1、无尘室 年度 保修计划 大纲 O 一 、 无尘室维保的目的 O 二 、 无尘室环境保养备品清单 O 三 、 无尘室维修保养 计划表 O 四 、 无尘室 运行相关图文说明 O 五 、 动力设备保养备品清单 O 六 、 动力设备设备维修保养计划表 目的 工艺生产对生产环境(如温湿度、室内外压差、照度等)有非常严格的要求,日常保养、巡检,能够及时发现问题,处理问题,确保系统稳定、高效运行。可以降低能源消耗,延长设备使用寿命。 科学规范的日常保养可以确保洁净室设计、施工技术的延续。 建立厂房维护保养规程,保证生产质量,延长无尘室、设施的使用寿命,使之充分发挥其性能和作用。 请专业公司做年度保养,利用专
2、业公司的设备、人员,进一步加强保养计划的实施。 无 尘室保养备品清单 項 次 设备名称 设备明细 項 次 设备名称 设备明细 一 洁净室设备类 1 AIR-SHOWER 铝框初效滤网 3 进货斜坡道 不锈钢板更换 3000*4000*4mmT HEPA 5mmT PP防滑板 3000*4000*4mmT 风机马达 不锈钢栏杆 控制器 4 单开自动门 门机更换 平开门门锁 雷达更换 隧道式不锈钢护栏 防夹装置 2 PASS-WINDOWS 平移门导轨 进出门按钮 平移门门板 门扇导向圈 平开门门锁 门扇皮带 3 FFU FFU整机 纸框初效过滤网 5 高架地板 盲板更换 HEPA 孔板更换 马达
3、 隔栅板更换 调速控制盒 6 天花板 天花板 1170*570*1.5mmT 8折边 4 泄压风门 调节叶片 十字接头 烤漆外壳 T&L接头 二 洁净装修类 T-GRID 1150L 1 逃生门 平推锁 T-GRID 550L 声光报警器 7 抗静电 PVC链子 水晶帘 限位开关 黑色帘 不锈钢加厚旗形铰链 40铝方通 门扇 1200*2100 40不锈钢方管 2 EXIT通道 单开门 1000*2100 8 备注 硅胶 门弓器( 150KG) 密封带 球形锁 无尘布、纸 阴极锁更换 不锈钢斜坡道 1200*3200*4mmT 无 尘室维修保养计划表 序号 设备名称 点检内容 使用仪器 检查标
4、准 /内容 日检 周检 月检 季检 半年检 年检 清洁 /更换频率 备注 1 无尘室环境 温湿度检测 温湿度仪 温度 23 2,湿度 60% 7 检测频率参照 GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 D.2, 测试方法参照 D.3,另如若有企业标准,以企业标准为准。 根据具体的生产工艺要求,另需满足 GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 3.2.3 2 洁净度检测 粒子计数器 根据车间洁净等级检测,满足ISO14644 -2.4.3要求 ISO14644 -2.4.3,检测频率参照 GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 D.2 3 无尘室正压 静压
5、表 不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于 5Pa洁净区与室外的压差应不小于 10Pa 满足 GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 7.1.6 4 照度检测 照度仪 根据车间生产要求,如外观检测区900-1000lx;一般照度 300-500lx; 满足 GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 12.2 5 地板导电度检查 导电度仪 1.0 104 -1.0 106 之间 满足 防静电地面施工及验收规范 SJ31469 4.5.4 无尘室噪音检测 噪声仪 60-65dB(A) 满足 GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 3.2.5
6、6 温湿度仪 合格品(第三 方) 与合格品对比检查 温湿度仪每半年需校验 检测机构进行校验 7 天花板检查 现场排查 不得有变形、刮痕、积尘现象,清洁后用无尘布检查不得有灰尘 8 地板破损检查 目测 无裂缝、无破胶现象 9 墙面清洁 擦拭法 灰尘使用无尘布蘸取无水乙醇清洁,清洁后用无尘布检查不得有灰尘 10 地面清洁 真空吸尘器 清洁后用无尘布检查,不得有灰尘 12 无尘室夹层围护结构 擦拭法 清洁后用无尘布检查,不得有灰尘 13 高架地板下清洁 擦拭法 清洁后用无尘布检查,不得有灰尘 14 回风墙 /柱内清洁 擦拭法 清洁后用无尘布检查,不得有灰尘 无尘室维修保养计划表 序号 设备名称 点检
