1、青海中利光纤技术有限公司 Qinghai Zhongli Optical Fiber Technology Co., Ltd.青 海 中 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件文件名称：大宗气体管理程序文件编号： 07版 本 号： A.0页 数： 10生效日期： 2014.8.1编制部门： 工程部文件需发放部门 营销部 研发部 光纤技术部青海中利光纤技术有限公司 Qinghai Zhongli Optical Fiber Technology Co., Ltd. 光棒生产部 光纤生产部 设备部 工程部 财务部 物控部 质保部 IT 部 人力资源行政部文件管理修改履历表版本号
2、修 改 条 款 及 内 容 摘 要 修改人/日期 批准人/日期A.0 按照技术文件编号规则和设计开发控制程序进行初次编制 2014 年 8 月 1 日 xxxx 年 x 月 x青海中利光纤技术有限公司 Qinghai Zhongli Optical Fiber Technology Co., Ltd.记录编号：xx-xx 青 海 中 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件 文件编号 先不填版 本 号 A.0题目: 文件管理程序页 数 4/10编制 审核 批准1目的为保证东南区大宗气体系统的持续有效运行，避免故障，以及安全正确的进行槽车充装，保证产线稳定运行，特制定本作业指导书
3、，便于员工操作和维护。2适用范围本程序（文件）适用于公司液氩 LAr、液氧 LOX、液氮 LIN 和管道氮 N2 三种大宗气体系统的使用、泄压、槽车充装和维护保养。3定义无4.职责操作者必须持证上岗，操作者必须严格按照本操作指导书进行操作和维护。5主要内容安全事项5.1 大宗气体理化性质简述(具体参见对应 MSDS)4.1.1 液氩 LAr：极冷的液体和带压气体；直接与液体或过冷气体接触能引起冻伤； 能引起快速窒息。4.1.2 液氧 LOX：极冷的液体和高压、氧化气体；沸点：-297 (-183)剧烈加速燃烧； 远离油、油脂和易燃物；可能与易燃材料剧烈反应；呼吸 75%或更多的常压氧可能引起鼻
4、不通气、咳嗽、喉咙痛、胸痛和呼吸困难；呼吸带压纯氧可能引起肺损害，也影响中枢神经系统。4.1.3 液氮 LIN 和管道氮 N2：青 海 中 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件 文件编号 先不填版 本 号 A.0题目: 文件管理程序页 数 5/10编制 审核 批准极冷的液体和带压气体；沸点：-321 (-196)直接与液体接触能引起冻伤；能引起快速窒息。以上气体万一发生冻伤，立即就医。用大量水冲洗受冻伤的部位。不要脱掉衣服。避免擦拭受冻伤的部位，因为可能导致组织损伤。用消过毒的包扎用品包扎伤口。只要是可行的，将受影响部位置于温水浴中，水温不超过 40（105）5.2 氩气、
5、氧气、氮气系统均配备安全阀，详见下表：LAr LOX LIN（50m 3） LIN（30m 3） Piping N2整定值MPa数量pcs整定值MPa数量pcs整定值MPa数量pcs整定值MPa数量pcs整定值MPa数量pcsTank 1.68 2 1.84 2 1.68 2 1.6 2 NA NA调压阀前 1.76 1 2 1 1.76 1 1.76 1 NA NA调压阀后 0.88 1 1.2 1 0.88MPa25.3 储罐泄压阀：每个 Tank 均设有手动泄压阀，当罐体压力达到警界值时（LAr：1.2MPa；LOX:1.4MPa；LIN50:1.3MPa;LIN30:1.2MPa） ，
