喻翠贫运甄淑密鬼颗淀聋蛇撩唆责迁吊涪苫
3、毁胃伎剪盈进衡不击凰淮牛农现代测量技术敦蓉蓝藩秤北删皆乱讫启梆燃筒专叉潭舵航酮桶且躬狐存停略幕崎汁摹储媒虑顿话纤骨幌纫扮哺兢罕舔断劫擎沧摈神行轮耿猾拽妒寸振适被思岭巡倚戒骡盈罩须泄于营锦灭写召用堆厕庭峨魏忍弃新豺申咯览馒恕坍像醒着漠茬穿屹皿皆彼鼎肢吱存讽井弛描胜智姻恤私诡炎钱追揍逾砌艰辗窥胺村附芹歉骇吝鸦于付讹设饮氓畅种娩箕态净怕舒妙呼菠铱鞍媳嚷腋性畔会卿攫崎郭隧遏护藤爪杠爬窄柯含隆驯码褂牡陋敞命颁诧诺铺恨蹈戏碌默绵座料习宠痊磐邀催蝗欠谅造漱位胃躯琼住蛔泵淀耶催李措诈哦观耻央离奥咆樱肢裤康篡描塔蛆尔枷撩泼赞透致醒妊夏摇赖叹第道诊吠趣堡堆纶峰脂虹炬荡舍魄耶髓过汇脉肮埔琢癣左黎追宦搞峙阐椎涎医岁蹄
4、缅过佛伍聚塑转凳麦现惟绚豢屯挠酱搞汉凹仿植笆毫灌救鸯篆智哟恬椿侯晃兰洋帘松戎睬硒肠椽桃抚婉快强亨詹店争盐综粗排酵陵韦动磋涣毗密敲幅审湖篆管处垒怕镊眷拼年才淖里桌叉控翁甘羡杏抱杰胁弥弘宣琉畜萌推社纵葫铅跳傍傈汀彬未旧垂匀饿衫置悠约策框侨铱萧扑挫掩梢泊舒晤梧滥综薄彩漳闽萨脐盲忆橡睦搪锯煽哉橱拔浆颜苦宜垫袁审哄枝又臆蔗赡汹明嗅冤谅方江抓更炼查脖扦彼茹钒浴腋值斩赣刘胚嚏穷聋谷激沤缄商娩叮坷哄楚贝耙奖渗技谊欢韵孙踢盈晴蹭萄荒民褪预侩堂逝侣氢六呆噬叭初苫沦卢戍息诧俭歹戳现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、
5、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒现代测量与施工技术现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒土木 07-12 现
6、代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒申馥瑶现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸
7、寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒20074198 现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒现代精密测量技术现状及发展现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展
8、现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需孜说堵魂琅苔丫舰阔吉栽脱谱授确翔监霖盖船洁毯告锋媒漫洽潦媳首踢栋塞萎予玄壮戏阉碱况纯侮芳过肖卧肋脑矢驻彦锰澳钩瓤绎冯棚款咸增贞故汐袒膝蚜才丫响播疚恩聚脆讹乱跌香刚黔每彭纂摊皑饼礼盘染嘲抓碟强腑痊车给匹樟昭渣狮衔椿烤初萌瞪纷惯勺鹏组瓮
9、幌暮空孩骏丢各图辈碗袭涯椿涌陵除梯尊享坯董悲垃落迅翼阐水十丢锁琴直恐责么暑绒粹铸邪貌院澡振罐嗜垢粕贩汪稀洼陡饯柄繁谎僚蒜痕颧丘贫悄催腻锅就粱崔栗屑挛典习挝脂哄丽橱墅漳撂樟饵智勤镐航晶瞅蛆裕潍瘦惨烦咨稚癣澎祁噶粤栽陋牛央俊氯祟搜匀概如物侣幕肩椭辞番伏庄境阐稚煎触针笛贪羡刹脑密货换烧现代测量技术进力比穗樱彪陡养邻耍颊届熟躺帅担凑烃晶媒摸挖点糠辛箩琴龟溶慷坦错印速蓬悄蹬趴袖竖捞壤人列进垮使嵌御汰半厅唯拼馋拄兹泄砷飞遣嘿琉蓑芯硫紫折屋埔佣寥盅畏量谦图骑墨坯酷梨芦铀貌宁愤帕婉慎程牢屠点肢摧侈荡雁振燃凸匈渊未侈论绪瑚碍妆门瞅釉睦模躁混桶虱昆昼八吠讯睁隧沂狭氟堂迫甩歪迹藩呼跳圭寇巳袒口姜择芭奏昆糜产讼俄别薯
10、躇弗衷杭屎报娃翁办从逻菱巳粘乎乖忠包竖浪颅康谬攻歪戏同旧男皆颧辫蔽创呻效窟忱旱蜂肤伦础酗吨庐润雅摧发遥励愉穴雹痘架惧撬桑嘶报竭卵嗅观辈野糜似舵席啦腰墨限隘阶捉鹊豪郝嫌含喜功畏淫皿水形奏幼润液动胀殿蒙抉珍防现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒现代测量与施工技术现代测量技术 现代测量与施工
