1、Company LOGO 微纳技术研讨 组员：张勇 丁月 曹世进 指导老师：张胜文微纳技术 未来发展前景 发展意义 应用领域 概念由来及发展过程微纳技术 一般指微米、纳米级 (0.1-1 00nm) 的材料、设计、制造、测量、 控制和产品的研究、加工、制造以及 应用技术。在基础科研以及制造行业 中，微纳制造技术的研究从其诞生之 初就一直牢据行业的尖端位置 。Company Logo 应用领域 微纳 技术 能源 生物 医学 机械 制造 光电 技术应用 机械 制造 微纳制造领域已经成为衡量一个国家科技水平的重要标志之一。 微纳结构加工技术的发展和应用将给先进制造技术和超精密加 工领域带来革命性的变
2、革。 超精密加工及特种加工 硅微机械加工 LIGA 技术 隧道式近场放电加工 生物制造应用 光电 技术 提高光电信号传输效率 有色金属及镀镍等材 料的反射镜 Text 透镜，棱镜 及反射镜 光通讯耦合器件 及微型槽阵列 Text 激光系统中球面、 非球面、柱面等特 殊曲面透镜阵列MEMS 器件和系统具有以下几个特征 MEMS 的目标是微 /纳机械与 IC 集成的具有智能的微系统 MEMS 中的机械不限于狭义的机械力学中的机械 ,包括力、声 、 光、磁乃至化学、生物等具有能量转化、传输等功能的效应 与微电子芯片类同 ,可以大批量、低成本生产，使其 性能价格比相对于传统机械性能价比有大幅度提高 基
3、于 (但不限于 )硅微加工技术制造 体积小 ,尺寸在毫米与微米之间格MEMS 汽车传感器分类 1. 发动机控制系统用传感器：温度、压力、位置 和转速、流量、气体浓度和爆震等传感器 2. 底盘控制用传感器：车速、加速度、节气门位 置、发动机转速、水和油温传感器、转矩、油 压传感器 3. 车身控制用传感器：安全气囊系统中的加速度 传感器，倒车控制中的超声波传感器或激光传 感器和保持车距的距离传感器等 4. 电气设备中的传感器： 确定 汽车行 驶方向 的 罗 盘传感器、 陀螺仪 和车速传感器、 方向 盘转 角 传感器等应用 生物 医学 纳米 药 物 医学 检查 生物医学 方 面的微纳技术将在不 断
4、提高医 疗 技 术、 减少 医 疗事故 、 延长人 类 寿 命发 挥越 来 越 重要的 作 用。 人 造器 官 植入 式电子 装 置 医 疗 器械医学 拉曼散 射效应 定向药 物 投 放应用 能 源 燃 料电 池 黑 硅 （ 光 伏 材料 ） 微纳制造一 旦 成 熟 ，将 会消耗更少 的能源与 资 源 微纳技术是 继 IT 、生物之 后 21 世 纪最 具发展 潜 力 的高 新 技术，是未来 十年 高 增长 的 新兴 产业。 也 是高 新 技术 产业发展 新 的 增长点 ，同 样也 是 当今 高科技发展的重要领域 之一。 在不 久 的未来，微纳技术 定会广泛 应用在机械、医 疗 、能源、 环境 等 方方 面面， 满足人们 不 断追求条 件 更好且 可 负担 的医 疗 保 健服务 、 更 高的生 活 品 质 和 质 量 更好 的 日 用 消 费 品， 并 应对由能源成本 上涨 和 资 源 枯竭所 带来的 风险 。 而且 微纳技术的发展将 会 为 维 持 强劲 的 社会 经 济 提 供 动力以 满足社会需求 。 前景Company LOGO