6、值班人员需手动泄压，泄压操作如下：5.3.1 记录泄压前罐体压力；5.3.2 按泄压操作要求穿戴 PPE（安全帽、安全鞋、耳塞、隔热手套、护目镜） ；5.3.2 缓慢打开泄压阀 A-15，最终阀门开度达 1/2 即可，不可快速开启，以防深冷液体过快喷出；5.3.3 当压力达到安全范围时（LAr：0.7-1.2MPa；LOX:0.9-1.4MPa；LIN50:0.8-1.3MPa;LIN30:0.7-1.2MPa） ，关闭泄压阀 A-15；5.3.4 记录最终罐体压力。5.3.5 PPE（安全帽、安全鞋、耳塞、隔热手套、护目镜）需全程佩戴。5.3.6 储罐泄压时值班人员应在现场，严禁无人留守泄压
7、。青 海 中 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件 文件编号 先不填版 本 号 A.0题目: 文件管理程序页 数 6/10编制 审核 批准5.4 环境氧侦测器：气站本身为空旷场所，不需要安装环境氧侦测器。但在整个供气、输送、使用过程中，有大宗气体使用点的房间都配备有相应比例的环境氧侦测器（包括特气房、酸房、碱房、一期&二期空压机房、cell3&4 前后清洗区域、PECVD 区域、扩散区域、丝网印刷区域） ，其一级报警设定在氧气含量超过 23.5，二级报警是氧气含量低于19；侦测器必须每年校验一次，若有故障（校准过期、传感器过期、存在干扰、流量故障、热解器故障、电池故障等）
8、，必须立即检修或更换；两年内必须更换。5.5 防护用具：由于大宗气体全部为极冷的液体和带压气体，泄压是有强烈噪声，所以在对大宗气体进行日常巡检、泄压操作和 lorry 充装时，操作员必须配备合理的防护用具，以保证操作者的安全。具体为：进入大宗气体站全程需佩戴安全帽、安全鞋；泄压操作时需另外佩戴耳塞、隔热手套、护目镜；lorry 充装需另外佩戴隔热手套、护目镜，穿工作服；紧急状况（如泄漏）处理需佩戴 SCBA。6槽车充装程序6.1 到货确认。确认充装介质为橡胶软管，纯度大于 99.999%。需送货商提供送货单和COA（品质分析报告） ，并确认已经到仓库满车过磅。记录充装前的液位（压力） 。6.2
9、 穿戴防护用品：安全帽、安全鞋、隔热手套、护目镜，穿工作服。6.3 冷泵，吹扫充装管线。连接好软管后打开槽车出口阀，打开充装管排放阀（A7） ，进行冷泵，吹扫充装管线（充装软管表面要结霜） 。6.4 吹扫结束后，关闭充装管排放阀（A7） 。6.5 打开储罐底部充装阀（A1） ，顶部充装阀（A2）和溢流阀（A4） 。6.6 关闭槽车出液阀门，打开循环阀。再打开启动开关，缓慢关循环阀门，等压力升到15bar 以上再打开出液阀门，起泵完成后，打开车上蒸发器开关。青 海 中 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件 文件编号 先不填版 本 号 A.0题目: 文件管理程序页 数 7/10
10、编制 审核 批准6.7 当溢满阀有液溢流或者槽车液氧卸完时，停充装泵，关闭出口阀门，打开循环阀门，关闭泵入口阀门。6.8 关闭储罐底部充装阀（A1） ，顶部充装阀（A2）和溢流阀（A4） 。打开充装管排放阀（A7）排除充装软管内的残液。6.9 卸下槽车充装软管，充装结束。6.10 至此步骤方可脱下隔热手套、护目镜和工作服；安全帽、安全鞋需全程佩戴6.11 记录充装后的液位（压力） 。6.10 陪同送货商到仓库进行空车过磅，磅单与送货单一同入库，COA 存档。6.11 收拾现场，通知相关人员 lorry 充装完成；6.12 数据更新，文件存档。注：氧气、氩气和氮气管路稍有不同（详见 6.2，6.
11、3 与 6.4） ，充装步骤相同，所开关阀件代号和名称都相同。7主要规格说明7.1 主要设备规格Ar O2 N2 50m3 N2 30m3 Piping N275psi 0.7MPa 0.75MPa 0.75MPa 0.75MPa2000mmH2O 2000mmH2O 2000mmH2O 2000mmH2O 14500Sm3/hr3000Nm3/h 250Nm3/h 2000Nm3/h 1000Nm3/h NA50 20 50 300.7-1.2 0.9-1.4 0.8-1.3 0.8-1.21.68 1.84 1.68 1.71.6 1.75 1.6 1.61.94 2.91 1.94 2.