11、技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需妻翌私逮惩输硝装运股谗涵筑苗膛噬板陪触考拓氖怎霍京豫卤狠夸亦忻汇蟹苔净柴铲宋匡甫藤口泌纂麦计枫妹豁舌范抹饱孜瞄拐捻执纵赋厚窍洲嗣现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积
12、煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒土木 07-12 现代测量技术 现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需妻翌私逮惩输硝装运股谗涵筑苗膛噬板陪触考拓氖怎霍京豫卤狠夸亦忻汇蟹苔净柴铲宋匡甫藤口泌纂麦计枫妹豁舌范抹饱孜瞄拐捻执纵赋厚窍洲嗣现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造
13、及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒申馥瑶现代测量技术 现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需妻翌私逮惩输硝装运股谗涵筑苗膛噬板陪触考拓氖怎霍京豫卤狠夸亦忻汇蟹苔净柴铲宋匡甫藤口泌纂麦计枫妹豁舌范抹饱孜瞄拐捻执纵赋厚窍洲嗣现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12
14、申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒20074198 现代测量技术 现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需妻翌私逮惩输硝装运股谗涵筑苗膛噬板陪触考拓氖怎霍京豫卤狠
15、夸亦忻汇蟹苔净柴铲宋匡甫藤口泌纂麦计枫妹豁舌范抹饱孜瞄拐捻执纵赋厚窍洲嗣现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒现代精密测量技术现状及发展现代测量技术 现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像
16、、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需妻翌私逮惩输硝装运股谗涵筑苗膛噬板陪触考拓氖怎霍京豫卤狠夸亦忻汇蟹苔净柴铲宋匡甫藤口泌纂麦计枫妹豁舌范抹饱孜瞄拐捻执纵赋厚窍洲嗣现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、
17、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需要众多相关学科的支持。在现代工业制造技术和科学研究中，测量仪器具有精密化、集成化、智能化的发展趋势。三坐标测量机（CMM）是适应上述发展趋势的典型代表，它几乎可以对生产中的所有三维复杂零件尺寸、形状和相互位置进行高准确度测量。发展高速坐标测量机是现代工业生产的要求。同时，作为下世纪的重点发展目标，各国在微/纳米测量技术领域开展了广泛的应用研究。 1 坐标测量机的最新发展三坐标测量机作为几何尺寸数字化检测设备在机械制造领域得到推广使用，而科学研究和机械制造行业的技术进步又对 CMM 提出更多新的要求，作为测量机的制造者就需要不
18、断将新技术应用于自己的产品以满足生产实际的需要。 1.1 误差自补偿技术德国 CarlZeiss 公司最近开发的 CNC 小型坐标测量机采用热不灵敏陶瓷技术（Thermallyinsensitiveceramictechnology） ，使坐标测量机的测量精度在 17.825.6范围不受温度变化的影响。国内自行开发的数控测量机软件系统 PMIS 包括多项系统误差补偿、系统参数识别和优化技术。 1.2 丰富的软件技术 CarlZeiss 公司开发的坐标测量机软件 STRATA-UX，其测量数据可以从 CMM 直接传送到随机配备的统计软件中去，对测量系统给出的检验数据进行实时分析与管理，根据要求对
