1、调节黑圈的心得1, 影响黑圈的主要因素1.1 循环流量: 影响液面高度和药液的的流向,液面过低会导致粘不到液造成片子有滚轮印,液面过高会导致粘液过重,形成黑圈1.2 排风： 前后抽风会影响到槽体内的气压分布,抽风过大会导致片子有上翘现象,和液面的翻液严重,抽风过小会导致监控传感器报警,和液体向前流动慢.1.3 挡板: 影响液面高度高度和液面震荡,当板位置过低会导致液面低,粘不到液滚轮印, 当板位置过高会导致液从前挡板流出受阻,造成药液回流,形成震荡1.4 滚轮水平:入口处的滚轮水平要保证片子粘液正常 ,后粘液是片子的尾部先粘到药液然后向前扩散,前粘液片子的尾部先粘到药液然后向后扩散,后粘液对液
2、面的影响比前粘液好,调节时要保证挡板前的两根滚轮和挡板后的一根滚轮这 3 根滚轮水平.1.5 化学配比:HNO3 和 HF 的浓度对黑圈影响较大：HF 酸降低片子的亲水性, 从而影响药液的附着性使；HNO 浓度能影响片子的悬浮性； H2SO4 能增强药液的粘性，浓度高会使黑圈变的更黑。一般自动补液不准，会导致药液配比随寿命减少发生大的变化，导致黑圈2,调节技巧2. 1 滚轮的水平调节211 把刻蚀槽内的药液排掉，然后用水清洗 2 遍，清空后，修改配液参数：（总体积 380，H2SO4：0L； HNO3 浓度 0； HF 浓度 0）212 当液面打上来正常后，先观察调节整体的水平状况（观察滚轮露
3、出水面的大小，以第 8 道滚轮为基准） ，找到不水平点后，再用水平尺测量，根据测量结果，调节不水平点处的支点（先调节5-8 道，所有 5-8 道都调好后调节 1-4 道）213 整体滚轮调好后最后调节入口处的滚轮水平，调节时重点保证挡板前的 2 根和挡板后 1 根这 3 根滚轮的水平，通过观察片子粘液的情况对滚轮支点进行微调，保证片子在入口处的沾液正常（最好是片子后部先沾液）22 片子沾液正常后再调节前后挡板的高度，221：调节后挡板时，放张硅片上去，调节硅片到挡板的距离约为2MM，用 2MM 的内六角螺丝刀辅助调节（具体调节为：线松掉挡板螺丝，然后粗调到约 2MM 左右处，然后放硅片在上面，
4、让2MM 螺丝刀从下面的间隙扫过，如果扫过时略有带过片子就表示大约为 2MM）粗调好后最后用水平尺调节。保证挡板整体水平，调节好后要保证后挡板没有液体流过。222：调节前挡板时调节方法和后挡板一样，只是挡板高度不一样，挡板一般与流量有关，流量大挡板低，一般挡板高度在 5MM 左右，但是一定要保证液体顺畅地从前挡板流下去。23 排风的调节231 先观察液面的流动情况和液面的波动情况，和片子的黑圈的状况，调节黑圈的大小， （当片子有被吸的翘起来，和液面翻动时调小排风；当液面倒流翻动时，调大排风。调节时要注意前后的大小一致，避免排风在槽内旋转，引起液面翻动。 ）此外调节时要注意传感器的最小排风监控报
5、警。24 流量的调节 241 通过微调整流量的大小，在保证硅片沾液正常，前刻蚀线明显，背面没有滚轮印的前提下，尽量调小流量大小。 （一般约为25L/MIN）25 配比的调节251 自动补液装置使用时间久会，补液阀会导致补液不准确（一般是略加硫酸，减少 HF 增加 HNO3，改变会对刻蚀产生大的影响，具体的修改参数要通过工艺校正后修改， ）3调节步骤31 当接到黑圈的现象后，先观察确保：整体滚轮大致水平，前挡板流液顺畅，后挡板不流液，片子沾液正常，32 然后调节排风大小和流量的大小。 （注意调节幅度不要太大，同时要观察液面的状况和片子的黑圈状况）33 只有当排风和流量调不好，且发现挡板流液，滚轮
6、水平或粘液有明显异常时才对滚轮和挡板进行调节，不要随便改动挡板和滚轮状态（调节后要对自己的调节设备有信心）4其他影响黑圈的因素，41 片子的前后间距，42 循环泵药液的出口气泡43 背压式液位传感器的气泡（影响第 8 道）44 其他槽和外部的气流和抽风45 外围的抽风不稳定5对黑圈的个人见解当药液的配比正常时，排风，流量等影响因素都具有较大的调节空间。但是设备的使用过久，导致自动补加液装置不准，使药液浓度配比随着寿命的减少药液浓度配比失调严重，导致排风，流量等影响因素问题突出，且调节的范围变小，最终导致黑圈不稳定。所以化学配比的稳定是根本原因。6对滚轮黑圈的调节设备的职责调节黑圈时设备主要对：挡板的高度，滚轮的水平负责。要确保挡板和滚轮的工作状态