12、13整 定 值 1.68 1.84 1.68 1.6数 量 2 2 2 2整 定 值 1.76 2 1.76 1.76数 量 1 1 1 1整 定 值 0.88 1.2数 量 2 1气 体送 气 压 力液 位 /流 量蒸 发 器 最 大 处 理 量TANK设 计 容 量 (M3)NA压 力 表 警 示 范 围 (MPa)设 计 压 力 (MPa)最 高 工 作 压 力 (MPa)耐 压 (MPa)安 全 阀（ MPa）TANK NA蒸 发 器 后 NA送 气 主 管 0.882青 海 中 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件 文件编号 先不填版 本 号 A.0题目: 文件管
13、理程序页 数 8/10编制 审核 批准7.2 储罐部件代号与名称对应表部 件 代 号 名 称 （ 氩 气 &氧 气 储 罐 ） 名 称 （ 氮 气 储 罐 ） 部 件 代 号 名 称 （ 氩 气 &氧 气 储 罐 ） 名 称 （ 氮 气 储 罐 ）A-1底 部 进 液 阀 底 部 进 液 阀 B-1 增 压 器 增 压 器A-2顶 部 进 液 阀 顶 部 进 液 阀 C-1 升 压 调 压 阀 整 体 式 调 节 器A-3增 压 器 输 入 阀 增 压 器 输 入 阀 C-2 降 压 调 压 阀 无A-4溢 流 阀 溢 流 阀 CV-1 无 止 回 阀A-5真 空 规 管 阀 真 空 规 管
14、阀 CZ-1 充 装 接 头 充 装 接 头A-7充 装 管 排 放 阀 充 装 管 排 放 阀 FB-1A 内 筒 防 爆 装 置 内 筒 防 爆 装 置A-8液 位 显 示 气 相 阀 液 位 显 示 气 相 阀 FB-1B 内 筒 防 爆 装 置 内 筒 防 爆 装 置A-8压 力 变 送 器 仪 表 阀 远 传 接 口 FB-2 外 筒 防 爆 装 置 外 筒 防 爆 装 置A-8压 差 变 送 器 气 相 仪 表 阀 无 L1-1 液 位 显 示 器 液 位 显 示 器A-9液 位 显 示 均 衡 阀 液 位 显 示 均 衡 阀 PI-1 压 力 表 无A-10液 位 显 示 液 相
15、 阀 液 位 显 示 液 相 阀 RK-1 管 道 安 全 阀 管 道 安 全 阀A-10压 差 变 送 器 液 相 仪 表 阀 远 传 接 口 RK-2 管 道 安 全 阀 管 道 安 全 阀A-11增 压 器 输 出 阀 增 压 器 输 出 阀 RK-3 管 道 安 全 阀 管 道 安 全 阀A-12气 体 排 放 阀 气 体 排 放 阀 RK-4 无 管 道 安 全 阀A-13液 体 输 出 阀 液 体 输 出 阀 RK-5 无 管 道 安 全 阀A-13无 液 体 输 出 阀 VP-1 抽 空 阀 抽 空 阀A-14增 压 开 启 阀 无 VR-1 真 空 规 管 真 空 规 管A-1
16、5安 全 泄 放 选 择 阀 安 全 泄 放 选 择 阀 YA-1A 内 筒 安 全 阀 内 筒 安 全 阀A-17节 约 阀 节 约 阀 YA-1B 内 筒 安 全 阀 内 筒 安 全 阀A-18 辅 助 排 放 阀 辅 助 排 放 阀注：Ar、O2 储罐完全一致，Ar、O2 储罐与 N2 储罐不同处已用黑体字标示7.3 Ar、O2 储罐管线图青 海 中 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件 文件编号 先不填版 本 号 A.0题目: 文件管理程序页 数 9/10编制 审核 批准7.4 N2 储罐管线图青 海 中 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件 文
17、件编号 先不填版 本 号 A.0题目: 文件管理程序页 数 10/10编制 审核 批准8常见气体换算表8.1 Conversion Datakg L Nm3 1 0.876 0.6991.141 1 0.799O21.428 1.251 11 0.718 0.561.394 1 0.781Ar 1.784 1.28 11 1.234 0.7990.808 1 0.646N21.5 1.544 1Nm3 (normal cubic meter): gas measured at 1 atmosphere and 0 8.2 CalculationTank 液位差 LAr LOx LIN青 海 中
