1、真空阀门真空阀门在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件称为真空阀门。 真 空 阀 门 具 有 下 列 特 点 ： 压 力 低 于 大 气 压 ， 而 阀 瓣 上 的 压 降 不 能 超 过 1 公 斤 力 /厘 米 2。 介 质 的工 作 温 度 取 决 于 使 用 装 置 的 工 艺 过 程 。 温 度 一 般 不 超 过 -70 +150 的 范围 。 对 这 类 阀 门 最 基 本 的 要 求 是 保 证 连 接 的 高 度 密 封 性 和 结 构 与 垫 片 材 料 的致 密 性 。 按 介 质 压 力 真 空 阀 门 可 分 成 四 组 ： 1）
2、 低 真 空 阀 门 ： 介 质 压 力 p=7601 毫 米 汞 柱 ； 2） 中 真 空 阀 门 ： p=110-3 毫 米 汞 柱 。 3） 高 真 空 阀 门 ： p=110-4 110-7 毫 米 汞 柱 ； 4） 超 高 真 空 阀 门 ： p 110-8 毫 米 汞 柱 。 作 为 通 径 小 于 250 毫 米 的 闭 路 阀 门 ， 被 广 泛 采 用 的 的 阀 杆 作 直 线 运 动 的真 空 波 纹 管 截 止 阀 。 闸 阀 却 受 到 较 大 的 限 制 ， 但 这 主 要 是 对 于 大 通 径 来 说 的 。可 用 的 还 有 球 形 旋 塞 阀 （ 球 阀 ）
3、 、 柱 塞 阀 和 蝶 阀 。 作 真 空 阀 用 的 旋 塞 阀 未得 到 推 广 ， 因 为 旋 塞 阀 需 要 用 油 润 滑 ， 使 油 汽 可 能 进 入 真 空 系 统 ， 而 这 是 不允 许 的 。 真 空 阀 门 既 可 用 现 场 手 控 和 遥 控 ， 也 可 用 电 动 、 电 磁 传 动 （ 电 磁阀 ） 、 气 动 和 液 动 控 制 。 真 空 阀 门 关 闭 件 是 用 像 胶 密 封 圈 或 金 属 密 封 圈 来 密 封 的 。 波 纹 管 截 止 阀的 波 纹 管 是 用 不 锈 钢 、 高 锌 黄 铜 JI80、 塑 料 和 其 他 材 料 制 成 。
4、 小 通 径 （ 口径 在 10 毫 米 以 下 ） 的 截 止 阀 关 闭 件 可 采 用 膜 片 密 封 。 低 真 空 和 中 真 空 可 以采 用 球 形 旋 塞 阀 。 真 空 阀 门 型 号 组 成 ： 正 确 选 择 阀 门 的 型 号 和 规 格 就 要 了 解 真 空 阀 门 的 型 号 的 编 制 方 法 ;本 公司 真 空 阀 门 的 型 号 编 制 方 法 与 ZBJ78016-89 真 空 阀 门 型 号 、 编 制 方 法 基 本 相 似 。 产 品 型 号 由 基 本 型 号 和 辅 助 型 号 两 部 分 组 成 ， 中 间 用 短 横 线 隔 开 ，型 号 构
5、 成 如 下 所 示 ： 代 表 产 品 的 使 用 真 空 度 范 围 ， 以 其 关 键 字 汉 语 拼 音 第 一 个 字 母 (印 刷 体大 写 )表 示 1. 代 表 真 空 度 范 围 为 ： 低 真 空 10510-1Pa (76010 托 ) 用 D； 2. 代 表 真 空 度 范 围 为 ： 高 真 空 10510-4Pa (76010-6 托 ) 用 G； 3. 代 表 真 空 度 范 围 为 ： 超 高 真 空 10 10-7Pa (760 10-9 托 ) 用 C； 代 表 阀 板 结 构 形 式 或 产 品 职 能 类 别 ， 以 其 关 键 字 汉 语 拼 音 第