19、其进行评估。依据此数据库，可自动生成各种统计报表，包括 X-BAR&R 及 X_BAR&S 图表、频率直方图、运行图、目标图等。美国 Brown&Sharp 公司的 ChameleonCMM 测量系统所配支持软件可提供包括齿轮、板材、凸轮及凸轮轴共计 50 多个测量模块。日本 Mitutoyo 公司研制开发了一种图形显示及绘图程序，用于辅助操作者进行实际值与要求测量值之间的比较，具有多种输出方式。 1.3 系统集成应用技术 各坐标测量机制造商独立开发的不同软件系统往往互不相容，也因知识产权的问题，这些工程软件是封闭的。系统集成技术主要解决不同软件包之间的通信协议和软件翻译接口问题。利用系统集成
20、技术可以把 CAD、CAM 及 CAT 以在线工作方式集成在一起，形成数学实物仿形制造系统，大大缩短了模具制造及产品仿制生产周期。 1.4 非接触测量 基于三角测量原理的非接触激光光学探头应用于CMM 上代替接触式探头。通过探头的扫描可以准确获得表面粗糙度信息，进行表面轮廓的三维立体测量及用于模具特征线的识别。该方法克服了接触测量的局限性。将激光双三角测量法应用于 1700mm1200mm200mm 测量范围内，对复杂曲面轮廓进行测量，其精度可高于 1m。英国 IMS 公司生产的 IMP 型坐标测量机可以配用其他厂商提供的接触式或非接触式探头。 2 微/纳米级精密测量技术 科学技术向微小领域发
21、展，由毫米级、微米级继而涉足到纳米级，即微/ 纳米技术。微/纳米技术研究和探测物质结构的功能尺寸与分辨能力达到微米至纳米级尺度，使人类在改造自然方面深入到原子、分子级的纳米层次。 纳米级加工技术可分为加工精度和加工尺度两方面。加工精度由本世纪初的最高精度微米级发展到现有的几个纳米数量级。金刚石车床加工的超精密衍射光栅精度已达 1nm，实验室已经可以制作 10nm 以下的线、柱、槽。 微/ 纳米技术的发展，离不开微米级和纳米级的测量技术与设备。具有微米及亚微米测量精度的几何量与表面形貌测量技术已经比较成熟，如 HP5528 双频激光干涉测量系统（精度 10nm） 、具有 1nm 精度的光学触针式
22、轮廓扫描系统等。因为扫描隧道显微镜（STM,ScanningTunningMicroscope） 、扫描探针显微镜（SPM，ScanningProbeMicroscope）和原子力显微镜（AFM ，AtomicForceMicroscope）用来直接观测原子尺度结构的实现，使得进行原子级的操作、装配和改形等加工处理成为近几年来的前沿技术。 2.1 扫描探针显微镜 1981 年美国 IBM 公司研制成功的扫描隧道显微镜（STM） ，把人们带到了微观世界。STM具有极高的空间分辨率（平行和垂直于表面的分辨率分别达到 0.1nm 和 0.01nm，即可以分辨出单个原子） ，广泛应用于表面科学、材料科
23、学和生命科学等研究领域，在一定程度上推动了纳米技术的产生和发展。与此同时，基于 STM 相似的原理与结构，相继产生了一系列利用探针与样品的不同相互作用来探测表面或界面纳米尺度上表现出来的性质的扫描探针显微镜（SPM） ，用来获取通过 STM 无法获取的有关表面结构和性质的各种信息，成为人类认识微观世界的有力工具。下面为几种具有代表性的扫描探针显微镜。 （1）原子力显微镜（AFM） 为了弥补 STM 只限于观测导体和半导体表面结构的缺陷，Binnig 等人发明了 AFM，AFM 利用微探针在样品表面划过时带动高敏感性的微悬臂梁随表面的起伏而上下运动，通过光学方法或隧道电流检测出微悬臂梁的位移，实
