1、氦检仪操作规程 1. 目 的： 正确指导 SFJ-211氦检仪的使用。2. 适用范围： 本操作规程适用于 SFJ-21氦检仪使用操作 3. 责 任： 3.1 本操作规程由质保部制定修改。 3.2使用人员严格按照操作规程作业。 4. 设 备: SFJ-211氦质谱检漏仪 5. 设备专用辅助工具： 氦气、氧气袋、喷枪、波纹管 2根，快卸法兰 2只 6. 开机前的准备 6.1 确认需要检测的设备内部无水无尘及其他漂浮物，干燥清洁6.2 确认需要检测的设备放置平稳，氦检仪放置水平，脚轮制动可靠6.3 确认需要检测的设备内部压力在 1000Pa以下；如需做精密检漏 被检设备内部压力10Pa6.4 把氧气
2、袋装满氦气。 6.5 把需要检测的设备（管道）用波纹管连接到氦检仪上。 6.6 连接氦检仪的电源 7.开机操作步骤 7.1 将检漏仪的电源插头插入 250V10A的电源插座（接地良好） 。 7.2 将后置电源控制面板上的电源开关置于 l 位置。 7.3 主屏幕上出现 启动中 画面。 若启动前检漏仪已关闭很长一段 时间 (数小时)，则可能需要最多三分半钟的时间稳定下来，主 屏幕上出现 待机中 画面，同时提供可靠的量化泄漏率读数。 8. 检漏操作 8.1采用氦气作为跟踪气体来探测漏眼的方法多种多样。本规程适用 真空喷吹法检测 9. 关机操作步骤 9.1 首先要切断氦检仪和被检工件之间相通的阀门，然
3、后按下操作面 板上的停止按钮，主屏幕上出现 待机中 画面，然后置电源控制 面板上的电源开关置于 O 位置10.氦检仪使用注意事项 10.1 检测口规管电压2000mv10.2 电源电压不能超过 220V额定电压的 10%。 10.3 电源插座要接保护性地线 10.4 0% 至 80% 相对湿度，无凝缩 10.5 10C 至 + 40 C 环境温度 11. 日常维护要求 11.1 对污浊或变色的真空泵油进行更换，建议真空泵油牌号为LV2011.2 校准 外部校准泄漏：确认标漏样件完好，将标漏样件和氦检仪正确连 接，系统执行自动校准程序。 a.按下主画面中的 设定 按钮，在设定画面中选定标漏设定后
4、按 确定 按钮 b.进入标漏值设定画面后，在 真空标漏位置 选中 外部 NV ,然 后按 确定 按钮，系统进入自动校准程序，2 分钟内自动完成C.按 主画面 按钮，进入待机状态。11.3 每年的维护 由专业计量检测机构重新校准内部校准泄漏阀 ，光谱仪检 修 ，对标定样件进行校验12. 其他 排空系统后，可以用干氮吹洗检漏仪的测试端口。 当环境比较潮 湿时，用干氮进行吹洗能保持测试端口尽可能干燥，从而缩短了 抽空系统所需的时间。要用干氮吹洗： 1.关闭系统电源。 2.从电源输入端拔下电源线，然后卸下系统后端的塑料面板。 3.找到用于排空测试端口的过滤器。 它位于背部接触面右上角的阀组 (阀 V7) 上。 4.拆除过滤器，然后将氮气接头装入端口。 端口螺纹尺寸为Rc 1/8 (公制)。 5.将氮气管从后置面板右下角的开口处穿入，前级管歧管或机械泵排水管检修门也位于此处。 6.装好后罩并重新连接系统电源