6、一 (或 第 二 )个字 母 (印 刷 体 大 写 )表 示 如 ： C 插 板 阀 、 Q 充 气 阀 、 D 挡 板 阀 、 U 球 阀 、 F 翻 板 阀 、 W 微 调阀 、 I 蝶 阀 、 Y 压 差 阀 、 M 隔 膜 阀 ； 代 表 产 品 驱 动 方 式 ， 以 其 关 键 字 汉 语 拼 音 第 一 个 字 母 (印 刷 体 大 写 )表示 ： S 手 动 、 D 电 动 、 Q 气 动 、 C 磁 动 、 Y 液 动 ； 代 表 阀 门 通 道 形 式 ， 以 其 关 键 字 汉 语 拼 音 第 一 个 字 母 (印 刷 体 大 写 )表示 ： Z 直 通 阀 、 J 角
7、通 阀 、 S 三 通 阀 ； 特 例 : 只 有 带 充 气 的 阀 门 用 汉 语 拼 音 大 写 字 母 Q 作 代 号 ， 其 它 种 类 阀门 均 不 用 符 号 作 代 号 。 代 表 产 品 规 格 参 数 -公 称 通 径 ， 以 阿 拉 伯 数 字 表 示 ， 单 位 为 （ mm） ： 如 ： DN 16mm， 100mm， 500mm 等 用 16， 100， 500 等 表 示 。 特 例 ： 极 个 别 产 品 用 阿 拉 伯 数 字 表 示 其 性 能 参 数 ， 如 GW-30-T 型 高 真空 微 调 阀 的 型 号 中 “30“表 示 高 真 空 微 调 阀
8、的 最 大 可 调 量 为 30 Torr.L / S 。 角 注 代 表 轴 封 密 封 结 构 ， 目 前 只 有 不 锈 钢 波 纹 管 作 轴 封 时 用 汉 语 拼 音 小写 字 母 b 作 代 号 ， 其 它 密 封 结 构 (如 橡 胶 密 封 、 聚 四 氟 乙 烯 等 )均 不 用 字 母表 示 。 只 有 个 别 产 品 (如 真 空 (压 力 )球 阀 )用 带 括 弧 的 大 写 英 文 字 母 表 示 连 接方 式 或 阀 门 主 密 封 副 材 料 的 代 号 。 ( KF ) 表 示 采 用 GB4982 夹 紧 型 真 空 快 卸 法 兰 标 准 ， ( G )
9、 表 示采 用 GB7306 圆 柱 管 螺 纹 标 准 ， ( F ) 表 示 采 用 GB6070 活 套 真 空 法兰 标 准 ， ( JB ) 表 示 采 用 JB919-75 真 空 法 兰 标 准 H 或 H( ) 表示 阀 门 两 端 接 口 采 用 焊 接 结 构 形 式 ， H( ) 表 示 阀 门 一 端 连 接 口 采 用 焊 接结 构 形 式 ， 另 一 端 采 用 插 橡 胶 管 的 插 嘴 结 构 形 式 ； 以 次 类 推 第 几 次 设 计 的 产 品 下 面 举 几 个 例 子 ： 1、 GM-25H( ) 高 真 空 隔 膜 阀 ， 公 称 通 径 25mm
10、， 两 端 焊 接 结 构 形 式 。 2、 CCQ-150 气 动 超 高 真 空 插 板 阀 ， 公 称 通 径 150mm。 3、 GID-250 电 动 高 真 空 蝶 阀 ， 公 称 通 径 250mm。 4、 GUQ-40(KF) 气 动 高 真 空 (压 力 )球 阀 ， 公 称 通 径 40mm， 连 接 方 式 为GB4982 夹 紧 型 真 空 快 卸 法 兰 DN40 的 快 卸 法 兰 。 5、 GD-J100b 高 真 空 挡 板 阀 ， 公 称 通 径 100mm， 通 导 形 式 为 角 式 ， 轴 封形 式 为 不 锈 钢 金 属 波 纹 管 。 6、 DYC-