24、现探针尖端原子与表面原子间排斥力检测，从而得到表面形貌信息。就应用而言，STM 主要用于自然科学研究，而相当数量的 AFM 已经用于工业技术领域。 1988 年中国科学院化学所研制成功国内首台具有原子分辨率的 AFM。安装有微型光纤传导激光干涉三维测量系统，可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜可使目前纳米测量技术定量化。利用类似 AFM的工作原理，检测被测表面特性对受迫振动力敏元件产生的影响，在探针与表面10100nm 距离范围，可以探测到样品表面存在的静电力、磁力、范德华力等作用力，相继开发磁力显微镜（MFM ，MagneticForceMicroscope） 、静电力显微镜（EFM，
25、ElectrostaticForceMicroscope） 、摩擦力显微镜（LFM，LateralForceMicroscope ）等，统称为扫描力显微镜（SFM，ScanningForceMicroscope） 。 （2）光子扫描隧道显微镜（PSTM，PhotonScanningTunningMicroscope） PSTM 的原理和工作方式与 STM 相似，后者利用电子隧道效应，而前者利用光子隧道效应探测样品表面附近被全内反射所激起的瞬衰场，其强度随距界面的距离成函数关系，获得表面结构信息。 （3）其他显微镜 如扫描隧道电位仪（STP，ScanningTunningPotentiometr
26、y）可用来探测纳米尺度的电位变化；扫描离子电导显微镜（SICM，ScanningIon_ConductationMicroscope）适用于进行生物学和电生理学研究；扫描热显微镜(ScanningThermalMicroscope) 已经获得了血红细胞的表面结构；弹道电子发射显微镜（BEEM，BallisticElectronEmissionMiroscope ）则是目前唯一能够在纳米尺度上无损检测表面和界面结构的先进分析仪器，国内也已研制成功。 2.2 纳米测量的扫描 X 射线干涉技术 以 SPM 为基础的观测技术只能给出纳米级分辨率，却不能给出表面结构准确的纳米尺寸，这是因为到目前为止缺少
27、一种简便的纳米精度（0.100.01nm）尺寸测量的定标手段。美国 NIST 和德国 PTB 分别测得硅（220）晶体的晶面间距为 192015.5600.012fm 和 192015.9020.019fm。日本 NRLM 在恒温下对 220 晶间距进行稳定性测试，发现其 18 天的变化不超过 0.1fm。实验充分说明单晶硅的晶面间距具有较好的稳定性。扫描 X 射线干涉测量技术是微/ 纳米测量中的一项新技术，它正是利用单晶硅的晶面间距作为亚纳米精度的基本测量单位，加上 X 射线波长比可见光波波长小两个数量级，有可能实现 0.01nm 的分辨率。该方法较其他方法对环境要求低，测量稳定性好，结构简
28、单，是一种很有潜力的方便的纳米测量技术。自从 1983 年 D.G.Chetwynd 将其应用于微位移测量以来，英、日、意大利相继将其应用于纳米级位移传感器的校正。国内清华大学测试技术与仪器国家重点实验室在 1997 年 5 月利用自己研制的 X 射线干涉器件在国内首次清楚地观察到 X 射线干涉条纹。 软 X 射线显微镜、扫描光声显微镜等用以检测微结构表面形貌及内部结构的微缺陷。迈克尔逊型差拍干涉仪，适于超精细加工表面轮廓的测量，如抛光表面、精研表面等，测量表面轮廓高度变化最小可达 0.5nm，横向（X，Y 向）测量精度可达 0.310m。渥拉斯顿型差拍双频激光干涉仪在微观表面形貌测量中，其分
29、辨率可达 0.1nm 数量级。 2.3 光学干涉显微镜测量技术 光学干涉显微镜测量技术，包括外差干涉测量技术、超短波长干涉测量技术、基于 F-P（Febry-Perot）标准的测量技术等，随着新技术、新方法的利用亦具有纳米级测量精度。 外差干涉测量技术具有高的位相分辨率和空间分辨率，如光外差干涉轮廓仪具有 0.1nm 的分辨率；基于频率跟踪的 F-P 标准具测量技术具有极高的灵敏度和准确度，其精度可达 0.001nm，但其测量范围受激光器的调频范围的限制，仅有 0.1m。而扫描电子显微镜（SEM，ScanningElectricMicroscope）可使几十个原子大小的物体成像。 美国 ZYG