7、内容 使用仪器 检查标准 /内容 日检 周检 月检 季检 半年检 年检 清洁 /更换频率 备注 15 风淋室 吹淋风速 风速仪 吹淋时 22-26m/s 根据产品具体设计参数 16 初效过滤网 压差计 初始 /终期压损约 50-100mmAp 设备安装产品说明 17 HEPA过滤网 压差计 初始 /终期压损 约 122-250mmAp 设备安装产品说明 18 吹淋角度 目检 无偏移标识现象 详设备断面图 19 FFU 初效过滤网 压差计 初始 /终期压损约 50-100mmAp 同上 20 出风速度 风速仪 0.3-0.5m/s 高速 档面 速 0.5M , 0.5M 应干燥处理电机线圈,干燥
8、处理后仍达不到以上标准时则应拆修电机线圈或更换 建筑电气工程施工验收规范 7.1.1 22 马达风叶 耳检、目检 无异响、无擦壳现象,如有则应修整处理 23 末端设备 送 /回风百叶表面洁净度 擦拭法 清洁后用无尘布检查,不得有灰尘 1次 /年 24 送 /回风百叶滤网清洁 擦拭法 清洁后用无尘布检查,不得有灰尘 1次 /年 25 干盘管 盘管表面清洁 目检 间隙需通透、无堵塞现象 26 阀门检查 手检、耳听 手柄无损坏,开关阀有水流动声响为合格 27 积水盘检查 目检 无堵塞、无溢流 28 排气 马达温度检测 测温枪 不得大于设备技术文件要求 29 马达噪音检测 噪声仪 不大于铭牌标识 30
9、 轴承润滑油 目测 检查电动机轴承有无阻滞现象,如有则应加润滑油,如加润滑油后仍不行则应更换同型号规格的轴承 31 皮带松弛度 手检、耳听 无松弛(手握皮带约向下偏移角度 10度为宜),无滑动声音 32 基础螺栓检查 手检 检查固定螺丝无松动 参考 机械设备安装工程施工及验收通用规范 第四章 33 电动阀动作 在线检测 动作是否正常 34 吸附塔填料 在线检测 压差是否报警 无尘室运行相关图文说明 无尘室测试验证项目 (每年进行一次全面验证 ) 1. 滤网风速测试 (Air flow velocity testing) 2. 滤网泄漏测试 (Filter leakage testing) 3.
10、 无尘室内温湿度测试 (Temperature & Humidity testing) 4. 无尘室内压差测试 (Room pressurization testing) 5. 无尘室内噪音测试 (Noise level testing) 6. 无尘室内照度测试 (Lighting level testing) 7. 无尘室内环境微粒子测试 (Air Particle counts) 8. 无尘室内地板静电测试 (Floor Conductivity testing) 无尘室运行相关图文说明 无尘室内压差测试 (Room pressurization testing) 无尘室内温湿度测试 (T
11、emperature & Humidity testing) 无尘室内照度测试 (Lighting level testing) 无 尘室运行相关图文说明 相关测试要求根据 NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom & GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 温、湿度和静压检查 (温度 23 2,湿度60% 7,静压 5pa) HEPA 风速测量 ( HEPA下 10cm,高档风速0.3m/S) Particle测量及泄漏测试 (须达到 Class百级 /千级对应标准) 无尘室运行相关图文说明 干盘管清
12、洁 (清洁后翅片间隙需通透、无堵塞现象) 盲板上方清洁 (清洁后用无尘布擦试检查,无明显尘埃和脏污) 回风墙清洁 (清洁后用无尘布擦试检查,无明显尘埃和脏污) 无 尘室运行相关图文说明 O 组合式空调箱构造 动力 设备保养备品清单 一 MAU空调箱 初中效过滤网 五 控制系统 DDC主机 高效过滤网 DDC控制数位模块 风机马达 DDC控制模拟模块 风机皮带 风管温度传感器 二 加湿器 加湿器电加热管 风管温湿度传感器 SCR保险丝 风管露点传感器 硅橡胶高温电缆 室内温湿度传感器 耐高温软管 室内静压传感器 加湿管及保温 水管压力传感器 三 空调水系统 干盘管软接头 DN32 水管温度传感器
