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PECVD问题总结.doc
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1、PECVD 段问题总结色差原因:片间色差主要是石英管两边功率不匹配,没有达到一个平衡的状态。片内色差是石英管的一侧功率过小造成的,石墨框的边缘氮化硅沉积过厚导致硅片边缘镀膜偏薄,还有工艺腔掉片落在石英管上。解决方法:当出现某一侧硅片整体膜厚偏薄或偏厚时,就较少或增加对应某一侧的微波功率,每次调节幅度在 100-200W 之间,观察调试结果,若片间色差有所好转就继续加大调节幅度,若无明显好转,就调节另一侧的微波功率。当出现中间一排或两排镀膜不均时,就加大两边微波功率,调节幅度是 100-200W,同时加大传输速度,幅度在 1-2,若无明显改善就减少两侧微波功率,调节幅度 100-200w,同时减
2、小传输速度 2cm/min 左右。当出现片内色差时,当是边缘一竖排出现片内色差,就加大某一侧微波功率,无好转就打开工艺腔看是否碎片落在石英管上。当出现某一块石墨框有片内色差时,清理石墨框边缘较厚的氮化硅,当某一竖排出现片内色差时,开盖检查工艺腔石英管上是否有碎片,并清理干净。工艺压强不稳定原因:造成工艺压强过大或波动很大的原因有以下几种,真空滤网没有清理干净、盖板的密封圈上有杂物、密封圈有破损、石英管有裂纹。解决方法:当出现工艺腔真空波动较大时,一般是 2 号门、3 号门密封圈上有杂物,还有一种原因就是真空滤网没有清理干净,这时我们需要用无尘布擦拭密封圈,开盖清理真空滤网。当出现真空抽不下时,
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