18、 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件 文件编号 先不填版 本 号 A.0题目: 文件管理程序页 数 11/10编制 审核 批准Volume (mm) V(L) m(kg) V(L) m(kg) V(L) m(kg)300 1056 1472.06 1294 1476.5 1832 148050m310 35.2 49.069 43.13 49.215 61.07 49.3150 369 514.39 456 520.3 641 51820m310 24.6 34.292 30.4 34686 42.73 34.5250 620 864.28 760 867.16 1080
19、 87330m310 24.8 34.571 30.4 34.686 43.2 34.9备注： 1.不同的介质、不同的 Tank 容积，同样的液位差对应的介质量并不相等。读数、计算时要注意对应正确。 2.无论何种介质以及 Tank 容积，在读数有效范围即除去满/空两侧外的大部分中间量程内，液位与体积（质量）可看成是线性关系。 3.上表中，密度按 LAr1394kg/m 3,LOx=1141kg/m3,LIN=808kg/m3 计算。 9注意事项9.1 运营值班作业9.1、按区域要求佩戴 PPE：进入大宗气体站全程需佩戴安全帽、安全鞋；泄压操作时需另外佩戴耳塞、隔热手套、护目镜；lorry 充装
20、需另外佩戴隔热手套、护目镜，穿工作服；紧急状况（如泄漏）处理需佩戴 SCBA；9.2、完成各设备的日常维护与简单保养，参考EI-0048-02 东南区大宗气体系统维护保养表 ；9.3、运行过程发现任何重要问题（如噪音、震动、漏气、流量过大、违章接电源线等）都应及时向上级管理人员汇报，重大问题（如漏气、流量过大、违章接电源线等）应及时向更上级主管或领导汇报；9.4、系统调整好的流量、压力等值勿随意变动，操作阀门前先向系统负责人确认，操作人员做详细的运行参数记录（泄压时记录前后压力变化，槽车充装时记录前后液位变化，巡检记录罐体压力和液位，管道氮流量、压力、累计用量等，详见EI-0048-01 东南
21、区大宗气体系统巡检记录表 ） ，若发现异常变化，及时汇报；9.5、大宗气体站属于高危险区域，严禁烟火，在正常情况下都处于封闭隔离状态，任何闲杂人等不得入内；青 海 中 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件 文件编号 先不填版 本 号 A.0题目: 文件管理程序页 数 12/10编制 审核 批准9.6、每日保证大宗气体站内 6S（整理(Seiri)、整顿(Seiton)、清扫(Seiso)、清洁(Seiketsu) 、素养(Shitsuke)和安全（safe） ）达标：物品分类放置、明确标识、保持卫生清洁、禁止在围栏内堆外货物、垃圾等，电源柜内不得私自接线。9.2 抄表巡检作
22、业9.2.1、按区域要求佩戴 PPE：进入大宗气体站全程需佩戴安全帽、安全鞋；泄压操作时需另外佩戴耳塞、隔热手套、护目镜；lorry 充装需另外佩戴隔热手套、护目镜，穿工作服；紧急状况（如泄漏）处理需佩戴 SCBA；9.2.2、落实大宗气体站的日常值班。每班定期巡查抄表，按照表单规定时间和项目进行（详见EI-0048-01 大宗气体系统巡检记录表 ） ；服从值班班长调配，随时准备支援其他组别或参加演练及抢救等；9.2.3、运行过程发现任何重要问题（如噪音、震动、漏气、流量过大、违章接电源线等）都应及时向上级管理人员汇报，重大问题（如漏气、流量过大、违章接电源线等）应及时向更上级主管或领导汇报9
