1、JEM-2100F 型透射电子显微镜操作指南电镜日常初始状态：加速电压 160KV (Stand by 模式)1. 加电压：点击电脑主程序 Normal 按钮，高压由 160KV 升至 200KV，一般需要 15 分钟左右。2. 将样品（一定是干燥，洁净的样品!）放入样品杆，将样品杆送入样品室：分两步进行，先放入预抽室，打开预抽开关。进行预抽，等待 10 分钟后将样品杆进一步送入样品室。 （注：操作时一定要轻，在感觉有阻碍时切勿强行放入，要及时与老师沟通！）3. 打开 CCD 冷却机开关，打开 CCD 电脑，打开 ITEM 程序。4. 打开左控台左上角的 Beam 按钮，V1 阀开启。5. 调
2、节 Brightness（顺时针光散开，逆时针光汇聚）观察是否有聚光镜像散（无像散时光圈呈圆形，且反复调节 Brightness 时光圈始终中心放大缩小。否则则需要进行聚光镜消象散：将聚光镜光阑加入光路，使用光阑调节旋钮将光阑位置调正（与荧光屏呈同心圆） ，顺时针旋动 Brightness 使光圈汇聚成小圆盘，COND STIG 按下，调节 DEF 使中心点变为均匀的圆形（无拖尾现象） 。弹起 COND STIG 按钮。6. 合轴(使用前的简单合轴，在 40K 左右进行)1） 按下右控制面板上的 STD FOCUS，即恢复到标准的聚焦电压（在拍摄过程中也需要及时的使用STD FOCUS，按下它
3、后软件对话框上面的 defocus 就归零） 。2） 调节 SHIFT 旋钮将光圈中心调到荧光品中心。顺时针调节 Brightness 将光散开。3） 样品高度的确定：当物镜的焦距确定后，随后就需要来确定样品的高度，否则无法得到清晰的图像。方法：调整样品台的高度(Z)，使观察样品的图像正焦。 (按下 IMAGE WOBBLER 调节样品高度使样品的晃动最小（此时接近正焦位置） 。调整结束后弹起 IMAGE WOBBLER 按钮。)4） 电压中心的确认（在拍摄高分辨照片时必须进行的步骤）：在放大倍数为 100K 以上时调整，按下右侧面板上的 HT WOBBLER，观察光斑是否中心放大缩小，如果不
4、是，则按下左侧面板上的BRIGHT TILT，调节 DEF 旋钮，使样品中心放大缩小。调节结束后将 HT WOBBLER 和 BRIGHT TILT 按钮弹开。7. 调节完成后可以放入适当的物镜光阑，使用光阑调节旋钮将光阑位置调正（与荧光屏呈同心圆） ，此时可以进行样品形貌的观测。8. 点击 ITEM 软件的动态采集按钮，观察样品，如果发现有物镜象散（时时 FFT 显示不是圆形）拍照时按下 2 按钮，提示保存照片（注：有两张照片，格式有所不同，都需要保存，保存时统一保存在制定文件夹内，切忌乱存乱放!）9. 消物镜像散：尽量选择样品薄区的边缘处，调节到欠焦状态，在 ITEM 动态采集时，将实时
5、FFT 打开，观察实时 FFT 的状态，如果为圆形，则没有物镜像散否则需要按下 OBJ STIG 调节 DEF 旋钮直至 FFT 呈圆形，弹起 OBJ STIG 按钮。10. 选区电子衍射的拍摄：选取拍摄的区域，按下 STAD FOCUS， 按下 SA MAG 选择适合的放大倍数，在光路中放入选区光阑（此时光应均匀的投射在样品表面）切换到 SA DIFF， 用 Brightness 顺时针调到最大，将小荧光屏移出，利用显微镜观察小荧光屏，使用 DIFF FOCUS 将光斑聚焦，选择适合的相机长度，按下 PLA，调节 DEF 将透射斑移至小荧光品中心位置，用 BEAM SCOPPER 将中心透射
6、斑挡住（注：这个步骤一定不能忽略，否则会造成 CCD 的损坏！） ，用 CCD 进行图像采集。11. 能谱: 选择要检测的区域，将模式转换到 EDS（左控台） ，将光束聚焦到检测的点上，利用能谱软件进行元素分析。12. 结束观测时，按下 Beam 按钮，关闭 V1 阀。点击软件右上角的 Stage Neutral 按钮，使样品杆回到初始位置。13. 取样品：拔出样品杆至预抽室（注：一定不要用蛮力，否则直接将样品拔出到大气的话，会造成镜筒破真空!） ，拨动送气按钮，将 N2 其送入预抽室，稍等片刻，将样品杆取出。14. 所有样品观测结束时，按下软件左方的 STAND BY 按钮。关闭电镜控制电脑的显示器。使用 DVD关盘刻录数据（严禁使用 U 盘等移动存储设备！） ，关闭 CCD 电脑，关闭 CCD 冷却器开关。操作过程中遇到问题及时与老师取得联系，不要擅自操作！
