热生长 SiO2（折射率 1.48）和氮化硅（折射率 1.97)颜色对照表 颜色 SiO2 厚度（单位：埃） Si3N4 厚度（单位：埃）银 270 200 褐 530 400黄褐 730 550红 790 730深蓝 1000 770蓝 1200 930浅蓝 1300 1000极浅蓝 1500 1100银 1600 1200浅黄 1700 1300黄 2000 1500橘红 2400 1800红 2500 1900暗红 2800 2100蓝 3100 2300蓝绿 3300 2500浅绿 3700 2800橘黄 4000 3000红 4400 3300注意存在多序列。一个红色的氧化膜可能是730790，24002500，或者 40004400（单位：埃）淀积的氮化硅薄膜在日光照射下垂直观察所呈现的颜色与厚度对照表薄膜厚度（nm ）颜色 薄膜厚度（nm）颜色101725343543536070淡褐色浅褐色褐色粉褐色粉紫色紫色极深蓝色深蓝色浅蓝色95105115125135145155165175淡蓝色极淡蓝色浅蓝褐色淡黄褐色极淡黄色淡黄色黄色亮黄深黄
