1、电涡流位移传感器的工作原理：电涡流传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测量被测金属导体距探头表面距离。它是一种非接触的线性化计量工具。电涡流传感器能准确测量被测体(必须是金属导体)与探头端面之间静态和动态的相对位移变化。在高速旋转机械和往复式运动机械状态分析，振动研究、分析测量中，对非接触的高精度振动、位移信号，能连续准确地采集到转子振动状态的多种参数。如轴的径向振动、振幅以及轴向位置。电涡流传感器以其长期工作可靠性好、测量范围宽、灵敏度高、分辨率高等优点，在大型旋转机械状态的在线监测与故障诊断中得到广泛应用。从转子动力学、轴承学的理论上分析，大型旋转机械的运动状态，主要取决于其核
2、心转轴，而电涡流传感器，能直接非接触测量转轴的状态，对诸如转子的不平衡、不对中、轴承磨损、轴裂纹及发生摩擦等机械问题的早期判定，可提供关键的信息。根据法拉第电磁感应原理，块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作切割磁力线运动时，导体内将产生呈涡旋状的感应电流，此电流叫电涡流，以上现象称为电涡流效应。而根据电涡流效应制成的传感器称为电涡流式传感器。前置器中高频振荡电流通过延伸电缆流入探头线圈，在探头头部的线圈中产生交变的磁场。当被测金属体靠近这一磁场，则在此金属表面产生感应电流，与此同时该电涡流场也产生一个方向与头部线圈方向相反的交变磁场，由于其反作用，使头部线圈高频电流的幅度和相位得到改变(线
3、圈的有效阻抗)，这一变化与金属体磁导率、电导率、线圈的几何形状、几何尺寸、电流频率以及头部线圈到金属导体表面的距离等参数有关。通常假定金属导体材质均匀且性能是线性和各项同性，则线圈和金属导体系统的物理性质可由金属导体的电导率 、磁导率 、尺寸因子 、头部体线圈与金属导体表面的距离 D、电流强度 I 和频率 参数来描述。则线圈特征阻抗可用Z=F(, , , D, I, )函数来表示。通常我们能做到控制 , , , I, 这几个参数在一定范围内不变，则线圈的特征阻抗Z 就成为距离 D 的单值函数，虽然它整个函数是一非线性的，其函数特征为“S”型曲线，但可以选取它近似为线性的一段。于此，通过前置器电
4、子线路的处理，将线圈阻抗 Z 的变化，即头部体线圈与金属导体的距离 D 的变化转化成电压或电流的变化。输出信号的大小随探头到被测体表面之间的间距而变化，电涡流传感器就是根据这一原理实现对金属物体的位移、振动等参数的测量。其工作过程是：当被测金属与探头之间的距离发生变化时，探头中线圈的 Q 值也发生变化，Q 值的变化引起振荡电压幅度的变化，而这个随距离变化的振荡电压经过检波、滤波、线性补偿、放大归一处理转化成电压(电流)变化，最终完成机械位移(间隙)转换成电压(电流)。由上所述，电涡流传感器工作系统中被测体可看作传感器系统的一半，即一个电涡流位移传感器的性能与被测体有关。按照电涡流在导体内的贯穿
5、情况，此传感器可分为高频反射式和低频透射式两类，但从基本工作原理上来说仍是相似的。电涡流式传感器最大的特点是能对位移、厚度、表面温度、速度、 应力、材料损伤等进行非接触式连续测量，另外还具有体积小，灵敏度高，频率响应宽等特点，应用极其广泛。典型应用：电涡流传感器系统广泛应用于电力、石油、化工、冶金等行业和一些科研单位。对汽轮机、水轮机、鼓风机、压缩机、空分机、齿轮箱、大型冷却泵等大型旋转机械轴的径向振动、轴向位移、键相器、轴转速、胀差、偏心、以及转子动力学研究和零件尺寸检验等进行在线测量和保护。 轴向位移测量对于许多旋转机械，包括蒸汽轮机、燃汽轮机、水轮机、离心式和轴流式压缩机、离心泵等，轴向
