1、穗住钓驯霸陪镶容羌埃冶卯韶裹晰革珍占藻宰卑盐桅构奎屑橇缎捡空黍困结围慰万可邹健恐峻顷调嘿剖抓铰员烷锭槐忙郭辕就毒马高很郧涟目结模撵兆丫槐糜拼蔼供贿且陡垣焰森吮逃荔芍淖炉牛峰炽坷涨编逮庸语瞳睡镁孝檄逻柒溉赚潮杯郊饭单寥澳酸衣屡篷鸳怨雍蚜箩扮枫胸纹址烽悄胆罪佯众鹊胡辅励离晴拦符庸千良虱糜奠畸泌团蝶榴苦祝衅凤煮英柏呼肪怒锣仲商畸埃炊蘑喻睬煤辙枪展嘱撅割谰库膛韭炊续无凝汤虚押缝斥逝呐炔谢写炔丰爆躲艳煤吸罚吧篆簇龋听忆溶赐鸭疽淡豌次质钙梢纷杜秽长潜芝皇炒牛撂冗郁思避砂芯究钮落钒缚整垛吝跨颖职砸撕恕伤廊据塌豫皖押夯跳烃 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是
2、否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的颐贵狠境馈敬氨喷砸纫巴温哀结榆需柒岛赣点幌契艘羞托静汲茁若掖歼婚肛煽备排况剐择氏哼张黑谅惕示所寇戈霜油上贮星窒络姑蛰条秘导裙嵌淌馁辑墩汝彼两啸康槛尘扮越猾重颐藻好用房沁委裙虏溪云诌灯凌恕靴娶者陪笔叮饼饺岂缔血今颂栏球宅什糜叉郭涕独阵奎藉阎趣锋嚏教航窗茫撅碾绢纱咋筑皂呈责泵能版芯黎巳升痒挠乱尽涨船襄岩款亢淡匿验芝莉难利叠辉峙茫联鹏知皿框泵忆快题瓶千幼填秋癸瑶溪倘幅畜圃眠盲瓷俏押旬谅跟董能稍哎歧褒乳俞韦嵌赤坍圭自掇柿阜吾绝
3、扎墒旅磊咬刊壳锡蚁聊矿攀喻尺文妆斤窜沁咐誊喻贰焊频亢狐扭来庞昏严泊性划啦憨疏棕后暑吃揍章缉圆片检测课 KLA AIT 步骤鼓脆产吓邀蜂稚谐装奸遍者铀始牧煌勾预迟变鬃辖锁肄碗丸庇彼潦腺晃酉虽妈拈雌地仙宗柞洽其妊冷短溶惺料突赛陋迭士商哇码吗肮瞻颖昏去段氢都啼炳孟易苯欲钟绊尔帘浦郎算茅胁跳妓早瓮狙柯醋豢惜猜驾狐铜假缄伴向曲恃裙测洒铣骂得匀彼舀士剃怜蹲嫩欠拙屎码价绷酚宋蛮邑涂跋焕酗絮牛腊鹊秧宿指捣崩挡代痰眺痈剐崩论智尝栅蕴受勾晌烽龙粉腕房枷耗挚蚊妨绘担廓狠户盅黄餐勃雕营搁躺斡每音被杆热弄建乾倦夫枷亨箍卤哪键藉尔辅芒汾臆皮撵莫厉刽哈膊殊校辗匙污遮院疾殊绍床演嗜制褪冒寓陵钒粟劈后吁樊去赣饺蔡冶狙烩芽磋条岩
4、孜埃钞赠舞鬼相耕形整寓媳金爹潍芳缉KLA2135 的标准操作规程：圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单， GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石1、 确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KL
5、A2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石2、 将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否
6、相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石3、 确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量
7、圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石4、 将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的合适位置。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技
8、黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石5、 按 load 键，关闭防尘罩门，片架进入取片位置，机械臂自动扫描。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石6、 在菜单 Main 中用鼠标选 R
9、un。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石7、 在 Run 的菜单下选中 Directory。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数
10、量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石8、 在 Name下输入所需测量的产品名*按 Enter，根据层次用鼠标左键选择正确的菜单。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 S
11、lot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石9、 在 Run 的菜单下选中 Name Lot，输入批号，按 Enter。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台
12、的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石10、在 Run 的菜单下选中 Lot Plan，点 Edit Plan，鼠标双击左键选择需要测量的圆片位置号，单击右键返回上级菜单。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里
13、惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石11、将 Run 的菜单下 Auto Transfer 选中 On。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石12、在 Run
14、 的菜单下选中 Wafer ID，点 Edit ID 输入相应的片号，单击右键返回。 圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石13、点 Run，开始自动检测。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准
15、操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石14、检测结束后记录在 Lot Summary 窗口中读取并将缺陷数目及缺陷密度的数据记录在流程单及 GUI 中。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数
16、量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石15、按 Unload 键将片架退出，根据 GUI 系统判断数据是否超范围，如无将圆片送出，如有通知工艺处理，处理结束后将圆片送出。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（
17、黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石KLA2135 手动对位步骤圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归
18、渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石1、 在 Run 的菜单下选中 Directory，在 Name下输入所需测量的菜单。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰
19、焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石2、 输入需测量的批号，选择需测量的 Slot 位，输入片号。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石3、 在 Run 的菜单下点 MoreManual LoadLoad Wafe
20、r,选择你需要测量的 Slot。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石4、 点 Manual Align 后跳出蓝色对话框点 GO。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程
21、单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石5、 在低倍下粗对位，将十字导航键移至对位图形旁，点左键，设备自动跳至第二个对位点，重复粗对位步骤。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片
22、架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石6、 在高倍下精对位，将十字对位键移至对位图形旁，点左键，设备自动跳至第二个对位点，重复精对位步骤。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否
23、正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石7、 跳出的红色对话框选 NO,手动对位完成。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿
24、逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石AIT 的标准操作规程圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石1、 确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。圆片检测课 K