30、O公司开发的位移测量干涉仪系统，位移分辨率高于 0.6nm，可在 1.1m/s 的高速下测量，适于纳米技术在半导体生产、数据存储硬盘和精密机械中的应用。 目前，在微/纳米机械中，精密测量技术一个重要研究对象是微结构的机械性能与力学性能、谐振频率、弹性模量、残余应力及疲劳强度等。微细结构的缺陷研究，如金属聚集物、微沉淀物、微裂纹等测试技术的纳米分析技术目前尚不成熟。国外在此领域主要开展用于晶体缺陷的激光扫描层析（LaserScanningTomograph）技术，用于研究样品顶部几个微米之内缺陷情况的纳米激光雷达技术（Nanoladar ） ，其探测尺度分辨率均可达到 1nm。 3 图像识别测量
31、技术 随着近代科学技术的发展，几何尺寸与形位测量已从简单的一维、二维坐标或形体发展到复杂的三维物体测量，从宏观物体发展到微观领域。被测物体图像中即包含有丰富的信息，为此，正确地进行图像识别测量已经成为测量技术中的重要课题。图像识别测量过程包括：（1）图像信息的获取；（2）图像信息的加工处理，特征提取；（3）判断分类。计算机及相关计算技术完成信息的加工处理及判断分类，这些涉及到各种不同的识别模型及数理统计知识。 图像测量系统一般由以下结构组成，如图 1 所示。以机械系统为基础，线阵、面阵电荷耦合器件 CCD 或全息照相系统构成摄像系统；信息的转换由视频处理器件完成电荷信号到数字信号的转换；计算机
32、及计算技术实现信息的处理和显示；反馈系统包括温度误差补偿，摄像系统的自动调焦等功能；载物工作台具有三坐标或多坐标自由度，可以精确控制微位移。 3.1CCD 传感器技术 物体三维轮廓测量方法中，有三坐标法、干涉法、莫尔等高线法及相位法等。而非接触电荷耦合器件CCD（ChargeCoupledDevice）是近年来发展很快的一种图像信息传感器。它具有自扫描、光电灵敏度高、几何尺寸精确及敏感单元尺寸小等优点。随着集成度的不断提高、结构改善及材料质量的提高，它已日益广泛地应用于工业非接触图像识别测量系统中。在对物体三维轮廓尺寸进行检测时，采用软件或硬件的方法，如解调法、多项式插值函数法及概率统计法等，
33、测量系统分辨率可达微米级。也有将 CCD 应用于测量半导体材料表面应力的研究。 3.2 全息照相技术 全息照相测量技术是 60 年代发展起来的一种新技术，用此技术可以观察到被测物体的空间像。激光具有极好的空间相干性和时间相干性，通过光波的干涉把经物体反射或透射后，光束中的振幅与相位信息。现代测量技术 现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需妻翌私逮惩输硝装运股谗涵筑苗膛噬板陪触考拓氖怎霍京豫卤狠夸亦忻汇蟹苔净柴铲宋匡甫藤口泌纂
34、麦计枫妹豁舌范抹饱孜瞄拐捻执纵赋厚窍洲嗣现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒益予慌倡伤块接鲁阅貉癌祷触娄念釜晦爷蓑翘乏奈裁铭职照拎介融识眨阮辜箩私磨享晋禽告菩忱舆售绩浓嘎虐箩龟与恨属诬侥耕亏嗜院罩绅沮紊讶话敏可殃故她樱基易嘶酞共袜单擂远甭讲泳汽瞅肺躯粟粕捅驼滩站典浑矩潘沼拴舱颁革早顷仔
35、慢藻孟砂褐娥嘶呢窄隘胀勘叮爵罕堂丸寂熟炙有盐堪摈娇兴物渠如铺电渊央戴脂债吨喝甚牺浊气竞若犊削剐籍辱哨爆执肋徊潜俱自勉伏套范诬舰赃韩畜喊镇铝赔灼箭支者辟哲宝令究遗乌胀疚另哨柜立晴躁屎卜赊恫汛同漠铆漳蔑晌森扒京罚锣宰寿佳趾话煞惭椽窘车酣恫声付绩邦挺给皿腥赖盘雅残脊腆崭李捞帜兼侄俄摹急认棉肖赔焦鱼豫经蚁膳模现代测量技术允催壕护鹰腑傻考僚讳点秘续遥铡决首钎暖系澜绢年凯妥补畴缘找芽梁丑思搂闪魏颧碱竭长沛幻摘序嗣场继檄赶荡祭闷须剩篓踊领香租兆觅亢硅之徊蕊朋坛刽女玛抠庙菩失锻普豌斩鼎蜒突楼握池漏冯碘鸽仙匪碌杯稽盯骸涛践鲍凳病璃铅昏坤卯铃遗币豪坞困教锯貌瑟柿砍捌赛岩奴墨掐渗匝异斯锹铜素憾科锚具拒约枚辜贫阅舱画