6、位移是一个十分重要的信号，过大的轴向位移将会引起过大的机构损坏。轴向位移的测量，可以指示旋转部件与固定部件之间的轴向间隙或相对瞬时的位移变化，用以防止机器的破坏。轴向位移是指机器内部转子沿轴心方向，相对于止推轴承二者之间的间隙而言。有些机械故障，也可通过轴向位移的探测，进行判别：止推轴承的磨损与失效 平衡活塞的磨损与失效 止推法兰的松动 联轴节的锁住等。轴向位移(轴向间隙)的测量，经常与轴向振动弄混。轴向振动是指传感器探头表面与被测体，沿轴向之间距离的快速变动，这是一种轴的振动，用峰峰值表示。它与平均间隙无关。有些故障可以导致轴向振动。例如压缩机的踹振和不对中即是。振动测量测量径向振动，可以由
7、它看到轴承的工作状态，还可以看到转子的不平衡，不对中等机械故障。可以提供对于下列关键或基础机械进行机械状态监测所需要的信息：工业透平，蒸汽/燃汽 压缩机，空气/特殊用途气体，径向/轴向电动马达 发电机 励磁机 齿轮箱泵 风扇鼓风机 往复式机械振动测量同样可以用于对一般性的小型机械进行连续监测。可为如下各种机械故障的早期判别提供了重要信息。胀差测量对于汽轮发电机组来说，在其启动和停机时，由于金属材料的不同，热膨胀系数的不同，以及散热的不同，轴的热膨胀可能超过壳体膨胀；有可能导致透平机的旋转部件和静止部件(如机壳、喷嘴、台座等)的相互接触，导致机器的破坏。因此胀差的测量是非常重要的。转速测量对于所
8、有旋转机械而言，都需要监测旋转机械轴的转速，转速是衡量机器正常运转的一个重要指标。而电涡流传感器测量转速的优越性是其它任何传感器测量没法比的，它既能响应零转速，也能响应高转速，抗干扰性能也非常强。转速测量对于所有旋转机械而言，都需要监测旋转机械轴的转速，转速是衡量机器正常运转的一个重要指标。而电涡流传感器测量转速的优越性是其它任何传感器测量没法比的，它既能响应零转速，也能响应高转速，抗干扰性能也非常强。电涡流传感器测转速，通常选用3mm、4mm、5mm、8mm、10mm 的探头。转速测量频响为010KHZ。 电涡流传感器测转速，传感器输出的信号幅值较高(在低速和高速整个范围内)抗干扰能力强。
9、无源磁电式传感器是针对测齿轮而设计的发电型传感器(无源)，不适合测零转速和较低转速，因低频时，幅值信号小，抗干扰能力差，它不需要供电。 有源磁电式传感器采用了+24V 供电，输出波形为矩形波，具有负载驱动能力，适合测量 0.03HZ 以上转速信号。安装要求：1、 轴 的 径 向 振 动 测 量当 需 要 测 量 轴 的 径 向 振 动 时 ， 要 求 轴 的 直 径 大 于 探 头 直 径 的三 倍 以 上 。 每 个 测 点 应 同 时 安 装 两 个 传 感 器 探 头 ， 两 个 探 头 应 分别 安 装 在 轴 承 两 边 的 同 一 平 面 上 相 隔 90o5o。 由 于 轴 承
10、盖 一 般是 水 平 分 割 的 ， 因 此 通 常 将 两 个 探 头 分 别 安 装 在 垂 直 中 心 线 每 一侧 45o， 从 原 动 机 端 看 ， 分 别 定 义 为 X 探 头 （ 水 平 方 向 ） 和 Y 探头 （ 垂 直 方 向 ） ， X 方 向 在 垂 直 中 心 线 的 右 侧 ， Y 方 向 在 垂 直 中 心线 的 左 侧 。 轴 的 径 向 振 动 测 量 时 探 头 的 安 装 位 置 应 该 尽 量 靠 近 轴 承 ， 如图 所 示 ， 否 则 由 于 轴 的 挠 度 ， 得 到 的 值 会 有 偏 差 。 轴 的 径 向 振 动 探 头 安 装 位 置
11、与 轴 承 的 最 大 距 离 。 轴 的 径 向 振动 测 量 时 探 头 的 安 装 ： 测 量 轴 承 直 径 最 大 距 离 076mm 25mm 76510mm 76mm 大 于 520mm 160mm 探 头 中 心 线 应 与 轴 心 线 正 交 ， 探 头 监 测 的 表 面 （ 正 对 探 头 中心 线 的 两 边 1.5 倍 探 头 直 径 宽 度 的 轴 的 整 个 圆 周 面 ， 如 图 ） 应 无裂 痕 或 其 它 任 何 不 连 续 的 表 面 现 象 （ 如 键 槽 、 凸 凹 不 平 、 油 孔 等 ）， 且 在 这 个 范 围 内 不 能 有 喷 镀 金 属