13、 蝶阀 DN125 温湿度 LED显示面板 蝶阀 DN100 六 电力系统 蝶阀 DN80 泪滴灯 青铜截止阀 DN50 1 灯具整流器 青铜截止阀 DN40 2 灯管 1*28W 青铜截止阀 DN32 3 灯管 1*40W 青铜截止阀 DN25 4 插座 10A 青铜截止阀 DN20 5 面板开关 电动二通阀执行器 DN100 6 电盘元器件 指示灯 电动二通阀执行器 DN80 7 电盘元器件 排风扇 电动二通阀执行器 DN65 8 电盘元器件 塑壳开关 电动二通阀执行器 DN50 False #REF! 9 电盘元器件 微型断路器 电动二通阀执行器 DN40 10 电盘元器件 接触器 自动
14、排气阀 11 电盘元器件 继电器 四 公用设备类 1 二次冰水水泵 整台设备 水泵轴封 马达、水泵轴承 马达 设备 维修保养计划表 序号 设备名称 点检内容 使用仪器 检查标准 /内容 日检 周检 月检 季检 半年检 年检 清洁 /更换频率 备注 1 MAU 新风百叶防虫网清洁 目检 间隙需通透、无堵塞现象 月检决定 2 RAU 初效滤网更换 在线滤网压差检 测 初始 /终期压损 50-150mmAp 月检决定 折式滤网 3 AHU 中效滤网更换 在线滤网压差检 测 初始 /终期压损 150-450mmAp 月检决定 袋式滤网 4 高效滤网更换 在线滤网压差检 测 初始 /终期压损 333-7
15、50mmAp 月检决定 HEPA滤网 5 冷却 /加热盘管 目检 翅片间隙需通透、无堵塞现象 6 排水盘 目检 盘内无堵塞现象 7 内部洁净度 目检 内部无杂物 8 马达温度检测 测温枪 85 9 马达噪音检测 噪声仪 不大于铭牌标识 10 马达绝缘检测 摇表 对地绝缘电阻 0.5M , 0.5M 应干燥处理电机线圈,干燥处理后仍达不到以上标准时则应拆修电机线圈 11 轴承润滑油 目检 补充润滑油以旧油脂排出为止,检查电动机轴承有无阻滞现象,如有则应加润滑油,如加润滑油后仍不行则应更换同型号规格的轴承 12 皮带松弛度 手检、耳听 无松弛(手握皮带约向下偏移角度 10度为宜),无滑动声音 13
16、 基础螺栓检查 检查固定螺丝无松动 14 电动阀动作 在线检测 动作是否正常 15 加湿器 耐高温软管 目检 无破损 16 喷头 目检 无堵塞,喷雾现象正常 17 排水管、溢流管 目检 无堵塞、无溢流, 设备 维修保养计划表 序号 设备名称 点检内容 使用仪器 检查标准 /内容 日检 周检 月检 季检 半年检 年检 清洁 /更换频率 备注 21 水泵 温度 温度表 冷却水供水 35 、冷却水回水 40 ;冷冻水供水 6-10 、冷冻水回水 10-18 对于读数模糊不清的温度计、压力表应拆换、并每半年进行校验 22 压力 压力表 0.2-0.5MPa 23 马达温度检测 测温枪 85 24 马达
17、风叶 耳检、目检 无异响、无擦壳现象,如有则应修整处理 25 轴承润滑油 目检 检查电动机轴承有无阻滞现象,如有则应加润滑油,如加润滑油后仍不行则应更换同型号规格的轴承 26 Y型过滤器清洁 目检 目检无杂物 27 水管管路 水管阀件检查 目检 锈迹 /泄漏检查 28 软接检查 目检 锈迹 /泄漏检查 29 水管电动阀 在线检测 动作正常 30 Y型过滤器清洁 目检 目检无杂物 31 保温层检查 目检 无破损、无冷凝水产生 37 配电柜 /盘 柜内杂物 目检 清洁柜内外的灰尘、脏物 38 柜内温度 测温枪 最高 50 ,平均温度不得大于 35 39 信号灯 目检 检查各信号灯是否正常,如不亮则
18、应更换同规格 的小灯泡; 40 指示仪 目检 检查各指示仪表指示是否正确,如偏差较大则应 作适当调整,调整后偏差仍较大应更换。 41 排风扇 目检 正常转动 42 塑壳开关 摇表 对地绝缘电阻 0.5M ,否则应烘干处理;调试漏电保护是否动作 43 微型断路器 摇表 对地绝缘电阻 0.5M ,否则应烘干处理; 44 接触器 目测、手检 清除灭弧罩内的碳化物和金属颗粒;清除触头表面及四周的污物,如触头烧蚀严重则应更换同规格接触器;清洁铁芯上的灰尘及脏物;拧紧所有紧固螺栓。 45 继电器 目测、手检 检查热继电器的导线接头处有无过热或烧伤痕迹,如有则应整修处理,处理后达不到要求的应更换;检查热继电器上的绝缘盖板是否完整,如损坏则应更换。 附件 O GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 O GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 .pdf O ISO14644-1中文版 O ISO14644-1中文版 .pdf O 建筑电气工程施工质量验收规范 GB50303-2002 O 建筑电气工程施工质量验收规范 GB50303-2002.pdf O 机械设备安装工程施工及验收通用规范 (Gb50231-98) O 机械设备安装工程施工及验收通用规范 (Gb50231-98).pdf