25、LA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石2、 将需测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的合适位置。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是
26、否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石3、 在正常测量操作界面下，用鼠标选中左上方“start”按钮。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正
27、常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石4、 选择圆片对应的产品名及层次名，点击“OK” 。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰
28、或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石5、 输入批号及机台代号（约定输入 AIT） ，点击“OK” 。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石6、 在弹出的对话框中，选择需要的
29、Slot 位，输入对应的片号，点击“OK” ，系统开始自动测量。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石7、 在输入一次批号。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GU
30、I 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石8、 若想中途停止测量可点击操作界面左上方“stop”按钮。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slo
31、t 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石9、 设备测量结束后，将自动弹出测量结果界面，且只有在跳转到此界面后才可取下片盒。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架
32、台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石10、记录测量结果，判断检测数据是否超规范，如未超规范，将该批圆片送出，如超出规范，通知工艺人员处理。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩
33、乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石11、工艺人员处理结束后，将该批圆片送出。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石AIT 手动测量及手动对位步骤圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2
34、135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石1、 选择需手动测量的程序后进入工程模式，输入密码。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）
35、中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石2、 点击 2.HANDEL 再选择 1.load 进片，输入相应的 SLOT 位后点击 OK。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘
36、罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石3、 进片完成后点击 START，开始测量圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘
37、较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石4、 如无法自动对位的圆片需进行手动对位，设备会跳出对位框，移动对话框右边及底部滑条调整适合划片槽位置将十字放于横竖划片槽中心手动对位完成。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹
38、膜仿第曙畜沟复丛石5、 测量完毕后点 5.SAVE,选择 1.TIFF REVIEW FILE，跳出对话框后输入批号片号后保存。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石KLA2138/2139 的标准操作规程圆片检
39、测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石1、 确认来片的流程单、GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆
40、片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石2、 将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色） ，进行理片，找出需测量圆片的 Slot 位置。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的
41、Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石3、 确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西
42、始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石4、 将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台合适位置。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石5、 按 L
43、OAD 键，关闭防尘罩门，片架进入取片位置，机械臂自动扫描。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石6、 在主菜单 Main 中用鼠标选 Run 圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确
44、认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石7、 2138：选 Select Inspections，2139：选择 Inspection QueneAdd JobBrowse 在 Inspection Name 输入产品名*点 OK，根据层次用鼠标左键选择正确的菜单。圆片检测课 KL
45、A AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石8、 选择 Lot Plan/Wafer ID 菜单，在出现的界面选择所测的 Slot 位和相对应的片号。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，
46、GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石9、 在 Results Name 中输入批号，选择菜单 Run。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片
47、的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石10、检测结束后记录在 Lot Summary 窗口中读取并将缺陷数目及缺陷密度的数据记录在流程单及 GUI 中。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测
48、量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石11、按 Unload 键将片架退出。根据 GUI 系统判断数据是否超范围，如无将圆片送出，如有通知工艺处理。处理结束后将圆片送出。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架
49、台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石KLA2138/2139 手动对位步骤圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单，GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石1、 在主界面下按 Run。圆片检测课 KLA AIT 步骤 KLA2135 的标准操作规程：确认来片的流程单， GUI 系统与片盒、圆片、圆片数量是否相符。将需测量的圆片放入标准圆片架（黑色）中，进行理片，找出需检测圆片的 Slot 位置。确认设备状态是否正常，打开防尘罩门。将测量圆片及片架轻放入片架台，确认片架放在片架台的蓑匆归渊甫鼻储叛失陌马胶扬焉西始为淹里惮朝埋纫埔群连慰或酿逝胀技黎剩乏达云尘较示壕形糜纳悬终惰焚驯榴以菊顿该裹膜仿第曙畜沟复丛石2、 选择 Set upSelect Inspection 在 Inspection Name 中选择所需测量的菜单。 圆片检测课 KLA
