1、10 万级洁净室洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2 里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。 洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细
2、菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非 100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已
3、经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。每立方米将小于 0.5 微米粒径的微尘数量控制在 3500 个以下，就达到了国际无尘标准的 A 级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于 A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米 1000 个以内，这也就是业内俗称的 1K 级别。洁净室要获得良好的洁净效果，不仅要着重采取合理的空调净化措施，而且也要求工艺、建筑及其他专业采取相应的措施:不但要有合理的设计，而且还要精心的符合规范的施工安装，以及正确的使用洁净室和
4、科学的维护管理。为使洁净室获得良好的效果，国内外已有不少文献从不同的角度作过阐述。实际上，不同专业之间很难做到理想地配合，而且设计者很难把握施工安装质量以及使用和管理情况，尤其后者。就洁净室净化措施而言，许多设计者，或者还有施工方，往往对其必要条件未予足够重视，造成洁净效果不理想。本文仅就洁净室净化措施中达到洁净度要求的四个必要条件简要论述。一、送风洁净度 要保证送风洁净度符合要求，关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。 净化系统末级过滤器一般采用高效过滤器或亚高效过滤器。按我国标准1规定高效过滤器效率分四档：A 类为99.9%，B 类为99.99%，C 类为99.999%， D 类为(对 0
5、.1 m 粒子) 99.999%(亦称超高效过滤器);亚高效过滤器2为(对0.5m 粒子 )9599.9%。效率越高，过滤器的价格也越贵。所以选择过滤器时应本着既要满足送风洁净度要求，又要考虑经济合理。从洁净度要求考虑，以低级别洁净室选用低性能过滤器、高级别洁净室选用高性能过滤器为原则。一般说来:100 万级可选用高中效过滤器；低于 1 万级可选用亚高效或 A 类高效过滤器;1 万100 级选用 B 类过滤器;1001 级选用 C 类过滤器。二、气流组织 洁净室的气流组织与一般空调房间有所不同，它要求将最干净的空气首先送到操作部位，它的作用在于限制和减少对加工物的污染。为此，在设计气流组织时应
6、考虑这些原则：尽量减少涡流，避免将工作区以外的污染带入工作区；尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会；工作区的气流要尽量均匀，且其风速要满足工艺和卫生要求，当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走。根据不同的洁净度要求，选择不同的送、回风方式。 三、送风量或风速 足够的通风换气量是为了稀释和排除室内污染空气，根据不同的洁净度要求，当洁净室净高较高时，适当增加换气次数。其中，100 万级洁净室的通风量是按高中效净化系统考虑7，其余均按高效净化系统考虑；当 10 万级洁净室高效过滤器集中布置在机房或系统末端采用亚高效过滤器时，可适当提高换气次数 10-20%。 四、静压差 洁净室
7、维持一定的正压是保证洁净室不受或少受污染、以维持设计洁净度等级必不可少地条件之一。即便是负压洁净室，它也必须有不低于它洁净度级别地相邻房间或套间维持一定地正压，负压洁净室的洁净度才能得以维持。 洁净室正压值是指门窗全部关闭状态下，室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了保证洁净室正压值，送风、回风和排风机最好联锁，系统开启时先启动送风机，再启动回风机和排风机;系统关闭时先关排风机，再关回风机和送风机，以防止洁净室在系统开启和关闭时受到污染。 对于一个洁净室来说，以上四个必要条件必须同时得到满足，才能保证洁净度达到要求并具备应有的抗污染干扰能力。尘粒
8、最大允许数/ 立方米 尘粒最大允许数/2.83 升洁净度级别0.5m 5m 0.5m 5m100 级 3,520 29 10 01000 级 35,200 293 100 010,000 级 352,000 2,930 996 8100,000 级 3,520,000 29,300 9,962 83300,000 级 10,560,000 87,900 29,885 2491000,000 级 35,200,000 293,000 99,616 829尘埃最大允许数/ m3 微生物最大允许数洁净级别0.5mm 5mm 浮游菌/m 3 沉降菌/ 皿相当于ISO 分级100 级 3,500 0 5
9、 1 ISO 5 级10,000 级 350,000 2,000 100 3 ISO 7 级100,000 级 3,500,000 20,000 500 10 ISO 8 级300,000 级 10,500,000 60,000 15 ISO 9 级最高浓度极限（颗粒数 /m3）ISO14644分级 0.1mm 0.2mm 0.3mm 0.5mm 1.0mm 5.0mm近似对应传统规格ISO 1 级 10 2 ISO 2 级 100 24 10 4 ISO 3 级 1,000 237 102 35 8 1 级ISO 4 级 10,000 2,370 1,020 352 83 10 级ISO 5
10、 级 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29 100 级ISO 6 级 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293 1,000 级ISO 7 级 352,000 83,200 2,930 10,000 级ISO 8 级 3,520,000 832,000 29,300 100,000 级ISO 9 级 35,200,000 8,320,000 293,000悬浮粒子最大允许数/立方米 (a)静态 (b) 动态 (b)洁净度级别0.5m (d) 5m 0.5m(d) 5mA 级 3500 1(e) 3500 1(e)B 级 (c) 3500 1(e) 350000 2000C 级 (c) 350000 2000 3500000 20000D 级 (c) 3500000 2,0000 不作规定 (f) 不作规定 (f)表面微生物 级别浮游菌cfu/m3沉降菌（ f90mm）cfu /4 小时 (b)接触碟（f55mm ）cfu /碟5 指手套cfu /手套A 级 1 1 1 1 B 级 10 5 5 5 C 级 100 50 25 D 级 200 100 50