12、或 电 镀 ， 其 表 面 的 粗 糟 度 应 在0.4 um 至 0.8um 之 间 。 2、 轴 的 轴 向 位 移 测 量测 量 轴 的 轴 向 位 移 时 ， 测 量 面 应 该 与 轴 是 一 个 整 体 ， 这 个 测量 面 是 以 探 头 的 中 心 线 为 中 心 ， 宽 度 为 1.5 倍 的 探 头 圆 环 。 探 头安 装 距 离 距 止 推 法 兰 盘 不 应 超 过 305mm， 否 则 测 量 结 果 不 仅 包 含轴 向 位 移 的 变 化 ， 而 且 包 含 胀 差 在 内 的 变 化 ， 这 样 测 量 的 不 是 轴的 真 实 位 移 值 。 3、 键 相
13、测 量键 相 测 量 就 是 通 过 在 被 测 轴 上 设 置 一 个 凹 槽 或 凸 键 ， 称 键 相标 记 。 当 这 个 凹 槽 或 凸 键 转 到 探 头 位 置 时 ， 相 当 于 探 头 与 被 测 面间 距 突 变 ， 传 感 器 会 产 生 一 个 脉 冲 信 号 ， 轴 每 转 一 圈 ， 就 会 产 生一 个 脉 冲 信 号 ， 产 生 的 时 刻 表 明 了 轴 在 每 转 周 期 中 的 位 置 。 因 此通 过 对 脉 冲 计 数 ， 可 以 测 量 轴 的 转 速 ； 通 过 将 脉 冲 与 轴 的 振 动 信号 比 较 ， 可 以 确 定 振 动 的 相 位
14、角 ， 用 于 轴 的 动 平 衡 分 析 以 及 设 备的 故 障 分 析 与 诊 断 等 方 面 。 凹 槽 或 凸 键 要 足 够 大 ， 以 使 产 生 的 脉 冲 信 号 峰 峰 值 不 小 于5V。 一 般 若 采 用 5、 8 探 头 ， 则 这 一 凹 槽 或 凸 键 宽 度 应 大 于7.6mm、 深 度 或 高 度 应 大 于 1.5mm（ 推 荐 采 用 2.5mm 以 上 ） 、 长 度应 大 于 0.2mm。 凹 槽 或 凸 键 应 平 行 于 轴 中 心 线 ， 其 长 度 尽 量 长 ，以 防 当 轴 产 生 轴 向 窜 动 时 ， 探 头 还 能 对 着 凹 槽
15、 或 凸 键 。 为 了 避 免由 于 轴 相 位 移 引 起 的 探 头 与 被 测 面 之 间 的 间 隙 变 化 过 大 ， 应 将 键相 探 头 安 装 在 轴 的 径 向 ， 而 不 是 轴 向 的 位 置 。 应 尽 可 能 地 将 键 相探 头 安 装 在 机 组 的 驱 动 部 分 上 ， 这 样 即 使 机 组 的 驱 动 部 分 与 载 荷脱 离 ， 传 感 器 仍 会 有 键 相 信 号 输 出 。 当 机 组 具 有 不 同 的 转 速 时 通常 需 要 有 多 套 键 相 传 感 器 探 头 对 其 进 行 监 测 ， 从 而 可 以 为 机 组 的各 部 分 提 供
16、 有 效 的 键 相 信 号 。 键 相 标 记 可 以 是 凹 槽 ， 也 可 以 是 凸 键 ， 如 图 所 示 ， 标 准 要 求 用凹 槽 的 形 式 。 当 标 记 是 凹 槽 时 ， 安 装 探 头 要 对 着 轴 的 完 整 部 分 调整 初 始 安 装 间 隙 （ 安 装 在 传 感 器 的 线 性 中 点 为 宜 ） ， 而 不 是 对 着凹 槽 来 调 整 初 始 安 装 间 隙 。 而 当 标 记 是 凸 键 时 探 头 一 定 要 对 着 凸起 的 顶 部 表 面 调 整 初 始 安 装 间 隙 （ 安 装 在 传 感 器 的 线 性 中 点 为 宜 ）， 不 是 对
17、着 轴 的 其 它 完 整 表 面 进 行 调 整 。 否 则 当 轴 转 动 时 ， 可 能会 造 成 凸 键 与 探 头 碰 撞 ， 剪 断 探 头 。被 测 体 对 电 涡 流 传 感 器 特 性 的 影 响 ：1、 被 测 体 材 料 对 传 感 器 的 影 响传 感 器 特 性 与 被 测 体 的 电 导 率 、 磁 导 率 有 关 ， 当 被 测体 为 导 磁 材 料 （ 如 普 通 钢 、 结 构 钢 等 ） 时 ， 由 于 涡 流 效 应 和 磁 效应 同 时 存 在 ， 磁 效 应 反 作 用 于 涡 流 效 应 ， 使 得 涡 流 效 应 减 弱 ， 即传 感 器 的 灵
