FFU在洁净室中的应用.ppt

1、FFU在洁净室中的应用,洁净室是一个将一定空间范围内的空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。 由此，我们可知构成洁净室须俱备以下各项因素：1 .能除去空气中飘游之微尘粒子。2 .能防止微尘粒子之产生。3 .温度和湿度之控制。4 .压力之调节。,5 .有害气体之排除。6 .结构物与隔间之气密性。7 .静电之防制。8 .电磁干扰之预防。9 .安全因素之考虑。10.节能之考量。,FFU当前其改进主要是,（1）取均流及减少噪音的措施，噪音可在50db以内；（2）动机采用DC

2、/EC（电子整流电机），以耗较原交流电机节约近50%，因为小风机所用小容量（功率1P）的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%左右，而DC/EC电机的效率可达75%80%；在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗，但目前投资回收期尚长而未广泛采用，一般常用分组群控或全部群控。（3）但FFU出口静压不能过大，一般采用出口风速0.38m/s，此时其静压一般在250Pa以内。http:/,FFU回风系统与其他方式相比的优点,（1）灵活性大，便于改造；（2）占用建筑物空间较少；（3）洁净净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。,具体情况下的评价,(1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。(2）洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率100%时，对大的系统采用FFU，当前还是不经济的；对小系统有意义作具体比较。(3)对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过滤器满布率40%时对大系统综合经济性往往相差不多，但对IC工厂而言，FFU系统的灵活性是重要的，因此当前IC工厂对过滤器满布率40%时，采用FFU系统已经普遍。武汉菲尔特净化设备有限公司,