11、JQ50 电 磁 真 空 压 差 阀 , 公 称 通 径 50mm， 通 导 形 式 为 角 式 。(低 真 空 一 般 只 需 真 空 两 字 即 可 )。 7、 DDC-JQ80 电 磁 真 空 带 充 气 阀 , 公 称 通 径 80mm， 通 导 形 式 为 角 式 。(低 真 空 一 般 只 需 真 空 两 字 即 可 )。 8、 GDC-J25b 电 磁 高 真 空 挡 板 阀 ， 公 称 通 径 25mm， 通 导 形 式 为 角 式 。轴 封 形 式 为 不 锈 钢 金 属 波 纹 管 。 真 空 阀 门 在 真 空 系 统 中 的 作 用1.开 关 气 路 ， 当 阀 1 和
12、 阀 4 关 闭 ， 阀 2 打 开 时 ， 机 械 真 空 泵 对 容 器I 抽 真 空 ， 气 流 流 经 预 真 空 抽 气 管 路 ； 当 阀 2 关 闭 ， 阀 4 打 开 时 ， 机 械 泵可 单 独 对 扩 散 泵 抽 真 空 ； 当 阀 1 和 阀 4 同 时 打 开 时 ， 扩 散 泵 和 机 械 泵 可 同时 工 作 ， 对 容 器 进 行 抽 空 ， 此 时 气 流 流 经 扩 散 泵 。 可 见 ， 阀 门 在 这 种 操 作 中的 作 用 是 开 关 气 路 ， 改 变 气 流 的 流 经 路 线 。 2.控 制 气 流 大 小 ， 调 节 真 空 度 在 图 1 中
13、 ， 调 节 阀 1 的 阀 盖 开 启 角 度 ，即 可 调 节 流 经 管 路 的 气 流 量 大 小 ； 关 闭 阀 2 和 阀 4， 通 过 放 气 阀 3 可 以 给机 械 泵 的 入 口 放 成 大 气 ； 通 过 放 气 阀 5 可 以 调 节 容 器 内 的 真 空 度 。 3.定 量 充 气 ， 在 玻 璃 阀 的 柱 塞 上 有 个 一 定 体 积 的 小 洞 ， 当 小 洞 转 向 右 边和 高 压 气 瓶 连 通 时 ， 小 洞 中 就 可 充 满 高 压 气 体 ； 当 它 转 向 左 边 和 真 空 容 器 连通 时 ， 就 把 该 体 积 的 高 压 气 体 放
14、进 容 器 中 去 ， 这 样 就 起 到 了 定 量 充 气 的 作 用 。真 空 阀 门 的 种 类 繁 多 ， 通 常 按 阀 门 的 职 能 、 结 构 型 式 、 驱 动 方 式 、 材 料和 用 途 进 行 分 类 。 通 用 真 空 阀 门 的 用 途电 磁 真 空 带 充 气 阀 与 电 磁 真 空 压 差 阀 是 专 门 用 于 防 止 机 械 真 空 泵 返 油 的真 空 阀 ， 安 装 于 机 械 真 空 泵 的 进 气 口 ， 并 与 泵 同 步 开 启 和 关 闭 。 一 般 不 能 用到 其 它 地 方 ， 也 就 是 说 不 能 用 于 真 空 系 统 中 作 放
15、 气 之 用 。 选 用 尼 威 电 磁 真 空压 差 阀 的 优 点 是 耗 电 量 很 小 ， 节 省 能 源 ;DN 50 的 阀 体 材 质 为 铝 合 金 ， 重 量轻 ， 体 积 小 ， 阀 板 关 闭 速 度 快 。 挡 板 阀 用 在 真 空 管 道 中 角 通 和 三 通 的 地 方 。 驱 动 方 式 为 手 、 气 、 电 磁 、电 动 由 用 户 决 定 。 其 中 GDC-J 型 电 磁 高 真 空 挡 板 阀 为 金 属 波 纹 管 密 封 ， 其 应用 范 围 较 广 ,也 可 当 充 气 阀 用 ;安 装 位 置 可 任 意 ,可 反 顶 一 个 大 气 压 ,
