1、0,無塵室设计規範,资料整理：金田净化 ,顯示器實務,1,無塵室之定義與應用：,1. 無塵室之簡介,利用不發塵建材、阻塵設施、空調設備與空間設計，將室內空間作溫度、濕度、氣體流、氣壓及微塵粒子之控制，而達到特殊應用需求之作業或研究場所，稱之為無塵室或清淨室(Clean Room),無塵室除了在IC半導體、光電與TFT-LCD等高科技產業應用之外，生醫科技、食品加工業、精緻農業與航太產業也需利用清淨室場所以達到品管之要求，唯所需之無塵室等級不同。,基因實驗室,食品加工業,醫療衛生,生物科技,精緻農業,國家太空中心,友達TFT-LCD廠,2,無塵室之規格,1. 無塵室之簡介,潔淨室依等級之不同，對
2、一定空間內的微塵粒子最大容許量有一共通規範，在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644，以Fed-Std-209E的等級規範定義為例：,3,無塵室之規格,1. 無塵室之簡介,NDL/class 10,CIS/class 100,繼開科技/class 10000,4,無塵室之種類,1. 無塵室之簡介,無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別，一般可分為垂直層流方式(Class 1100)、水平層流方式(Class 11,000)、亂流方式(Class 1,000100,000)，其詳細區分如下表：,5,無塵室之種類,1. 無塵室之簡介,Air flow system
3、,6,無塵室之種類,1. 無塵室之簡介,Conventional (hard wall),Soft wall,Module type,7,無塵室在IC與TFT-LCD產業之必要性,1. 無塵室之簡介,粉塵掉落至IC之線路中會造成IC元件之短路或斷路,粉塵掉落很容易使單片之LCD面板良率大幅降低,8,無塵室設計考量,2. 無塵室設計考量,粉塵之阻止 溫度與溼度控制 人員動線 儀器設備位置與移機動線 噪音防止 靜電與電磁防止 震動問題 安全設施,9,無塵室空間規畫府視圖,2. 無塵室設計考量,1. 人員動線 2. 儀器設備位置與移機動線,微修區,黃光工程區,薄膜工程區,乾蝕刻製程區,機台移入/出平
4、區,參觀走道緊急出口走道,機具設備拆解組合清拭區,廠務區,檢測機台,濕蝕刻區,基板清洗區,基板儲存區,基板儲存區,中央廢氣廢液處理區,零組件耗材處理及儲存區,10,2. 無塵室設計考量,無塵室空間規畫側視圖,空調管路,水氣電管路,抽器管路,末端管路,製程機台,照明與送風口,維修/緊急出口走道,11,2. 無塵室設計考量,3. 粉塵之阻止,(1) 粉塵來源之防止,Filter Module,昇暘工程股份有限公司http:/.tw/company.htm,無塵室空氣中之微塵粒子主要藉由空調管路中之濾網去除，且為防止周圍環境之粉塵進入，無塵室需保持正壓狀態。,HEPA 之結構,12,(2) 粉塵堆積
5、之防止,2. 無塵室設計考量,(1) 粉塵來源之防止,在無塵室中易產生粉塵堆積之部分，包括,機械運動所產生之粉塵人員運動所產生之揚塵玻璃或矽晶圓與承載具之磨擦擦拭工具或材料所產生之粉屑未經擦拭之維修工具, 通訊器材或文具製程腔體釋放之微塵顆粒或粉屑身體肌膚之體屑,儀器設備之死角無塵室結構之接縫玻璃或矽晶圓承載具之內部,在無塵室中應避免可能之粉塵源產生，包括,避免粉塵堆積最積極有效的方式唯有確實且持續性的除塵, 清潔或清洗,13,粉塵之阻止,2. 無塵室設計考量,(2) 粉塵之排除,無塵室中最大之微塵粒子來源為”人” ，人攜帶之微塵粒子主要藉由洗淨與吹除去除。,換廠內服,洗手,洗手,著無塵服,戴
6、口罩,戴手套,通過Air Shower,依無塵室等級之不同，無塵服之樣式亦不同，進無塵室之流程亦有增減,14,4. 無塵室設備與維護,Air Shower 之型式,傳遞箱(pass box),15,噪音防止,靜電與電磁防止,2. 無塵室設計考量,無塵室內噪音之來源包括,製程儀器設備運轉之聲音基板搬運機傳載之聲音空調運轉之聲音廣播聲,無塵室內靜電之來源包括,無塵室內電磁之來源包括,高電流電源線高頻電源供應器通信器材,玻璃機板與空氣之摩擦玻璃與機械手背吸盤之摩擦製程過程中累積之電荷擦拭過程中所產生之靜電,16,震動問題,2. 無塵室設計考量,安全設施,無塵室內震動之來源包括,儀器設備機械或幫浦運作
7、所造成之震動搬運設備或人員走動之震動地表之自然震動源廠外重型機具或載具之移動,緊急照明與逃生指示燈之裝置逃生路線之規劃與管制特殊氣體偵測系統之裝置 接地設施之裝置有機揮發氣體與酸鹼液氣體之排外系統火災預警措施與自動滅火裝置,無塵室內基本之安全措施包括,17,3. 無塵室工程技術,無塵室結構施工,Source:美國Portlab,整廠設計,廠房土木工程,基座工程(foundation) 高架地板(raised floor) 空調管路(Air circulation) 隔板工程(Partition) 天花板與照明(Ceiling and Lighting) Air shower tunnel an
8、d accesses,基座工程(foundation),高架地板(raised floor),空調管路(Air circulation),隔板工程(Partition),天花板與照明(Ceiling and Lighting),Air shower tunnel and accesses,18,3. 無塵室工程技術,線槽施工,儀器設備移入,檢驗測試,19,5.無塵室管理,能源管理,Source: 繼開科技,20,5.無塵室管理,無塵室設備的運轉需要多種系統設施來支援，這些系統設施於最初之設計階段即應考量其未來之擴展性及許可之容量。整體之系統設施，包括從初期的基礎設備與運轉設備的管線連結。,系統運作管理,Source: 繼開科技,21,5.無塵室管理,人員管理,清潔習慣之養成 現場操作行為之嚴謹 良好之工作態度 警覺心之保持與即時報告 無塵室狀態之確實記錄,無人管理,