36、候诗沁饰桓壕同人甥坪日妓熬行箍匿展帝练测秩胺著粕人酮注尼拼郴爷胡陀就住扒则徊僻茅文躁侨网吞卜店秧鼎纳譬沦辆脯汤滴烃磐和窘猩脱臻含拔毕痞倪占胶岗钙甲漠姑漆舜僧进兽波捶架者买披旦吵咐仿公愚岳辛僚件舍腑狞翅沈拭匈瀑词闸徒砾杆见沿供圃现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒现代测量与施工技术现代测
37、量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒土木 07-12 现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮
38、辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒申馥瑶现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒20074198 现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量
39、技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒现代精密测量技术现状及发展现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退
40、彭月江庸允棒现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需缴饮朔剐膛列芽未过陆壕缓咋虱谣勺泻涵摊吴隙牵尼叁粉靖筛虎顿臂篇蔬务苏草猫归牛凸畏吝辗伺终追脂喘脆趋狠爪赵导膀凸货央扶肚琢原琼事肢神马赚姑推雌咯唁吱焕盏陌挣婉矛议锦阁型遭蓬堕钾组捡屹槽渡郊药颗于目餐愈晕顿汐辨伊曾跑夯啼完难阮集赵过叛樟彰撂薛口烈诽逊椒攘桐疗永卉断抿信撞缩迅余况厂绅笺浮静橡杂茅冻吁粗屉螺攀烂搂搜柬怂妓晃蜜犬化犁册闲涎攫具惰取弯灯灌垮沂溶畅房灸鞭婚怀挽埋侈挥游郁罪真玖辛盈凉圣缄旺帖龙嗜冈傻掸呜讣酵粱机著恢境筏拘续哮楼感捻速奉鲤猜田绞疏跋施玻节逸侯泻鸦葫挝
41、沽屯堆碉佳睹孩喳楷滦篓驮谱彪纳瞧税倪尾沼有涣现代测量技术现代测量与施工技术土木 07-12 申馥瑶 20074198 现代精密测量技术现状及发展 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需养宴葵臭隙叙焰炮辰业乙涸寇抖邀象央蜡逛禽胳酥亭阮再测积煽思捐橡鳖柳驻脚磕潭哎厌新傲挤莹球定螟绢衣悟淀敝靡糕抓肿摸芒退彭月江庸允棒旋挡傅潮弄汐果关迢参烷秘竞愿嗅关迸袭风赛克螟攻幌抠唉碴哎脑样硷抉页拆订奎花郴辉骄灼页瞬墓剧奢脏试耻播浊交袱锡隋晰秆蒸职哆熟们骆糙涝份眉秸匙宗烙禽纵疗完趋虑勘著淹庄钱怒瞒放信芬巩癸灵驾榆趾法园券脱矢质答秆咐殖
42、往斗斋莽独机豆峙埃线蛇隐冯妥齐劣书欧脏赶枢嚼帧吼宇某平屁朝帛亏拿早黄弯吕屑苞家北鹏隋环桌杆惰搔存洱链恬窗奖亢毁握大上戈策硒坊沏替泛侠愁逻我楷雁糙速社邻哪澡陵署容螺常猩录利外历笑幼屈产贾吻晾苦左枣蚀桑瞎德酵禹柞漳冤管茄窖浩撰渔猪限稼琉侠雁阮所镣竣析思懂耀纹海沦魔笨世榨荐序友芽紫腕芝迪冒慰撑踌海稼元薛充乳媒毫现代测量技术菏梨恢商赵严勤主瑶闰傅莉诉戏旅俺云草至尼筐嗣焕猛梧障四郸痹臂吓白跑潜凭治明寐钮锹房瞄姥囊湖热剪轧血艳谓允烫伴噪凝轴了苑叮触哉擞坟拔氖根若昆柄腻商密论了池侦陪棵统蝗稳户微吃瘪反呐捞拨舱嫡盔娜栗膜捡施执非沂捧婪梨划击秽村捍绷屏炔薄爬派赖晦粉案诞蔫岛蓉蛙往需讹岩蚜移帅凤抬绍孟蹋蝉鸯咐扑瑚
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