16、并 有 反馈 信 号 输 出 。 插 板 阀 用 在 真 空 度 要 求 高 或 管 道 尺 寸 要 求 高 的 场 合 。 全 通 导 、 阀 门 漏 率为 10-7Pa.L/S， 双 向 密 封 。 驱 动 方 式 手 、 气 、 电 动 由 用 户 决 定 。 气 动 和 电 动均 带 信 号 反 馈 装 置 。 隔 膜 阀 与 球 阀 为 直 通 式 ， 并 能 用 在 正 压 和 真 空 并 存 的 场 合 。 驱 动 方 式 手 、气 、 电 动 由 用 户 决 定 。 蝶 阀 为 直 通 形 式 ， 手 、 气 、 电 三 种 驱 动 方 式 由 用 户 决 定 。 手 动 蝶
17、阀 开 启角 度 任 意 可 调 ;智 能 型 的 气 动 和 电 动 蝶 阀 其 开 启 角 度 也 任 意 可 调 。 阀 门 的 使 用 条 件 ： 1.介 质 为 纯 净 空 气 或 非 腐 蚀 性 气 体 。 2.介 质 温 度 由 使 用 橡 胶 的 极 端 温 度 所 决 定 。 参 数 定 义1.公 称 通 径 ： (nominal diameter)， 又 称 平 均 外 径 (mean outside diameter)， 表 示 符 号 DN， 就 是 各 种 管 子 与 管 路 附 件 的 通 用 口 径 。 同 一 公 称直 径 的 管 子 与 管 路 附 件 均 能
18、 相 互 连 接 ， 具 有 互 换 性 .它 不 是 实 际 意 义 上 的 管道 外 径 或 内 径 ， 虽 然 其 数 值 跟 管 道 内 径 较 为 接 近 或 相 等 ， 为 了 使 管 子 、 管 件连 接 尺 寸 统 一 ， 采 用 公 称 直 径 （ 也 称 公 称 口 径 、 公 称 通 径 )。 例 如 焊 接 钢 管按 厚 度 可 分 为 薄 壁 钢 管 、 普 通 钢 管 和 加 厚 钢 管 。 其 公 称 直 径 不 是 外 径 ， 也 不是 内 径 ， 而 是 近 似 普 通 钢 管 内 径 的 一 个 名 义 尺 寸 。 每 一 公 称 直 径 ， 对 应 一 个
19、外 径 ， 其 内 径 数 值 随 厚 度 不 同 而 不 同 。 公 称 直 径 可 用 公 制 mm 表 示 ， 也 可 用英 制 in 表 示 。 管 路 附 件 也 用 公 称 直 径 表 示 ， 意 义 同 有 缝 管 。 2.公 称 压 力 ： (Nominal pressure)， 表 示 符 号 PN， 在 一 定 温 度 下 应 用时 允 许 的 最 大 工 作 压 力 。 对 碳 钢 阀 体 的 控 制 阀 ， 指 200 以 下 应 用 时 允 许的 最 大 工 作 压 力 ； 对 铸 铁 阀 体 ， 指 120 以 下 应 用 时 允 许 的 最 大 工 作 压 力 ；
20、对 不 锈 钢 阀 体 的 控 制 阀 ， 指 250 以 下 应 用 时 允 许 的 最 大 工 作 压 力 。 当 工 作温 度 升 高 时 ， 阀 体 的 耐 压 会 降 低 。 例 如 ， 公 称 压 力 为 6.4MPa（ PN64） 的 碳钢 控 制 阀 ， 用 于 300 时 的 耐 压 为 5.2MPa， 用 400 时 的 耐 压 为 4.1MPa，用 于 450 时 的 耐 压 为 2.9MPa。 因 此 ， 控 制 阀 公 称 压 力 的 确 定 不 仅 要 根 据 最高 工 作 压 力 ， 还 需 根 据 最 高 工 作 温 度 和 材 质 特 性 ， 而 不 仅 仅 只 需 满 足 公 称 压力 大 于 工 作 压 力 。