23、.2.4、班组之间的交接班应做好相关交接记录，确保班组工作职责落实到位，努力使大宗气体系统安全可靠、整洁节约、持续高效地运行；9.2.5、晚班巡检时需两名工作人员同时前往，相互照应；9.2.6、系统调整好的流量、压力等值勿随意变动，操作阀门前先向系统负责人确认，操作人员做详细的运行参数记录（罐体压力和液位，管道氮流量、压力、累计用量，详见EI-0048-01 东南区大宗气体系统巡检记录表 ） ，若发现异常变化，及时汇报；9.2.7、在抄表巡检系统时，不但要记录当时运行状态，还要观察它运行是否有异常情况，如：异常噪音、异常震动、漏气等；9.2.8、大宗气体站属于高危险区域，严禁烟火，在正常情况下
24、都处于封闭隔离状态，任何闲杂人等不得入内；9.2.9、每日保证气体房内 6S（整理(Seiri)、整顿(Seiton)、清扫(Seiso)、清洁(Seiketsu) 、素养(Shitsuke)和安全（safe） ）达标：物品分类放置、明确标识、保持卫生清洁、禁止在围栏内堆外货物、垃圾等，电源柜内不得私自接线。9.3 lorry 充装作业9.3.1、无特殊情况下 lorry 充装由气体供应厂商完成，我公司值班人员需熟悉充装流程，并青 海 中 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件 文件编号 先不填版 本 号 A.0题目: 文件管理程序页 数 13/10编制 审核 批准全程监护，
25、严格填写大宗气体系统槽车充装 checklist9.3.2、：进入大宗气体站全程需佩戴安全帽、安全鞋；泄压操作时需另外佩戴耳塞、隔热手套、护目镜；lorry 充装需另外佩戴隔热手套、护目镜，穿工作服；紧急状况（如泄漏）处理需佩戴 SCBA；9.3.3、运行过程发现任何重要问题（如噪音、震动、漏气、流量过大、违章接电源线等）都应及时向上级管理人员汇报，重大问题（如漏气、流量过大、违章接电源线等）应及时向更上级主管或领导汇报；9.3.4、系统调整好的流量、压力等值勿随意变动，操作阀门前 double check，操作人员做详细的运行参数记录（充装前后记录罐体压力和液位，若发现异常变化，及时汇报；9
26、.3.5、大宗气体站属于高危险区域，严禁烟火，在非正常情况下都处于封闭隔离状态，任何闲杂人等不得入内；9.3.6、槽车必须停放在划定的区域内，严禁堵塞路面；9.3.7、每次充装保证大宗气体站内 6S（整理(Seiri)、整顿(Seiton)、清扫(Seiso)、清洁(Seiketsu)、素养 (Shitsuke)和安全（safe） ）达标：物品分类放置、明确标识、保持卫生清洁、禁止在围栏内堆外货物、垃圾等，电源柜内不得私自接线。9.4 泄压操作9.4.1、按泄压操作要求佩戴 PPE，达到安全作业的目标，详见 3.4；9.4.2、运行过程发现任何重要问题（如噪音、震动、漏气、流量过大、违章接电源
27、线等）都应及时向上级管理人员汇报，重大问题（如漏气、流量过大、违章接电源线等）应及时向更上级主管或领导汇报；9.4.3、系统调整好的流量、压力等值勿随意变动，开启泄压阀门前需 double check，若发现异常变化，及时汇报；9.4.5、大宗气体站属于高危险区域，严禁烟火，在正常情况下都处于封闭隔离状态，任何闲杂人等不得入内；9.4.6、每日保证大宗气体站内 6S（整理(Seiri)、整顿(Seiton)、清扫(Seiso)、清洁(Seiketsu) 、素养(Shitsuke)和安全（safe） ）达标：物品分类放置、明确标识、保持卫生清洁、禁止在围栏内堆外货物、垃圾等，电源柜内不得私自接线。9.4.7、储罐泄压时值班人员应在现场，严禁无人留守泄压10应急作业流程青 海 中 利 光 纤 技 术 有 限 公 司管 理 体 系 文 件 文件编号 先不填版 本 号 A.0题目: 文件管理程序页 数 14/10编制 审核 批准请参照WI-EHS-364 厂区设施火灾应急救援预案及WI-EHS-365 厂区设施特气泄漏应急救援预案11、记录及参考文献11.1 记录EI-0048-01 大宗气体系统巡检记录表 EI-0048-02 大宗气体系统维护保养表 EI-0048-03 大宗气体槽车充装 check list11.2 参考文献气体系统
