1、MEMS与智能手机,MEMS全称Micro Electromechanical System,微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。,何谓MEMS?,MEMS的应用领域,MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。,何谓MEMS传感器?,加速度计 陀螺仪 压力传感器 话筒 其它,MEMS传感器在手机中的应用,MEMS加速度计用于测量 载体的加速度,并提供相关 的速度和位移信息。 MEMS加速度计主要分为 电容式、压电式和电阻式三 种。,MEMS加速度计,压阻式加速度计通过压敏电阻阻值变化来实现加速度的测量,
2、其具有结构、制作工艺和检测电路都相对简单的特点。电容式加速度计利用惯性质量块在加速度作用下引起悬臂梁变形,通过检测其电容的变化就可获得加速度的大小。压电式加速度计运用采用压电效应,运动时内置的质量块会产生压力,使支撑的刚体发生应变,最终把加速度转变成电信号输出。,根据终端设备的指向,MEMS加速度计可以把图像、视频和网页进行旋转。通过上下左右倾斜手机,还可以查看手机菜单,只要轻轻击打手机机身,就可以在屏幕上选中不同的图标。有了MEMS加速度计,还能检测到用户抖动手机的MP3播放器的动作,这个简单的手势可以让播放器跳到下一首歌或返回到上一首歌。,MEMS 陀螺仪是一种振动式角速率传感器,其特点是
3、几何结构复杂和精准度较高。MEMS陀螺仪能够测量沿一个轴或几个轴运动的角速度,是补充MEMS加速度计的理想技术。,MEMS陀螺仪,加速度传感器可测量位移,陀螺仪可测量方向,二者结合可以直接测量运动矢量。如果组合使用加速度计和陀螺仪,系统设计人员就可以跟踪并捕捉三维空间的完整运动,为最终用户提供现场感更强的用户使用体验、精确的导航系统以及其它功能。,MEMS压力传感器是一种薄膜元件,受到压力时变形。可以利用应变仪(压阻型感测)来测量这种形变,也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。 MEMS压力传感器可用于测量楼层高度、气压,精度更高的话甚至可以用来测量身高。,MEMS压力传感器,MEMS运动控制技术使得现在手机只有数量很少的按键,不再有普通的键盘。向手机输入信息时,用户在空中书写数字和字母,MEMS传感器识别这些动作,手机软件将这些动作还原成数字和字母。用户还可以自定义手势动作。,Thank You,