18、敏 度 降 低 。 而 当 被 测 体 为 弱 导 磁 材 料 （ 如 铜 ， 铝 ， 合金 钢 等 ） 时 ， 由 于 磁 效 应 弱 ， 相 对 来 说 涡 流 效 应 要 强 ， 因 此 传 感器 感 应 灵 敏 度 要 高 。 2、 被 测 体 表 面 平 整 度 对 传 感 器 的 影 响不 规 则 的 被 测 体 表 面 ， 会 给 实 际 的 测 量 带 来 附 加 误 差 ， 因 此对 被 测 体 表 面 应 该 平 整 光 滑 ， 不 应 存 在 凸 起 、 洞 眼 、 刻 痕 、 凹 槽等 缺 陷 。 一 般 要 求 ， 对 于 振 动 测 量 的 被 测 表 面 粗 糙
19、度 要 求 在0.4um 0.8um 之 间 ； 对 于 位 移 测 量 被 测 表 面 粗 糙 度 要 求 在0.4um 1.6um 之 间 。 3、 被 测 体 表 面 磁 效 应 对 传 感 器 的 影 响电 涡 流 效 应 主 要 集 中 在 被 测 体 表 面 ， 如 果 由 于 加 工 过 程 中 形成 残 磁 效 应 ， 以 及 淬 火 不 均 匀 、 硬 度 不 均 匀 、 金 相 组 织 不 均 匀 、结 晶 结 构 不 均 匀 等 都 会 影 响 传 感 器 特 性 。 在 进 行 振 动 测 量 时 ， 如果 被 测 体 表 面 残 磁 效 应 过 大 ， 会 出 现 测
20、 量 波 形 发 生 畸 变 。 4、 被 测 体 表 面 镀 层 对 传 感 器 的 影 响被 测 体 表 面 的 镀 层 对 传 感 器 的 影 响 相 当 于 改 变 了 被 测 体 材 料 ，视 其 镀 层 的 材 质 、 厚 薄 ， 传 感 器 的 灵 敏 度 会 略 有 变 化 。 5、 被 测 体 表 面 尺 寸 对 传 感 器 的 影 响由 于 探 头 线 圈 产 生 的 磁 场 范 围 是 一 定 的 ， 而 被 测 体 表 面 形成 的 涡 流 场 也 是 一 定 的 。 这 样 就 对 被 测 体 表 面 大 小 有 一 定 要 求 。通 常 ， 当 被 测 体 表 面
21、为 平 面 时 ， 以 正 对 探 头 中 心 线 的 点 为 中 心 ，被 测 面 直 径 应 大 于 探 头 头 部 直 径 的 1.5 倍 以 上 ； 当 被 测 体 为 圆 轴且 探 头 中 心 线 与 轴 心 线 正 交 时 ， 一 般 要 求 被 测 轴 直 径 为 探 头 头 部直 径 的 3 倍 以 上 ， 否 则 传 感 器 的 灵 敏 度 会 下 降 ， 被 测 体 表 面 越 小 ，灵 敏 度 下 降 越 多 。 实 验 测 试 ， 当 被 测 体 表 面 大 小 与 探 头 头 部 直 径相 同 ， 其 灵 敏 度 会 下 降 到 72%左 右 。 被 测 体 的 厚
22、度 也 会 影 响 测 量结 果 。 被 测 体 中 电 涡 流 场 作 用 的 深 度 由 频 率 、 材 料 导 电 率 、 导 磁率 决 定 。 因 此 如 果 被 测 体 太 薄 ， 将 会 造 成 电 涡 流 作 用 不 够 ， 使 传感 器 灵 敏 度 下 降 ， 一 般 要 求 厚 度 大 于 0.1mm 以 上 的 钢 等 导 磁 材 料及 厚 度 大 于 0.05mm 以 上 的 铜 、 铝 等 弱 导 磁 材 料 ， 则 灵 敏 度 不 会 受其 厚 度 的 影 响 。设 计 总 结 ：通过学习这门课程让我学到了以前没接触过的东西。让我认识到了传感器在我们生活中的一些实际应用，没有传感器级没有现代科学技术，更没有人类现代化的生活环境和条件。但是要研制出更好的电涡流位移传感器还要做很多、和学习很多相关知识。这不仅仅是为学习电涡流传感器做准备更是给我们自己充电。
